公开(公告)号：KR100271003B1

公开(公告)日：2000-11-01

申请号：KR1019970078848

申请日：1997-12-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: PURPOSE: A thin film actuated mirror array is provided to be capable of improving a horizontal degree of a mirror by forming the mirror on the second sacrifice having a flat surface. CONSTITUTION: An active matrix includes the first metal layer having a drain pad, which is extended from a drain of a MOS transistor. A support layer(185) consists of the first and second anchors for supporting an actuator and is extended horizontally toward the other side. A bottom electrode(190) is formed on the support layer(185), and an active layer(195) is formed on the bottom electrode(190). A top electrode(200) is formed on the active layer(195), and a via hole(210) is vertically formed to a top of one of the anchors from the drain pad of the first metal layer. An actuator includes a connection member(250) for connecting the drain pad and the bottom electrode through the via hole(210). The first auxiliar support member(270a) is formed at one side of the first anchor and a lower center of the support layer(185). The second auxiliar support member(270b) is formed at one side of the second anchor and a lower center of the support layer(185). A mirror(230) is formed on the actuator(250).

Abstract translation: 目的：提供薄膜致动反射镜阵列，以便能够通过在具有平坦表面的第二牺牲上形成反射镜来改善反射镜的水平度。 构成：有源矩阵包括具有从MOS晶体管的漏极延伸的漏极焊盘的第一金属层。 支撑层（185）由用于支撑致动器的第一和第二锚定件构成，并且水平地朝向另一侧延伸。 底部电极（190）形成在支撑层（185）上，在底部电极（190）上形成有源层（195）。 顶部电极（200）形成在有源层（195）上，并且通孔（210）从第一金属层的漏极焊盘垂直地形成在一个锚定件的顶部上。 致动器包括用于通过通孔（210）连接漏极焊盘和底部电极的连接构件（250）。 第一辅助支撑构件（270a）形成在第一锚固件的一侧和支撑层（185）的下部中心。 第二辅助支撑构件（270b）形成在第二锚固体的一侧和支撑层（185）的下部中心。 在致动器（250）上形成反射镜（230）。

公开(公告)号：KR1020000044197A

公开(公告)日：2000-07-15

申请号：KR1019980060688

申请日：1998-12-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a TMA device is provided to increase the driving angle of the actuator and to prevent bending phenomena of the actuator by disallowing the first and second electrodisplacive being formed on the connection part of the lower electrode. CONSTITUTION: A device comprises an active matrix(100), a substrate(101), a transistor(120), a first metal layer(135), a first protection layer(140), a second metal layer(145), a second protection layer(150), an etching preventing layer(155), a first sacrificial layer(160), a supporting layer(170), a first anchor(171), and a supporting line(174). A manufacturing method comprises the steps of: providing the active matrix including the first metal layer which has the drain pad extended from the drain of the transistor; forming a first layer, a second layer, a lower electrode layer and upper electrode layer on the upper part of the active matrix; forming the actuator including the first and second upper electrode, first and second electrodisplacives and the lower electrode by patterning the lower part electrode layer, the second layer and the upper part electrode layer sequentially; and forming a mirror on the upper part of the actuator.

Abstract translation: 目的：提供TMA装置的制造方法，以增加致动器的驱动角度，并且通过不允许形成在下电极的连接部分上的第一和第二电致位移来防止致动器的弯曲现象。 构造：器件包括有源矩阵（100），衬底（101），晶体管（120），第一金属层（135），第一保护层（140），第二金属层（145），第二 保护层（150），防蚀层（155），第一牺牲层（160），支撑层（170），第一锚固件（171）和支撑线（174）。 一种制造方法包括以下步骤：提供包括从晶体管的漏极延伸的具有漏极焊盘的第一金属层的有源矩阵; 在有源矩阵的上部形成第一层，第二层，下电极层和上电极层; 通过对下部电极层，第二层和上部电极层进行构图来形成包括第一和第二上部电极，第一和第二电致位移器和下部电极的致动器; 并在致动器的上部形成反射镜。

