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公开(公告)号：KR200145043Y1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR2019960020866
申请日：1996-07-15
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H01L21/304
Abstract: 이 고안은 반도체 제조 공정중 질화실리콘막(Si
3 N
4 )과 산화막(SiO
2 )을 식각하는 공정에서 물의 추가 공급시 예열 기능을 갖는 인산용액(H
3 PO
4 ) 웨트스테이션(Wet Station)에 관한 것이다.
이 고안의 구성은 인산용액을 담아두기 위한 화학 용기와, 제1히터와, 인산용액의 수위를 측정하여 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 레벨센서와, 인산용액의 수분 함량을 검출한 뒤에 이를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 수분 센서와, 인산용액의 수분 함량이 저하되는 것을 판단하여 수분을 보충시켜 주기 위한 제1모터와, 추가적으로 용액을 공급해 주기 위한 용액 공급라인과, 공급할 물을 답고 있는 외부 용기와, 제2히터와, 외부 용기에 물을 공급하기 물공급 라인과, 물의 수위가 저하되는 것을 판단하여 용액을 보충시켜 주는 제2모터와, 물의 온도를 측정하는 온도 센서와, 수분 센서의 출력과 온도 센서의 출력을 수신하여, 수위가 저하되는 것을 판단하고, 이에 따라 용액을 보충시켜 주기 위한 제1모터 구동신호와 제2보터 구동신호를 출� ��하는 제어부로 이루어진다.
이 고안의 효과는, 외부 용기의 물이 자체의 히터에 의해서 가열되고, 화학 용기에 설치된 수분 센서에 의해서 용액중의 수분 함량이 감지되어 자동적으로 화학 용기 속으로 미리 예열된 물이 공급되게 되므로 안정한 공정을 유지할 수 있게 된다.-
公开(公告)号：KR2019940004326U
公开(公告)日：1994-02-24
申请号：KR2019920013871
申请日：1992-07-27
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H01L21/302
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公开(公告)号：KR1019930016200A
公开(公告)日：1993-08-26
申请号：KR1019920001237
申请日：1992-01-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B25B11/00
Abstract: 본 발명은 박편흡착장치에 대해 개시한다.
본 발명은 박편흡착장치는 그 몸체의 일측이 개구되고 측부에 그 몸체의 길이 방향으로 장공이 형성되고 타측에 안내장공이 형성된 중공형총열과, 상기 총열의 타측으로부터 연장형성된 권총손잡이와, 상기 총열내면에 밀착되어 슬라이딩 가능토록 삽입설치되는 피스톤과, 상기 피스톤과 그 일단부가 연결되고 상기 안내장공을 따라 슬라이딩 이동가능하게 설치되며 방아쇠가 상기 장공을 통해 외부로 노출되도록 형성된 피스톤 로드와, 상기 피스톤을 상기 총열의 개구방향으로 탄력설치되도록 하는 스프링 수단을 구비한다.
이러한 구성의 본 발명은 박편의 품질을 보호하면서 흡착할 수 있고, 이동작업이 간편하다.-
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019920020761A
公开(公告)日：1992-11-21
申请号：KR1019910005474
申请日：1991-04-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/335
Abstract: 내용 없음
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公开(公告)号：KR1019900005682B1
公开(公告)日：1990-08-06
申请号：KR1019870014517
申请日：1987-12-18
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: F25D17/08
Abstract: The apparatus for controlling the temperature of the cool and cold chambers with one switch includes a pair of cold air control plates (1,1') linked but sliding each other to adjust the cold air flow, a pair of levers (5,5') placing circular gears (12,18) at bottoms, a rotation knob (14) linked by a sliding knob (20) engaged with the circular gears. If necessary the temperoture of the certain chamber can be adjusted only by adjusting the corresponding air control plate.
