公开(公告)号：KR100973816B1

公开(公告)日：2010-08-03

申请号：KR1020030095417

申请日：2003-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안근수 ,  조재남

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G06F1/182 ,  G06F1/1601 ,  G06F2200/1612 ,  H01L21/673

Abstract: 프레임, 프레임을 복수개의 층으로 구분하는 복수개의 슬롯을 포함하고, 슬롯은 프레임으로부터 수평방향으로 연장되어 있는 복수개의 주 지지바, 복수개의 주 지지바를 서로 연결하는 복수개의 지지 와이어를 포함하며, 복수개의 주 지지바 위에 기판을 위치시키는 카세트.
대형기판, 카세트, 와이어, 지지바

公开(公告)号：KR1020060012500A

公开(公告)日：2006-02-08

申请号：KR1020040061211

申请日：2004-08-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김유신 ,  박정훈 ,  조재남 ,  손명석

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1333 ,  G02F1/1309 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/6773

Abstract: 본 발명은 레이저센서 및 반사판을 통해 카세트(cassette)의 기판사이즈 세팅상태를 간편하게 확인할 수 있도록 한 카세트용 기판사이즈 확인장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 카세트용 기판사이즈 확인장치는, 기판(10)을 이송하는 로봇암(20)과; 로봇암(20)을 통해 이송되는 기판(10)이 적재되며, 기판(10)의 사이즈 변화에 따라 선택적으로 이동 가능한 모델체인지키트(model change kit)(32)를 갖는 카세트(30)와; 모델체인지키트(32)에 장착되는 반사판(40a)과; 로봇암(20)에 장착되며, 반사판(40a)을 향해 레이저를 조사하여 그 반사 유무를 감지함으로써 카세트(30)의 기판사이즈 세팅상태를 확인하는 레이저센서(50)를 포함하여 구성된다. 이에 따라, 호스트(Host) 정보의 부확성으로 인해 발생되는 기판의 파손 및 라인의 중지 등을 미연에 방지함으로써 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있다.
기판, 로봇암, 카세트, 모델체인지키트, 반사판, 레이저센서

Abstract translation: 本发明涉及通过所述盒（盒）尺寸的激光传感器和反射板的基板盒容易地验证所述设定条件检测装置的电路板尺寸。