公开(公告)号：KR100258109B1

公开(公告)日：2000-06-01

申请号：KR1019970057137

申请日：1997-10-31

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a thin film actuated mirror arrays is to prevent the damage of an upper electrode and a deformation layer by forming a sacrificial layer into a polysilicon and then removing it by BrF3 gas. CONSTITUTION: An active substrate(510) includes a drain pad(520) formed on one side thereof and an MxN transistor provided in the form of matrix therein. A passivation layer(530) is formed on the active substrate. A sacrificial layer consisting of polysilicon is formed on the passivation layer. The passivation layer is partially exposed by removing the sacrificial layer with the drain pad formed on the lower layer thereof. A membrane material layer is formed on the exposed passivation layer and the sacrificial layer. A lower electrode material layer is formed on the membrane material layer. A deformation material layer is formed on the lower electrode material layer. An upper electrode material layer is formed on the deformation material layer. An upper electrode(590) is formed by patterning the upper electrode material layer. A deformation layer(580), a lower electrode(570), and a membrane(560) are formed by patterning the deformation material layer, the lower electrode material layer, and the membrane material layer. An air gap(550) is formed by removing the sacrificial layer by XeF2 gas.

Abstract translation: 目的：制造薄膜致动反射镜阵列的方法是通过在多晶硅中形成牺牲层，然后通过BrF 3气体去除它来防止上电极和变形层的损坏。 构成：活性衬底（510）包括在其一侧上形成的漏极焊盘（520）和以矩阵形式设置的MxN晶体管。 钝化层（530）形成在有源衬底上。 在钝化层上形成由多晶硅组成的牺牲层。 通过在其下层上形成有漏极焊盘去除牺牲层来部分地暴露钝化层。 在暴露的钝化层和牺牲层上形成膜材料层。 在膜材料层上形成下电极材料层。 在下电极材料层上形成变形材料层。 上部电极材料层形成在变形材料层上。 通过图案化上电极材料层形成上电极（590）。 通过对变形材料层，下电极材料层和膜材料层进行图案化，形成变形层（580），下部电极（570）和膜（560）。 通过用XeF 2气除去牺牲层来形成气隙（550）。

公开(公告)号：KR100256871B1

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019970056260

申请日：1997-10-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: PURPOSE: A light efficiency-improved thin-film micromirror array-actuated(TMA) and manufacturing method thereof improve the level of a mirror, maintain the reflection angle of the mirror uniformly and improve the light efficiency to be incident from a light source. CONSTITUTION: A 'T'-shaped mirror(240) contacts with a top electrode in the lower. A reinforcing member(250) formed under the mirror(240) has the mechanically stable structures such as a rectangular ring, an 'X' letter or a rhombus to endure the deformation stress caused by a pressure or a tensile force applied around the lower of the mirror(240) during the formation of the mirror(240). Therefore, the reinforcing member(250) prevents the mirror(240) from being bent upward or downward due to the deformation stress during the formation of the mirror(240) even when the residual stress is generated during the deposition process of the mirror(240).

Abstract translation: 目的：提高光效率的薄膜微镜阵列致动（TMA）及其制造方法提高了反射镜的水平，保持了镜的反射角均匀，提高了从光源入射的光效。 构成：“T”形反射镜（240）与下部的顶部电极接触。 形成在反射镜（240）下方的加强件（250）具有机械稳定的结构，例如矩形环，'X'字母或菱形，以承受由施加在其下部的压力或拉力所引起的变形应力 在反射镜（240）的形成期间的反射镜（240）。 因此，即使在反射镜（240）的沉积处理期间产生残余应力，加强部件（250）也能够防止反射镜（240）在形成反射镜（240）期间由于变形应力向上或向下弯曲 ）。

