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公开(公告)号：KR100837399B1
公开(公告)日：2008-06-12
申请号：KR1020060056549
申请日：2006-06-22
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B81B3/0062 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , G02B26/085 , H02K33/18
Abstract: 본 발명에 의하면 2축 구동형 맴스 디바이스가 개시된다. 개시된 맴스 디바이스는 제1 축과 동축으로 지지되어, 제1 축 및 수직한 제2 축에 대해 요동 구동되는 가동판, 가동판의 내측 영역에서 제2 축과 동축으로 지지된 스테이지, 가동판의 제1 축 선상을 따라 배치되고 중앙의 스테이지 영역을 사이에 두고 양분된 동축 코일부와, 각각 동축 코일부의 좌측 및 우측 단부를 서로 반대 위치에서 상호 연결하는 제1, 제2 연결 코일부를 구비하는 구동코일, 구동코일을 가로지르는 자기장을 형성하도록 각각 제1, 제2 연결 코일부에 근접하게 배치된 서로 반대 극성의 마그네트 쌍 및 마그네트 쌍에 의한 자기장이 마그네트와의 거리에 따라 급격히 변화되는 자속 밀도를 형성하도록 마그네트 쌍 사이의 상방 또는 하방 영역에 배치되고, 마그네트에 의해 자화될 수 있는 자성물질로 이루어진 요크 자성체를 포함한다. 본 발명에 따르면, 안정적으로 2축 구동이 가능하면서도 그 회전 구동력이 배가되는 맴스 디바이스가 제공된다.
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公开(公告)号：KR1020070096069A
公开(公告)日：2007-10-02
申请号：KR1020050115058
申请日：2005-11-29
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B81B3/0067 , B81B2203/058
Abstract: A torsion spring of an MEMS structure is provided to be manufactured simply and to produce a horizontal beam easily. A torsion spring of an MEMS structure(30) includes one horizontal beam(31), at least one vertical beam(33), and a plurality of auxiliary beams(35). The vertical beam is formed on the horizontal beam. The auxiliary beams are positioned on the horizontal beam in parallel to the vertical beam. The auxiliary beam is shaped like a bar or a plate and formed at a longitudinal direction of the horizontal beam. The vertical beam is formed at a center portion of the horizontal beam. The auxiliary beam is formed at both sides of the vertical beam.
Abstract translation: 提供了MEMS结构的扭转弹簧，以简单地制造并且容易地产生水平梁。 MEMS结构（30）的扭转弹簧包括一个水平梁（31），至少一个垂直梁（33）和多个辅助梁（35）。 垂直梁形成在水平梁上。 辅助光束平行于垂直光束定位在水平光束上。 辅助梁的形状类似于杆或板，并且在水平梁的纵向方向上形成。 垂直梁形成在水平梁的中心部分。 辅助梁形成在垂直梁的两侧。
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公开(公告)号：KR100694599B1
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：KR1020060028217
申请日：2006-03-29
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: An actuator comprising a mechanic filter is provided to eliminate vibration due to high frequency by effectively removing the interference of the high frequency so as to secure an accurate position control. In an actuator comprising a mechanic filter, an outer gimbal(220) is formed around a vibrator. One end of a first shaft is connected with the vibrator. A second shaft extended from the outer gimbal is perpendicular to the first shaft. The mechanic filter comprises an inner gimbal(124), which is formed between the vibrator and the outer gimbal and connected with the other end of the first shaft, and a connection shaft(210) which connects the inner gimbal with the outer gimbal and is formed in the same direction with the second shaft. The vibrator is vibrated on the first and second shafts by vibrating the outer gimbal on the first and second shafts according to an external input. The vibration of the second shaft of the outer gimbal is transferred to the vibrator through the connection shaft.
Abstract translation: 提供一种包括机械过滤器的致动器，以通过有效地消除高频干扰来消除由于高频引起的振动，从而确保精确的位置控制。 在包括机械过滤器的致动器中，围绕振动器形成外万向节（220）。 第一轴的一端与振动器连接。 从外万向节延伸的第二轴垂直于第一轴。 该机械滤波器包括形成于振动器与外万向节之间并与第一轴的另一端连接的内万向节（124）和连接内万向节与外万向节的连接轴（210）， 沿与第二轴相同的方向形成。 通过根据外部输入在第一和第二轴上振动外部万向节，振动器在第一和第二轴上振动。 外万向节的第二轴的振动通过连接轴传递到振动器。
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公开(公告)号：KR1020060009119A
公开(公告)日：2006-01-31
申请号：KR1020040056579
申请日：2004-07-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01H21/28
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0036 , H01H2059/0063
Abstract: 진동형 멤스 스위치가 개시된다. 본 스위치는, 교류전압이 인가되면 소정 방향으로 진동하는 진동체 및 진동체의 진동방향을 따라 소정거리 이격된 위치에 형성되는 고정접점을 포함한다. 이에 따라, 고정접점에 소정크기의 직류전압이 인가되면, 진동체의 진동폭이 증가하여 고정접점에 접촉하게 됨으로써 스위치가 온되게 된다. 한편, 진동체를 사이에 두고 소정의 제1기판 및 제2기판을 상호 접합시켜, 진동체를 진공상태의 밀폐된 공간에 고립시키는 것이 바람직하다. 본 발명에 따르면, 공진현상을 이용하여 스위치를 온/오프시키므로, 저전압으로도 안정적인 스위칭 동작을 수행할 수 있게 된다.
