Abstract:
감마 곡선의 해석을 이용한 최적 기록 파워 결정방법이 개시된다. 본 발명에 따른 감마 곡선의 해석을 이용한 최적 기록 파워 결정방법은 데이터의 기록 시작 명령이 인가되는 단계, 광기록 매체의 PCA 내의 카운터 영역을 검사하여 OPC를 수행할 소정 위치를 결정하고, PCA 내의 테스트 영역에 EFM 신호를 기록하는 단계, PCA 영역에 수 회 기록된 테스트 데이터를 순차적으로 독출시 생성되는 RF 신호를 샘플링하여 검출된 최대 레벨의 광량과 최소 레벨의 광량에 기초하여 변조도를 산출하고, 변조도로부터 커브 피팅(curve fitting)에 의해 변조도 곡선을 추정하는 단계, 변조도 곡선으로부터 감마 곡선을 산출하고, 산출된 감마 곡선이 3차 함수 이상의 고차함수에 대응하는 곡선인지 판단하는 단계 및 감마 곡선이 3차 함수 미만의 소정 함수에 대응하는 곡선인 경우, 감마 곡선에 기초하여 최적 기록 광파워를 결정하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, OPC 수행시 얻어진 감마곡선이 3차 함수 이상의 고차함수에 대응하는 곡선인 경우, 노이즈가 있는 것으로 판단하고 OPC를 재수행한다. 따라서, OPC 수행시 보다 정확하게 최적 기록 광파워를 검출할 수 있는 장점이 있다. OPC, PCA, 변조도, 감마 곡선, 노이즈
Abstract:
최적 파워 결정을 위한 PCA 소거 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 최적 파워 결정을 위한 PCA 소거 방법은 기록시작명령이 인가되는 단계, 최적 파워 제어(Optimum Power Control)를 수행할 수 있는 미기록 PCA(Power Calibration Area) 영역을 검출하는 단계, 및 검출결과, PCA 영역 전체가 사용되어 미기록 PCA 영역이 검출되지 않은 경우, PCA 영역을 적어도 2회 이상 소거하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, PCA 소거 작업을 2회 이상 수행하여 PCA 영역을 깨끗이 지움으로써, OPC 수행으로 결정된 최적 기록 파워를 보다 신뢰할 수 있는 장점이 있다. OPC, PCA, 소거 파워, 최적 기록 파워, DVD-RW
Abstract:
RF 탑 채널 신호의 이상 유무 판별을 통한 최적 기록 파워 결정방법이 개시된다. 본 발명에 따른 RF 탑 채널 신호의 이상 유무 판별을 통한 최적 기록 파워 결정방법은 데이터의 기록 시작 명령이 인가되는 단계, 광기록 매체의 PCA 내의 카운터 영역을 검사하여 OPC를 수행할 소정 위치를 결정하고, PCA 내의 테스트 영역에 EFM 신호를 기록하는 단계, PCA에 수 회 기록된 테스트 데이터를 순차적으로 독출시 생성되는 RF 탑 채널 신호 및 RF 바툼 채널 신호를 A/D 샘플링한 후, 샘플링된 RF 탑 채널 신호의 노이즈 레벨을 체크하는 단계 및 샘플링된 RF 탑 채널 신호의 노이즈 레벨이 미리 설정된 소정 기준치보다 큰 경우, 최적 기록 파워 검출에 에러가 발생한 것으로 판단하여, 현재 OPC 수행중인 PCA 내의 소정 영역을 포기하고, PCA 내의 소정 신규 영역에서 OPC를 재수행하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 탑 채널 신호의 이상 유무를 간단히 판별하여 탑 채널 신호에 이상이 있는 경우, OPC를 재수행함으로써 보다 정확하게 최적 기록 파워를 결정할 수 있는 장점이 있다. OPC, PCA, RF, 노이즈, 탑 채널 신호, 바툼 채널 신호
Abstract:
PURPOSE: Vacuum tweezers are provided to minimize an electrical impact on a wafer, by making frictional electricity generated in an interface between the vacuum tweezers and the wafer leak through a ground line when the vacuum tweezers come in contact with or are separated from the wafer. CONSTITUTION: A tweezers body(50) functions as a handle, composed of a circular rod type. A hole(55) is formed in the center of the tweezers body so that air can passes through the hole. An absorbing head(70) has a plurality of absorbing holes(75), installed in a side of the tweezers body so that air can be absorbed. A vacuum pressure control unit(60) controls the air passing through the center of the tweezers body, installed in a side of the outer circumference of the tweezers body. A vacuum line(40) makes a vacuum pressure supplied to the tweezers body, installed in an end of the side part of the tweezers body in a direction opposite to the air absorbing head installed in the tweezers body. A ground wire(10) makes the frictional electricity generated in the air absorbing head leak to the ground(9). One end of the ground wire is connected to the air absorbing head, and the other end of the ground wire is connected to the ground.