公开(公告)号：KR100209962B1

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019960064441

申请日：1996-12-11

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: 액티브 매트릭스와 액츄에이터를 각기 독립적으로 제작한 후, 이를 접착하여 전기적으로 연결시킨 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법이 개시되어 있다. 본 발명에 따른 상기 방법은 패드, 보호층, 식각 방지층, 플러그 및 저융점 금속층을 포함하는 액티브 매트릭스를 제공하는 단계, 투명한 기판(transparent substrate)의 상부에 액츄에이터를 형성한 후 상기 액츄에이터의 상부에 저융점 금속층을 적층하는 단계, 그리고 상기 액티브 매트릭스와 액츄에이터를 전기적으로 연결시키는 단계를 포함한다. 따라서, 상기 방법은 고온 공정에서의 액츄에이터 제작에 따른 액티브 매트릭스의 열적 손상을 방지하여 트랜지스터의 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 표면이 편평한 투명한 기판 상에 액츄에이터를 형성하므로, 별도의 평탄화 공정이 필요하지 않으며 표면이 평탄한 액츄에이터를 형성하여 광속의 광효율을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1019990035313A

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019970057108

申请日：1997-10-31

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: 거울의 수평도를 향상시킬 수 있으며 액티브 매트릭스 및 액츄에이터의 손상을 최소화할 수 있는 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법이 개시된다. 액티브 매트릭스 전면의 상부에 제1 희생층을 형성한 후, 액츄에이터를 형성한다. 액츄에이터의 상부에 PR, SOG, 또는 SOP를 사용하여 평탄한 제2 희생층을 형성하고 거울을 형성한다. 제2 희생층을 산소 플라즈마를 사용하여 제거한 후, 제1 희생층을 BrF
3 또는 XeF
2 를 사용하여 제거한다. 저온에서 제2 희생층이 평탄한 표면을 갖도록 형성한 후, 제2 희생층의 상부에 거울을 형성함으로써 거울의 수평도를 향상시켜 광원으로부터 입사되는 광의 광효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2 희생층을 저온에서 형성함으로써 그 하부의 액츄에이터 및 액티브 매트릭스가 열적 손상을 받는 것을 최소화 할 수 있다. 더욱이, 제1 희생층 및 제2 희생층의 제거 시, 액티브 매트릭스, 변형층 및 거울이 손상을 입는 것을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019990035306A

公开(公告)日：1999-05-15

申请号：KR1019970057101

申请日：1997-10-31

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: 액츄에이터의 초기 기울어짐을 방지할 수 있는 박막형 광로 조절 장치는, 트랜지스터가 내장된 액티브 매트릭스, 액티브 매트릭스의 상부에 형성된 액츄에이터, 그리고 액츄에이터의 상부에 형성된 거울을 포함한다. 액츄에이터는, 일측의 양측이 각기 액티브 매트릭스에 접촉되어 액츄에이터를 지지하는 앵커가 되며 일측의 중앙부가 에어 갭을 개재하여 상부로 돌출되어 타측을 향해 수평하게 형성된 지지층, 하부 전극, 변형층, 그리고 상부 전극을 포함한다. 거울은 상부 전극의 상부에 형성된다. 액츄에이터의 초기 기울어짐의 원인이 되는 단차 경계면이 없는 지지층을 형성함으로써, 액츄에이터가 신호가 인가되지 않은 상태에서도 초기에 기울어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 액츄에이터 상부에 형성된 거울의 반사각을 일정하게 유지하여 광원으로부터 입사되는 광의 광효율을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980046148A

公开(公告)日：1998-09-15

申请号：KR1019960064441

申请日：1996-12-11

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: 액티브 매트릭스와 액츄에이터를 각기 독립적으로 제작한 후, 이를 접착하여 전기적으로 연결시킨 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법이 개시되어 있다. 본 발명에 따른 상기 방법은 패드, 보호층, 식각 방지층, 플러그 및 저융점 금속층을 포함하는 액티브 매트릭스를 제공하는 단계, 투명한 기판(transparent substrate)의 상부에 액츄에이터를 형성한 후 상기 액츄에이터의 상부에 저융점 금속층을 적층하는 단계, 그리고 상기 액티브 매트릭스와 액츄에이터를 전기적으로 연결시키는 단계를 포함한다. 따라서, 상기 방법은 고온 공정에서의 액츄에이터 제작에 따른 액티브 매트릭스의 열적 손상을 방지하여 트랜지스터의 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 표면이 편평한 투명한 기판 상에 액츄에이터를 형성하므로, 별도의 평탄화 공정이 필요하지 않으며 표면이 평탄한 액츄에이터를 형성하여 광속의 광효율을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100271001B1

