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公开(公告)号：KR1019940001401B1
公开(公告)日：1994-02-21
申请号：KR1019910005474
申请日：1991-04-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/335
Abstract: forming a nitride silicon layer (13), a polycrystalline silicon layer (14), and a nitride silicon layer (15), sequentially on the area of a silicon layer (12) which is formed on the semiconductor substrate (11) and will not be oxidized selectively, and forming a side-wall nitride silicon layer (17) on the side wall of the above layers with the nitride silicon, polycrystalline silicon, and the nitride silicon.
Abstract translation: 在形成在半导体衬底（11）上的硅层（12）的区域上依次形成氮化物硅层（13），多晶硅层（14）和氮化物硅层（15），并且不会 被选择性地氧化，并且在氮化硅，多晶硅和氮化物硅的上述层的侧壁上形成侧壁氮化物硅层（17）。
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公开(公告)号：KR1019920008894B1
公开(公告)日：1992-10-10
申请号：KR1019890016997
申请日：1989-11-22
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H04N1/00
Abstract: The automatic switching method for the integral system of a telephone and a facsimile comprises the following steps: checking whether the key input on the telephone/fax automatic switching stop (STOP), the automatic switching validity (YES), and the other message selection (NO) is present or not; setting the fax/telephone automatic switching function as validity in time of the validity key and setting the automatic receiving mode; displaying the off message on the fax/telephone automatic switching in time of the other message selection key (NO). Either telephone or facsimile can be seperately operated in response to incoming telephone call. This is useful for small space.
Abstract translation: 电话机和传真机一体化系统的自动切换方法，包括以下步骤：检查电话/传真自动切换停止（STOP）上的密钥输入，自动切换有效性（YES）和其他消息选择（ NO）是否存在; 将传真/电话自动切换功能设置为有效期的有效期，并设置自动接收模式; 在其他消息选择键（NO）的时间内在传真/电话自动切换时显示关闭消息。 电话或传真可以单独操作，以响应来电。 这对于小空间是有用的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR200147596Y1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR2019960020867
申请日：1996-07-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 고안은 반도체 제조 공정중 포토 레지스터 애싱(Photoresist Ashing) 공정에서의 사용되는 웨이퍼 운반용 캐리어에 관한 것으로 특히, 소정 갯수의 지지봉이 두 개의 측면 고정부재에 고착되어 있으며 각각의 지지봉에는 동일한 위치에 동일간격으로 동일갯수의 슬롯이 형성되어 있는 웨이퍼 운반용 캐리어에 있어 슬롯의 처음과 마지막 슬롯 위치에 항플라즈마 소재로 구성된 대미지 방지판이 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 캐리어를 제공하면, 플라즈마 대미지로 인해 발생되는 문제점을 해소하여 전체적인 웨이퍼 공정의 수율이 증가하게 된다.
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公开(公告)号：KR100194653B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019910005469
申请日：1991-04-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H01L21/306
Abstract: 본 발명의 반도체 장치의 다결정 실리콘층 식각방법은, 실리콘 산화막의 표면에 형성된 다결정 실리콘층을 부분 식각하는 것으로 SF
6 ,Cl
2 및 He 가스를 베이스로 사용하거나 SF
6 및 Cl
2 가스를 베이스로 사용하고, 또한 상기의 Cl
2 가르 대신에 HCl 가스를 베이스로 사용하는 플라즈마 상태에서 다결정 실리콘층(13)을 초벌식각하여 다결정 실리콘층(13)의 표면의 이물질을 제거한 후 in-situ로 메인 식각을 하여 나머지 다결정 실리콘층(13)을 제거함으로써, 선폭의 감소 및 프로화일이 변형됨이 없고, 식각완료시 다결정 실리콘층(13)이 봉우리로 남지 않고, 모두 제거된다.-
公开(公告)号：KR100181124B1
公开(公告)日：1999-05-01
申请号：KR1019950020505
申请日：1995-07-12
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H04N1/00
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
팩시밀리의 복사모드 동작에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
팩시밀리에서 다수 원고를 서로 다른 수량으로 복사하고자 할 시 다수의 원고를 한 번만 급지시켜도 서로 다른 수량으로 복사될 수 있도록 한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
사용자가 서로 다른 수량으로 복사하기를 원하는 다수의 원고를 한 번에 급지한 후 동작패널상에 설치된 다수 원고 복사키 및 숫자키를 이용하여 각 원고별 복사량을 설정할 시 이에 대응하여 복사되도록 하는 것을 특징으로 한다.