멤스, 스위치, 공진, 진동체-
公开(公告)号：KR100493151B1
公开(公告)日：2005-06-02
申请号：KR1020000041425
申请日：2000-07-19
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B81C1/00
CPC classification number: H02N1/008 , B82Y10/00 , G11B9/1418 , Y10S977/872
Abstract: 멀티 폴디드 스프링을 이용한 싱글 스테이지 마이크로 구동기에 관해 개시된다. 개시된 구동기는: 기판 상의 고정판 전극의 상방에 위치하는 것으로 4개의 변을 가지는 사각형의 스테이지와; 상기 스테이지의 제 1 방향의 양측 변과 제 2 방향의 양측 변에 대응하여 각 주변 영역에 마련되는 것으로 해당 주변 영역에 인접한 스테이지의 변에 수직인 방향으로 다수 나란하게 배치되는 다수의 구동 프레임을 구비하는 복수의 구동 프레임부와; 상기 스테이지의 각 변과 이에 대응하는 각 구동 프레임부를 상호 연결하는 것으로 상기 스테이지의 대응하는 변에 나란한 방향으로 연장되는 다수의 스프링 부재와 이를 지지하는 스프링 지지부재를 구비하는 제 1 스프링부와; 상기 각 영역의 구동 메인프레임부의 구동 프레임들과 교호적으로 나란히 배치되는 다수의 고정 프레임을 구비하는 다수의 고정 프레임부와; 상기 구동 프레임부의 각 구동 프레임에 마련되는 것으로 각 해당 영역에 대응한 상기 스테이지의 일측 변에 나란한 방향으로 연장되는 구동 콤 전극과; 상기 고정 프레임부의 각 고정 프레임에 마련되는 것으로 상기 구동 콤 전극과 교호적으로 나란히 배치되는 고정 콤 전극과; 상기 구동 프레임부를 각각 상기 기판에 대해 지지함과 아울러 해당 구동 프레임부의 구동 콤 전극의 연장 방향으로 탄성 바이어스하는 것으로서, 해당 구동프레임부의 구동프레임과 나란한 방향으로 연장되는 다수의 스프링부재와 이들 스프링 부재를 지지하는 스프링 지지부재를 구비하는 제2스프링부를; 구비하는 싱글 스테이지 마이크로 구동기를; 구비한다. 구동부에 하나의 전극을 사용하여 다축 구동을 하며 절연 공정이 불필요하여 공정 단순화가 이루어 지고, 두축 구동시 커플링이 배제되는 한편 일정 크기를 갖는 저장매체인 미디어를 싣는 스테이지를 장착하더라도 XY 평면 운동이외의 다른 운동이 상대적으로 발생하기 어려운 스프링 지지 구조가 제공된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100474835B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020000040985
申请日：2000-07-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H02N1/00
CPC classification number: H02N1/008 , B82Y10/00 , G11B9/1418
Abstract: 싱글 스테이지 마이크로 구동기에 관해 개시된다. 개시된 구동기는: 4개의 변을 가지는 사각형의 스테이지의 주위의 영역에 마련되는 것으로 해당 하는 주변 영역에 인접하여 나란하게 배치되는 다수의 구동 프레임을 구비하는 복수의 구동 프레임부와; 상기 스테이지의 대응하는 변에 수직인 방향으로 연장되는 다수의 스프링 부재를 구비하는 다수의 콤 수직방향 변형 스프링부와; 구동 메인프레임부의 구동 프레임들과 교호적으로 나란히 배치되는 다수의 고정 프레임을 구비하는 다수의 고정 프레임부와; 상기 구동 프레임부의 각 구동 프레임부에 마련되는 것으로 각 해당 영역에 대응한 상기 스테이지의 일측 변에 수직인 방향으로 연장되는 구동 콤 전극과; 상기 구동 콤 전극과 교호적으로 나란히 배치되는 고정 콤전극과; 각 영역에 대응하는 스테이지의 일측변에 대해 수직인 방향으로의 탄성 복원력을 제공하는 다수의 콤방향 변형 스프링부를; 구비한다. 구동부에 하나의 전극을 사용하여 다축 구동을 하며 절연 공정이 불필요하여 공정 단순화가 이루어 지고, 일정 크기를 갖는 저장매체인 미디어를 싣는 스테이지를 장착하더라도 XY 평면 운동이외의 다른 운동이 상대적으로 발생하기 어려운 스프링 지지 구조가 제공된다.