公开(公告)日：2000-11-01

申请号：KR1019970057101

申请日：1997-10-31

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: PURPOSE: A thin film actuated mirror array is provided to improve the efficiency of incident light from a light source by maintaining a reflection angle of a mirror formed on an actuator. CONSTITUTION: An active matrix includes the first metal layer having a drain pad that is extended from a drain of a transistor. A support layer(185) consists of anchors for supporting an actuator and is extended horizontally toward the other side. A bottom electrode(190) is formed on the support layer(185), and an active layer(195) is formed on the bottom electrode(190). A top electrode(200) is formed on the active layer(195), and a via hole(210) is vertically formed to a top of one of the anchors from the drain pad of the first metal layer(155). An actuator(205) includes a connection member(250) for connecting the drain pad and the bottom electrode through the via hole(210).

Abstract translation: 目的：提供薄膜致动反射镜阵列，通过保持形成在致动器上的反射镜的反射角来提高来自光源的入射光的效率。 构成：有源矩阵包括具有从晶体管的漏极延伸的漏极焊盘的第一金属层。 支撑层（185）由用于支撑致动器的锚固件和水平地朝向另一侧延伸。 底部电极（190）形成在支撑层（185）上，在底部电极（190）上形成有源层（195）。 顶部电极（200）形成在有源层（195）上，并且通孔（210）从第一金属层（155）的漏极焊盘垂直形成到一个锚定件的顶部。 致动器（205）包括用于通过通孔（210）连接排水垫和底部电极的连接构件（250）。

公开(公告)号：KR100256881B1

公开(公告)日：2000-05-15

申请号：KR1019970078850

申请日：1997-12-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 황규호

IPC: G02F1/015

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a thin film actuated mirror array is to improve a planarization rate of an actuator by compensating a step difference produced due to an active matrix. CONSTITUTION: An active matrix(100) includes an isolation film(120) for defining the active matrix into an active region and a field region, a number of MOS(metal oxide semiconductor) transistors having a gate(115), a source(110) and a drain(105), the first metallic layer(130) formed on the MOS transistor and patterned to be connected to the source and the drain, the first passivation layer(135) formed on the first metallic layer, the second metallic layer(140) formed on the first passivation layer, the second passivation layer(145) formed on the second metallic layer, and an etching stop layer(150) formed on the second passivation layer. An actuator(185) includes a supporting layer(160) with one side contacted with a drain pad of the first metallic layer and a portion of the etching stop layer adjacent to the drain pad to form an anchor(165a,165b), and an air gap(160) interposed between the other side and the first metallic layer, a lower electrode(170) formed on the supporting layer, a transformed layer(175) formed on the lower electrode, an upper electrode(180) formed on the transformed layer.

Abstract translation: 目的：制造薄膜致动反射镜阵列的方法是通过补偿由于有源矩阵产生的阶跃差来提高致动器的平坦化速率。 构成：有源矩阵（100）包括用于将有源矩阵定义为有源区和场区的隔离膜（120），具有栅极（115）的MOS（金属氧化物半导体）晶体管，源极（110） ）和漏极（105），所述第一金属层（130）形成在所述MOS晶体管上并被图案化以连接到所述源极和所述漏极，所述第一钝化层（135）形成在所述第一金属层上，所述第二金属层 （140），形成在第一钝化层上的第二钝化层（145）和形成在第二钝化层上的蚀刻停止层（150）。 致动器（185）包括支撑层（160），其一侧与第一金属层的漏极焊盘接触，并且一部分蚀刻停止层与漏极焊盘相邻以形成锚（165a，165b），并且 插入在另一侧与第一金属层之间的气隙（160），形成在支撑层上的下部电极（170），形成在下部电极上的变形层（175），形成在变形体 层。