公开(公告)号：KR1020110116210A

公开(公告)日：2011-10-25

申请号：KR1020117020914

申请日：2010-03-18

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 에즈라토모히코 ,  츠기타코헤이 ,  와니후치토미코

IPC: H01L51/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56

CPC classification number: H05B33/10 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/562 ,  C23C14/568 ,  H01L51/5092 ,  H01L51/5221 ,  H01L51/56

Abstract: (과제) 전자 주입층을 형성하는 유기 EL 소자의 금속층의 열화를 막는다.
(해결 수단) 성막 장치(PM1)는, 내부에서 기판 상에 소망하는 처리를 행하는 처리 용기(100)와, 유기 재료를 수납하고, 수납된 유기 재료를 가열하여 기화시키는 증착원(200)(제1 증착원)과, 처리 용기(100)에 내장됨과 함께 증착원(200)에 연결되고, 증착원(200)에서 기화된 유기 재료를 처리 용기 내의 기판(G)을 향하여 분출하는 제1 분출 기구(120a∼120f)와, 리튬 등의 알칼리 금속 재료를 수납하고, 수납된 알칼리 금속 재료를 가열하여 기화시키는 기화기(300)(제2 증착원)와, 처리 용기(100)에 내장됨과 함께 기화기(300)에 연결되고, 기화기(300)에서 기화된 알칼리 금속 재료를 처리 용기 내의 기판(G)을 향하여 분출하는 제2 분출 기구(130)를 갖는다.