公开(公告)号：KR101125568B1

公开(公告)日：2012-03-22

申请号：KR1020090124092

申请日：2009-12-14

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 장석창 ,  김창수 ,  함윤식

IPC: H01L21/306

CPC classification number: H01L21/6776 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67086

Abstract: 식각 장치는 기판이 유입 또는 배출될 수 있도록 개방된 개구를 갖는 복수 개의 챔버들과, 각 챔버 내부에 설치되며 약액을 분사하는 분사부재, 및 각 챔버의 개구와 인접하게 설치되며 개구로 유통하는 기체를 흡입하는 차단부재를 포함한다.
식각, 차단 부재, 흡입 홀, 덮개

公开(公告)号：KR1020060106209A

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：KR1020050028704

申请日：2005-04-06

Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사

Inventor： 강태욱 ,  김창수

IPC: H05B33/00 ,  H05B33/26

CPC classification number: H01L51/5203 ,  H01L27/3262 ,  H01L27/3265 ,  H01L51/56 ,  H01L2924/12044

Abstract: 본 발명은 발광소자의 화소전극과 동일한 물질로 형성된 전극을 포함하는 캐패시터를 포함함으로써, 개구율을 증대시킬 수 있는 발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발광표시장치는 기판상에 형성된 반도체층; 상기 반도체층 상에 절연되도록 형성된 게이트 전극과, 상기 반도체층에 접속된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터; 상기 소스 및 드레인 전극 상에 형성되는 평탄화막상에, 상기 박막 트랜지스터에 전기적으로 연결되는 화소 전극과, 상기 화소 전극상에 형성된 발광층을 포함하는 발광소자; 상호 전기적으로 절연되는 복수의 전극을 구비하되, 상기 전극들 중 상기 화소전극과 동일층 상에 상기 화소전극과 동일한 물질로 구비된 제1 전극을 갖는 캐패시터를 포함하며, 상기 평탄화막은 상기 제1 전극 하부에서 상대적으로 얇게 형성되는 다단구조이다. 이에 따라, 원하는 캐패시터의 용량을 얻을 수 있는 한도 내에서 캐패시터의 크기를 줄일 수 있게 되어, 화소영역을 상대적으로 증대시킬 수 있을 뿐만 아니라 개구율을 향상시킬 수 있다.