얼라인먼트 마크 검출방법
    5.
    发明授权
    얼라인먼트 마크 검출방법 有权
    对准标记检测方法

    公开(公告)号:KR101310029B1

    公开(公告)日:2013-09-24

    申请号:KR1020120026231

    申请日:2012-03-14

    Inventor: 김윤혁 김재천

    Abstract: PURPOSE: A method for detecting an alignment mark is provided to accurately check the central coordinate value of a mark by using pixel values that change continuously in images. CONSTITUTION: An alignment mark image is obtained. A test image (25) is extracted from the alignment mark image. A virtual test region (40) is set in the test image. At least two boundary lines are set as each test line (50). The pixel value of the image is confirmed on each test line.

    Abstract translation: 目的:提供一种检测对准标记的方法,通过使用图像连续变化的像素值来精确检查标记的中心坐标值。 构成:获得对准标记图像。 从对准标记图像中提取测试图像(25)。 在测试图像中设置虚拟测试区域(40)。 至少两条边界线被设置为每条测试线(50)。 在每个测试线上确认图像的像素值。

    광학 필름 적층용 반전기
    6.
    发明授权
    광학 필름 적층용 반전기 有权
    用于层压光学膜的反光镜

    公开(公告)号:KR101218939B1

    公开(公告)日:2013-01-04

    申请号:KR1020110075824

    申请日:2011-07-29

    Inventor: 김성한 최동훈

    CPC classification number: B32B38/1858 B32B37/003 B32B41/00 B32B2309/68

    Abstract: PURPOSE: A reverser for optical film lamination is provided to laminate backlight unit semi-finished products on the front and back surfaces of optical film in automatic continuity processes. CONSTITUTION: A reverser for optical film lamination comprises a film transfer unit(100) and a film pick-up unit(200). The first film pick-up part comprises a first vacuum generator(210), a first vacuum supply line(211), a first horizontal support member(220), a rotation power unit(230), a vertical transfer unit(240), a first support(250), a horizontal transfer unit(260), and a first controller(270). A first vacuum provider absorbs the film and picks up. The first vacuum supply line is connected to the end of the first vacuum provider. The first horizontal support member supports the first vacuum provider.

    Abstract translation: 目的:提供用于光学膜层压的反转器,用于在自动连续性过程中将光学膜的前后表面上的背光单元半成品层压。 构成:用于光学膜层压的反向器包括膜转移单元(100)和薄膜拾取单元(200)。 第一薄膜拾取部分包括第一真空发生器(210),第一真空供应管线(211),第一水平支撑构件(220),旋转动力单元(230),垂直传送单元(240) 第一支撑件(250),水平传送单元(260)和第一控制器(270)。 第一个真空供应商吸收电影并拾取。 第一真空供应管线连接到第一真空供应器的端部。 第一个水平支撑构件支撑第一个真空提供器。

    평판표시장치의 데이터 구동회로 및 그 구동방법
    7.
    发明授权
    평판표시장치의 데이터 구동회로 및 그 구동방법 有权
    数据驱动器的平板显示和驱动方法相同

    公开(公告)号:KR101162862B1

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:KR1020100069507

    申请日:2010-07-19

    Inventor: 최원준

    Abstract: The data driver of a flat panel display includes: an output driver configured to output a plurality of amplified data signals for a plurality of channels corresponding to a plurality of data lines, the plurality of channels including: a plurality of amplifiers configured to amplify a plurality of input data signals and to supply the amplified data signals to the data lines; and a plurality of chopping controllers, each of the chopping controllers being coupled connected to a plurality of input terminals of a corresponding amplifier of the amplifiers and configured to receive a first control signal or a second control signal to periodically change signals applied to positive and negative input terminals from among the input terminals of the amplifiers.