Abstract translation: 用一个开关控制冷藏室的温度的装置包括一对冷空气控制板（1,1'），它们彼此相互滑动以调节冷气流，一对杆（5,5' ）在底部放置圆形齿轮（12,18），通过与圆形齿轮啮合的滑动旋钮（20）连接的旋钮（14）。 如果需要，可以通过调整相应的空气控制板来调节一定室的温度。
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公开(公告)号：KR100223586B1
公开(公告)日：1999-10-15
申请号：KR1019960017408
申请日：1996-05-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/306
Abstract: 이 발명은 반도체 제조 공정중 트렌치 식각(Trench Etch)시에 트렌치 하부를 라운딩(Rounding)시키는 공정에 관한 것이다.
이 발명의 구성은, 실리콘 기판 위에 열산화막과 질화막, 화학기상증착 저온산화막을 일정 두께로 형성하는 마스크 제작 단계와, 사진 및 식각 공정을 통하여 트렌치가 형성될 부분의 마스크를 제거한 후에 트렌치 식각을 실시하는 트렌치 형성 단계와, 트렌치 식각중에 발생한 식각 부산물의 처리를 위하여 디핑 처리한 후에 라운딩용 열산화막을 일정 두께 형성하고, 다음에 상기한 라운딩용 열산화막의 제거를 위해 습식 식각 공정을 진행하여 트렌치 하부를 라운딩시키는 라운딩 형성 단계로 이루어진다..
이 발명의 효과는 트렌치 형성후 열산화막을 형성하는 단계를 거침으로써 트렌치의 하부 구석 부분의 프로파일을 완만하게 만들 수 있기 때문에 유전 막질을 형성하기 위한 열산화막 공정에서 OSF를 줄여 트렌치의 전기적인 성질을 향상시킨 트렌치 하부의 라운딩 제조 공정을 제공할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100181961B1
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019910014939
申请日：1991-08-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H01L21/28
Abstract: 소정기판상에 제1절연막을 형성하고 제1절연막의 소정부분에 접촉구를 형성한후 상기 접촉구가 매몰되도록 도전층을 형성한다. 그다음 상기 제1절연막상의 도전층을 제거하여 접촉구 상부에 도전막대를 형성한후 제2절연막을 형성한다. 그후 제2절연막을 에치백하여 도전막대의 상부를 노출시켜 도전체로 완전히 채워진 접촉플러그를 형성한다. 따라서 애스팩트비가 큰 접촉구의 경우에도 접촉구 내에 보이드, 단락등의 결함이 생기지 않도록 도전체로 완전히 채워진 접촉플러그를 얻을 수 있으며, 또한 반도체 기판상에 서로다른 도전형의 확산영역을 가진 접촉구를 동시에 도전체로 매몰하여 접촉플러그를 형성하므로 공정이 간단하다.
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公开(公告)号：KR1019970031754A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950040995
申请日：1995-11-13
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김호기
IPC: H04N1/00
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
팩시밀리의 등록 전화번호 및 팩시밀리번호 검색장치 및 방법에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
팩시밀리에 미리 등록된 전화(혹은 팩시밀리)번호를 검색키 또는 숫자키를 눌러 자동으로 검색할 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
온후크상태인가를 검사하는 과정과; 상기 온후크상태가 아니면 탐색키의 입력을 검사하는 과정과; 상기 탐색키가 입력되면 상기 등록된 전화번호 또는 팩시밀리번호를 순차적으로 배열저장하는 과정과, 상기 등록된 전화번호 또는 팩시밀리번호가 배열저장되면 검색모드를 설정하는 과정과; 상기 검색모드가 설정되면 고속검색키의 입력을 검사하는 과정과; 상기 고속검색키가 입력되면 고속메세지표시시간을 설정하고, 입력되지 않으면 저속메세지표시시간을 설정한 뒤 디스플레이방향카운터를 초기화하는 과정과, 검색종료키가 입력되면 종료하고 입력이 없으면 상기 등록된 내용을 표시하는 과정으로 해결한다.
4. 발명의 중요한 용도
검색키 또는 숫자키를 눌러 등록전화 및 팩시밀리번호를 자동으로 검색할 수 있는 등록전화 및 팩시밀리번호 검색방법에 이용한다.
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