4. 발명의 중요한 용도
다수 원고를 빠르게 각기 다른 수량으로 복사할 수 있는 팩시밀리.-
公开(公告)号：KR100158116B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019950040995
申请日：1995-11-13
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H04N1/00
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
팩시밀리의 등록 전화번호 및 팩시밀리번호 검색장치 및 방법에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
팩시밀리에 미리 등록된 전화(혹은 팩시밀리)번호를 검색키 또는 숫자키를 눌러 자동으로 검색할 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
온후크상태인가를 검사하는 과정과; 상기 온후크상태가 아니면 탐색키의 입력을 검사하는 과정과; 상기 탐색키가 입력되면 상기 등록된 전화번호 또는 팩시밀리번호를 순차적으로 배열저장하는 과정과; 상기 등록된 전화번호 또는 팩시밀리번호가 배열저장되면 검색모드를 설정하는 과정과; 상기 검색모드가 설정되면 고속검색키의 입력을 검사하는 과정과; 상기 고속검색키가 입력되면 고속메세지표시시간을 설정하고, 입력되지 않으면 저속메세지표시시간을 설정한 뒤 디스플레이방향카운터를 초기화하는 과정과; 검색종료키가 입력되면 종료하고 입력이 없으면 상기 등록된 내용을 표시하는 과정으로 해결한다.
4. 발명의 중요한 용도
검색키 또는 숫자키를 눌러 등록전화 및 팩시밀리번호를 자동으로 검색할 수 있는 등록전화 및 팩시밀리번호 검색방법에 이용한다.-
公开(公告)号：KR2019980009692U
公开(公告)日：1998-04-30
申请号：KR2019960020866
申请日：1996-07-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H01L21/304
Abstract: 이고안은반도체제조공정중질화실리콘막(SiN)과산화막 (SiO)을식각하는공정에서물의추가공급시예열기능을갖는인산용액(HPO) 웨트스테이션(Wet Station)에관한것이다. 이고안의구성은인산용액을담아두기위한화학용기와, 제1히터와, 인산용액의수위를측정하여전기적인신호로변환하여출력하는레벨센서와, 인산용액의수분함량을검출한뒤에이를전기적인신호로변환하여출력하는수분센서와, 인산용액의수분함량이저하되는것을판단하여수분을보충시켜주기위한제1모터와, 추가적으로용액을공급해주기위한용액공급라인과, 공급할물을담고있는외부용기와, 제2히터와, 외부용기에물을골급하기위한물공급라인과, 물의수위가저하되는것을판단하여용액을보충시켜주는제2모터와, 물의온도를측정하는온도센서와, 수분센서의출력과온도센서의출력을수신하여, 수위가저하되는것을판단하고, 이에따라용액을보충시켜주기위한제1모터구동신호와제2모터구동신호를출력하는제어부로이루어진다. 이고안의효과는, 외부용기의물이자체의히터에의해서가열되고, 화학용기에설치된수분센서에의해서용액중의수분함량이감지되어자동적으로화학용기속으로미리예열된물이공급되게되므로안정한공정을유지할수 있게된다.
Abstract translation: 的提案涉及在蚀刻半导体制造工艺（湿站）的氮化硅膜（SiN）膜过氧化物（SIO）的步骤中加入水的供给过程中磷酸溶液（HPO）湿站与预加热功能。 并且如在guseongeun和化学船只定位捕获的酸性溶液中，第一加热器，以及测量所述酸溶液的液面被转换为输出的传感器的电信号电平，并且检测磷酸溶液handwie电信号的含水量它 和外容器，其包含溶液供应管线和供水现在供给第一电动机，和进一步的方案，得到的水传感器的输出进行转换，则确定所述磷酸盐溶液中的水分含量降低，以补偿水， 第二加热器，和进料至golgeup水在外容器线，并且通过测量第二电动机，以确定，并且补充到在水位溶液的水的温度被降低的温度传感器，湿度传感器输出与 接收来自温度传感器的输出，则确定水位降低，yiettara由第一马达驱动信号到第二电动机驱动信号周期来补充解决方案，其中控制输出。 和效果，因为与水外容器通过其自身的加热器被加热的稳定过程，该溶液的水含量是通过安装在化学容器上的水传感器检测到自动预预加热的水成供给到内部的化学制剂容器 从而被保持。
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