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公开(公告)号：KR100459887B1
公开(公告)日：2004-12-03
申请号：KR1019990000387
申请日：1999-01-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01P15/08
CPC classification number: H02N1/008 , B81B3/0094 , B81B2201/025 , B81B2203/0136 , G01C19/5755 , G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0814
Abstract: In the 3-dimensional comb structure, a suspension structure (34), which is an inertia body, is separated a predetermined height from a substrate (31), maintaining the predetermined height from the substrate. A movable comb, which has at least one movable comb finger (35), protrudes perpendicularly from the suspension structure (34). A fixed comb, which has at least one fixed comb finger (32), protrudes perpendicularly from the substrate (31), in mesh with the movable comb. The 3-dimensional comb structure is driven by a voltage provided from a power supply unit which is connected to the movable comb and the fixed comb.
Abstract translation: 在三维梳状结构中，作为惯性体的悬架结构（34）与基板（31）分离预定高度，从基板保持预定高度。 具有至少一个可动梳齿（35）的可动梳子从悬挂结构（34）垂直地伸出。 具有至少一个固定的梳状指状物（32）的固定梳状物从衬底（31）垂直地伸出，与可动梳状物啮合。 三维梳状结构由连接到可动梳和固定梳的电源单元提供的电压驱动。 ＆lt;图像＆GT;
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公开(公告)号：KR100450790B1
公开(公告)日：2004-10-01
申请号：KR1019990019454
申请日：1999-05-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B26/10
Abstract: PURPOSE: A micro mirror scanner and a production method thereof are provided to reduce a linear resistance by a driving coil and to drive at low current and large amplitude with a resonance. CONSTITUTION: A substrate(1000) is divided to central/peripheral/connecting areas. A groove(101) is formed in the central area. An electrode layer(100) and a first mask layer(1002) are formed in the substrate. A driving coil(600) is formed on an electrode inside the groove. After removing the first mask layer, two terminal areas and a second mask layer are formed. A terminal layer and a first wiring layer are formed by etching an uncovered part of the second mask layer. The second mask layer is removed and an insulating layer is formed. A mirror layer is formed in the central area. The central area is supported in the peripheral area with the connecting area by etching between the central area and the peripheral area.
Abstract translation: 目的：提供一种微反射镜扫描器及其制造方法，以减小驱动线圈的线性电阻，并利用谐振在低电流和大振幅下驱动。 构成：衬底（1000）分为中央/周边/连接区域。 凹槽（101）形成在中央区域中。 在衬底中形成电极层（100）和第一掩模层（1002）。 驱动线圈（600）形成在槽内的电极上。 在去除第一掩模层之后，形成两个端子区域和第二掩模层。 通过蚀刻第二掩模层的未覆盖部分形成终端层和第一布线层。 去除第二掩模层并形成绝缘层。 镜面层形成在中心区域。 中心区域通过中心区域和外围区域之间的蚀刻而被连接区域支撑在外围区域中。
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公开(公告)号：KR1020120055916A
公开(公告)日：2012-06-01
申请号：KR1020100117368
申请日：2010-11-24
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: A61B1/0052 , A61B1/0055 , A61B1/0057 , A61B1/008
Abstract: PURPOSE: An endoscope is provided to reduce time to be required for an endoscopic procedure, thereby alleviating physical demands upon a patient. CONSTITUTION: A flexible portion(60) is freely bent by force added from the outside. A curvature portion(70) is bent while having one degree of freedom. The curvature portion comprises a plurality of curvature nodes(71) and an elastic member. The elastic member is arranged between the curvature nodes. A rotation apparatus(100) is combined with the flexible portion which can be rotated. A control portion comprises a rotation control portion which controls rotation of the rotation apparatus.
Abstract translation: 目的：提供内窥镜以减少内窥镜手术所需的时间，从而减轻对患者的身体需求。 构成：柔性部分（60）通过从外部添加的力自由弯曲。 曲率部（70）弯曲同时具有一个自由度。 曲率部分包括多个曲率节点（71）和弹性构件。 弹性构件设置在曲率节点之间。 旋转装置（100）与可旋转的柔性部分组合。 控制部包括控制旋转装置的旋转的旋转控制部。
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公开(公告)号：KR100911144B1
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：KR1020070030035
申请日：2007-03-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G02B26/085 , G02B26/101 , H01F7/08 , H01F7/122 , H01F7/14 , H01F2007/068 , H01F2007/1692 , H02K16/04 , H02K41/0354 , H02K2201/18
Abstract: 본 발명은 2축구동 전자기 액추에이터에 관하여 개시한다. 개시된 2축구동 전자기 액추에이터는, 제1축에 대해서 회동가능하게 형성된 스테이지; 상기 제1축에서 상기 스테이지의 양측을 지지하는 내부프레임; 상기 제1축과 직교하는 제2측에서 상기 내부프레임의 바깥쪽 양측을 지지하는 외부프레임; 상기 제1축 및 제2축 사이로 전기장을 제공하는 자석; 상기 내부프레임에 형성되며, 상기 스테이지를 상기 제2축방향으로 회동하는 제1신호가 인가되는 제1구동코일; 및 상기 내부프레임에 형성되며, 상기 스테이지를 상기 제1축방향으로 회동하는 제2신호가 인가되는 제2구동코일;을 구비하며, 상기 제1구동코일 및 제2구동코일을 서로 전기적으로 분리되게 형성된 것을 특징으로 한다.
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