公开(公告)号：KR1019990070110A

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：KR1019980004772

申请日：1998-02-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정용길

IPC: H01L21/66

Abstract: 본 발명은 반도체소자의 소정의 막의 두께분석방법에 관한 것이다.
본 발명은, 버티컬-주사전자현미경을 이용하여 웨이퍼 상에 형성시킨 소정의 막을 소정의 대역별로 그 두께를 측정하는 두께측정단계; 상기 웨이퍼 상에 형성시킨 소정의 막을 상기 소정의 두께 대역별로 면저항을 측정하는 면저항측정단계; 및 상기 소정의 대역별로 측정한 두께와 면저항을 비교하여 상기 소정의 대역별로 나타나는 면저항에 따른 두께를 분석하는 분석단계를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 웨이퍼 상에 형성시킨 소정의 막의 두께의 분석을 용이하고, 정확하게 분석하여 관리함으로써 반도체소자의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020000015074A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019980034797

申请日：1998-08-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정용길

IPC: H01L21/66

Abstract: PURPOSE: The apparatus can perform the opening and closing of a gate(2) without error to prevent the contamination of a reference block(1) due to the internal temperature change variation and a particle. CONSTITUTION: The apparatus is constructed by including; an elevating tool(20) which elevates a light shield door by a rotation force, being comprised on one side of the light shield door; a guiding tool(30) guiding the light shield door when the light shield door is elevated; and a sensing part(40) to confine the position of the light shield door. The apparatus performs the opening and closing of the gate by an assembly of the elevating tool comprising a motor(21) and a screw rod(22).

Abstract translation: 目的：该装置可以无错误地执行门（2）的打开和关闭，以防止由于内部温度变化变化和颗粒而导致参考块（1）的污染。 规定：该装置由以下构成： 升降工具（20），其通过旋转力升高遮光门，包括在遮光门的一侧; 导光工具（30），当遮光门升高时引导遮光门; 以及用于限制遮光门的位置的感测部分（40）。 该装置通过包括马达（21）和螺杆（22）的升降工具的组件来执行闸门的打开和关闭。

公开(公告)号：KR1019980066292A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970001716

申请日：1997-01-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정용길

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 FT-IR 설비의 웨이퍼 로딩(loading)부에서 스테이지 가이드에 클램프(clamp)를 설치하여 한계 지점에 이르면 더 이상의 이동을 방지하여 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있도록 한 반도체 FT-IR 설비의 웨이퍼 스테이지 스토퍼 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 FT-IR 설비의 웨이퍼 스테이지 스토퍼 장치의 구성은 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 스테이지와, 상기 웨이퍼 스테이지를 회전력에 의해 좌우로 위치를 이동시키는 로울러 및 상기 스테이지 가이드의 두께와 상응하는 크기의 절개된 홈을 구비한 스토퍼를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
상기한 본 발명에 의하면, 스테이지 가이드에 스토퍼 장치를 설치하므로써 조작자의 부주의가 발생하더라도 일정한계 이상에 도달하면 스토퍼 장치와 로울러가 접촉되어 정지하게 되고 이로써 웨이퍼의 이탈을 방지할 수 있는 효과가 있다.