Abstract:
PURPOSE: A three dimensional image generation apparatus based on photometric stereo method for shape from shading method and a control method thereof are provided to decrease operation quantity and operation time, by processing a less number of images in generating three dimensional images. CONSTITUTION: A photographing unit (201) generates at least one object image by photographing an image for a three dimensional image generation target object. A communication unit (203) receives at least one lighting location information for the object. A control unit (202) generates a three dimensional image on the basis of the object image and the lighting location information corresponding to each object image. [Reference numerals] (201,251) Photographing unit; (202,253) Control unit; (203,254) Communication unit; (252) Lighting unit
Abstract:
본 발명은 광디스크 장치 및 그의 레이저출력 자동유지방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기록 시 검출되는 erase level(이하 ELVL이라 한다)과 레이저 다이오드의 출력특성을 산출하는 POWER STUDY후 제어부에 세팅되는 ELVL의 차이를 없앰으로써 레이저 출력제어의 정확도 및 효율성을 향상시킨 광디스크 장치 및 그의 레이저출력 자동유지방법에 관한 것이다. 정확하고 효율적인 레이저출력의 자동유지를 위해 본 발명의 광디스크 장치는 광디스크로 레이저를 조사하는 레이저 다이오드와, 상기 레이저 다이오드에서 출사되는 레이저의 출력을 검출하는 프론트 포토다이오드와, 상기 프론트 포토다이오드의 출력신호를 처리하여 레이저의 출력을 복수의 레벨로 분리하여 출력하는 신호처리부와, 광디스크에 데이터를 기록하는 경우 출력되는 상기 신호처리부의 복수의 레벨을 이용하여 레이저 출력의 자동 유지제어의 목표출력값을 설정하는 제어부를 포함한다.
Abstract:
반도체 기판 처리공정에 사용되는 플라즈마 가속장치 및 그것을 구비하는 플라즈마 처리 시스템이 개시된다. 플라즈마 가속장치는, 내벽, 내벽과 소정간격을 두고 내벽을 에워싸는 외벽, 및 내벽과 외벽의 일단부를 오픈하는 출구를 형성하도록 내벽과 외벽의 타단부를 연결하는 단부벽을 구비하는 채널; 채널내에 가스를 공급하는 가스 공급부; 및 채널내의 가스에 이온화 에너지를 공급하여 플라즈마 빔을 생성하고, 생성된 플라즈마 빔을 출구쪽으로 가속시키는 플라즈마 생성/가속부를 포함하며; 채널의 내벽과 외벽 중의 적어도 하나는 적어도 출구쪽 부분이 중심에 가까워지도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 플라즈마 채널의 내벽과 외벽 중의 적어도 하나는 출구쪽 부분이 플라즈마 채널의 중심에 가까워지도록 경사지게 형성됨으로써, 플라즈마 생성/가속부에 의해 출구쪽으로 배출되는 플라즈마 빔이 플라즈마 채널의 중심쪽 하부에서 공정쳄버에 위치한 기판 또는 스퍼팅될 스퍼터 타겟으로 균일하게 공급될 수 있으며, 이에 따라 기판의 식각 프로파일이 균일하게 되어 기판의 식각패턴의 정밀도가 향상되거나, 스퍼팅된 물질에 의해 기판에 증착되는 박막의 균질도가 향상될 수 있다. 플라즈마, 가속, 채널, 벽, 경사, 에처, 스퍼터링
Abstract:
본 발명은 최적 기록 광파워의 편차 개선 방법에 관한 것으로 OPC 수행을 위한 영역을 미리 설정하여 두고 Erase Power로 삭제함으로써 OPC 기록 Power 편차를 줄일 수 있을 뿐만 아니라 Lead-in time도 단축할 수가 있다. 블루레이, OPC, 광파워, Kappa Curve, 디스크