    원자층 증착 장비 및 이를 이용한 원자층 증착 방법
    8.
    发明授权
    원자층 증착 장비 및 이를 이용한 원자층 증착 방법 有权
    原子层沉积装置及使用原子层的原子层的制造方法

    公开(公告)号:KR101155905B1

    公开(公告)日:2012-07-03

    申请号:KR1020090018490

    申请日:2009-03-04

    CPC classification number: C23C16/45544 C23C16/042 C30B25/165 C30B35/00

    Abstract: 본 발명은 원자층 증착 장비 및 이를 이용한 원자층 증착 방법에 관한 것으로, 원자층 증착 공정 시 기판이 챔버의 내부 온도에 의해 기판이 변형되는 것을 방지하며, 상기 기판 상에 균일하게 원자층을 형성할 수 있는 원자층 증착 장비 및 이를 이용한 원자층 증착 방법에 관한 것이다.
    본 발명은 챔버; 상기 챔버의 내부 압력을 제어하기 위한 진공 펌프; 상기 진공 펌프와 대향되도록 위치하며, 상기 챔버 내부로 반응 가스를 공급하기 위한 가스 공급 수단; 상기 진공 펌프와 가스 공급 수단 사이에 위치하며, 가열 수단이 내장된 기판 홀더; 상기 기판 홀더와 가스 공급 수단 사이에 위치하며, 가장 자리에 냉각액이 이동하기 위한 냉각 통로가 내장된 마스크 조립체; 및 상기 마스크 조립체의 냉각 통로에 냉각액을 공급하기 위한 냉각원을 포함하는 원자층 증착 장비에 관한 것이다.
    또한, 본 발명은 가열 수단이 내장된 기판 홀더에 기판을 안착하고, 상기 기판과 제 1 거리만큼 이격되도록 냉각 통로가 내장된 마스크 조립체를 위치시키고, 상기 마스크 조립체의 냉각 통로에 냉각액을 공급하고, 상기 기판 홀더의 가열 수단을 이용하여 상기 기판을 가열하고, 진공 펌프를 이용하여 챔버 내부를 일정 압력으로 제어하고, 가스 공급 수단을 통해 제 1 반응 가스 및 제 2 반응 가스를 순차 공급하는 것을 포함하는 원자층 증착 방법에 관한 것이다.
    원자층 증착 장비, 마스크 조립체

    스퍼터링 장치
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101155906B1

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:KR1020090123185

    申请日:2009-12-11

    Abstract: 본 발명은 비정질 실리콘을 결정화시키기 위하여, 상기 비정질 실리콘 상에 극저농도의 금속 촉매를 증착시키기 위한 스퍼터링 장치에 관한 것으로, 프리-스퍼터링(Pre-sputtering) 공정이 짧은 시간에 충분히 수행될 수 있도록 함으로써, 전체적인 증착 공정의 효율성 저하 없이, 상기 비정질 실리콘 상에 극저농도의 금속 촉매를 균일하고 안정적으로 증착시킬 수 있는 스퍼터링 장치에 관한 것이다.
    본 발명은 제 1 영역 및 제 2 영역을 포함하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 내측에 위치하는 금속 타겟; 상기 금속 타겟을 상기 제 1 영역 및 제 2 영역으로 이동시키기 위한 타겟 이송부; 상기 제 2 영역에 상기 금속 타겟에 대향되도록 위치하는 기판 홀더; 및 상기 제 1 영역의 타겟 이송부와 공정 챔버 사이에 위치하는 마그네틱 조립체를 포함하는 스퍼터링 장치에 관한 것이다.
    스퍼터링 장치, 프리-스퍼터링 장치

    모듈 검사 방법
    10.
    发明授权
    모듈 검사 방법 失效
    模块测试方法

    公开(公告)号:KR101155893B1

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:KR1020090080773

    申请日:2009-08-28

    Abstract: 본 발명은 디스플레이 패널의 모듈 검사 방법에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 검사 방법은 패널의 목표 휘도를 산출하는 단계, 검사 대상이 되는 패널인 실제 패널의 실제 휘도를 측정하는 단계, 상기 목표 휘도와 상기 실제 휘도 간의 차이를 계산하고, 상기 차이에 대응되는 MTP 단계를 산출하는 단계, 산출된 상기 MTP 단계를 적용하여 상기 실제 패널의 휘도를 보정할 경우, 보정 후의 상기 실제 패널의 휘도를 산출하는 단계, 및 보정된 상기 실제 패널의 휘도에 대하여 상기 검사를 실시하는 단계를 포함한다.
    모듈 검사, 휘도, MTP

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