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公开(公告)号：KR100653078B1
公开(公告)日：2006-12-04
申请号：KR1020050120674
申请日：2005-12-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: A panel loading cassette is provided to prevent particles from contaminating a panel and to performing an aiming process without an additional disassembling process on the panel loading cassette itself by using a simplified sealing structure. A panel loading cassette(10) includes a loading unit and a frame. The loading unit is used for loading a plurality of panels. The frame(30) includes a plurality of opening portions corresponding to the panels. The panel loading cassette further includes a blinder(40) for opening/closing the opening portions of the panels and a driving unit. The driving unit(50) is connected to the frame in order to rotate the blinder between closing and opening positions.
Abstract translation: 提供面板装载盒以防止颗粒污染面板并且通过使用简化的密封结构执行瞄准过程而无需在面板装载盒本身上进行额外的拆卸过程。 面板装载盒（10）包括装载单元和框架。 装载单元用于装载多个面板。 框架（30）包括对应于面板的多个开口部分。 面板装载盒还包括用于打开/关闭面板的开口部分的遮蔽件（40）和驱动单元。 驱动单元（50）连接到框架以便在遮蔽位置和打开位置之间旋转遮蔽物。
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公开(公告)号：KR100575160B1
公开(公告)日：2006-04-28
申请号：KR1020040068430
申请日：2004-08-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은, 복수의 기판을 적재하기 위한 기판 적재용 카세트에 관한 것으로서, 상기 기판을 적재하도록 마련된 적재공간을 형성하고, 상기 적재공간의 양측에 배치되어 상기 적재공간으로 돌출형성된 지지대결합부를 갖는 복수의 측면프레임을 포함하는 프레임과; 양단부가 상기 지지대결합부의 하부면과 결합되며 상기 프레임의 상하방향으로 이격 배치된 복수의 지지대와; 상기 기판을 적재하는 로봇아암이 상기 지지대와 간섭되지 않도록 상기 각 지지대에 기립 설치되어 상기 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지핀을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 기판을 안전하게 보관 및 운반할 수 있으며, 특히 대형 기판의 경우에도 기판의 휨을 최대한 줄일 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050064129A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：KR1020030095417
申请日：2003-12-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G06F1/182 , G06F1/1601 , G06F2200/1612 , H01L21/673
Abstract: 프레임, 프레임을 복수개의 층으로 구분하는 복수개의 슬롯을 포함하고, 슬롯은 프레임으로부터 수평방향으로 연장되어 있는 복수개의 주 지지바, 복수개의 주 지지바를 서로 연결하는 복수개의 지지 와이어를 포함하며, 복수개의 주 지지바 위에 기판을 위치시키는 카세트.
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公开(公告)号：KR100973816B1
公开(公告)日：2010-08-03
申请号：KR1020030095417
申请日：2003-12-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02F1/13
CPC classification number: G06F1/182 , G06F1/1601 , G06F2200/1612 , H01L21/673
Abstract: 프레임, 프레임을 복수개의 층으로 구분하는 복수개의 슬롯을 포함하고, 슬롯은 프레임으로부터 수평방향으로 연장되어 있는 복수개의 주 지지바, 복수개의 주 지지바를 서로 연결하는 복수개의 지지 와이어를 포함하며, 복수개의 주 지지바 위에 기판을 위치시키는 카세트.
대형기판, 카세트, 와이어, 지지바-
公开(公告)号：KR1020060043647A
公开(公告)日：2006-05-15
申请号：KR1020050021408
申请日：2005-03-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B65G49/00
Abstract: 본 발명에 따른 카세트 스토킹 시스템은 복수개의 선반으로 형성되어 있으며, 복수개의 카세트가 적재되는 선반부, 선반부 사이의 주행로를 따라 이동하며, 카세트를 핸들링하는 크레인을 포함하고, 크레인의 양 측면에는 차단판이 설치되어 있는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 카세트 스토킹 시스템은 크레인의 양측면에 차단판을 설치함으로써 크레인 주행 시 기류 유동의 확산을 방지한다.
대형기판, 카세트, 스토커, 기류, 파티클, 이물질, 차단판, 배기홀-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050020138A
公开(公告)日：2005-03-04
申请号：KR1020030057851
申请日：2003-08-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B65G53/02
CPC classification number: H01L21/67784 , F26B15/12 , F26B25/004
Abstract: PURPOSE: A conveyance system is provided to improve the conveying speed by feeding a conveyance member without coming in contact with the conveyance member. CONSTITUTION: A conveyance system includes a support plate(10) and plural air nozzles(20) installed on the support plate. The air nozzles jet or suck air to feed a conveyance member(30). The air nozzles are installed along the feed direction of the conveyance member and situated to the lower part of the conveyance member. An air movement groove is formed inside the air nozzle to make the inside of the air nozzle vacuum.
Abstract translation: 目的：提供输送系统，以通过输送输送构件而不与输送构件接触来提高输送速度。 构成：输送系统包括支撑板（10）和安装在支撑板上的多个空气喷嘴（20）。 空气喷嘴喷射或吸入空气以输送输送构件（30）。 空气喷嘴沿着输送部件的供给方向安装并位于输送部件的下部。 空气喷嘴内部形成空气运动槽，使空气喷嘴的内部成为真空。
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公开(公告)号：KR101002933B1
公开(公告)日：2010-12-21
申请号：KR1020030069924
申请日：2003-10-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/30 , G03F7/3028
Abstract: 잔류불량을 효율적으로 제거하여 포토 레지스트 패턴을 생성하기 위한 포토 레지스트 패턴 형성장치 및 방법이 개시된다. 포토 레지스트 코팅부는 포토 레지스트 조성물을 증착하여 포토 레지스트막을 생성하고, 노광부는 포토 레지스트막을 선택적으로 노광하며, 현상부는 노광된 포토 레지스트막을 선택적으로 현상하고, 잔류불량 감지부는 현상된 포토 레지스트막의 잔류불량을 감지하여, 감지된 잔류불량에 상응하는 잔류불량 정보를 생성하는 고, 잔류불량 제거부는 잔류불량 정보에 상응하는 잔류불량 발생영역에 포토 레지스트를 용해하기 위한 용제를 분사한 후, 용제에 의해 용해된 포토 레지스트를 흡입한다. 따라서, 잔류불량이 발생된 영역에 포토 레지스트 용제를 분사하고, 용제에 의해 분해된 포토 레지스트를 흡입하여 잔류불량을 효율적으로 제거할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020060116989A
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：KR1020050039669
申请日：2005-05-12
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: A system for manufacturing a flat panel display is provided to minimize the works in a factory by stacking a plurality of hexahedron boxes to install a shelf section. A system for manufacturing a flat panel display includes shelf sections(100) and a crane(200). A plurality of hexahedron boxes are stacked in the shelf section. A cassette is loaded in the hexahedron box. The crane is moved along a travelling path between the shelf sections to handle the cassette. A plurality of first fan filter units are installed on a side surface of the hexahedron box. The fan filter unit is installed on a side surface located at a position remoter from the travelling path.
Abstract translation: 提供一种用于制造平板显示器的系统，以通过堆叠多个六面体盒来安装货架部分来最小化工厂中的工作。 一种用于制造平板显示器的系统包括搁板部分（100）和起重机（200）。 多个六面体盒堆叠在搁板部分中。 盒式磁带装载在六面体盒中。 起重机沿着搁架部分之间的行进路径移动以处理该盒。 多个第一风扇过滤器单元安装在六面体箱的侧表面上。 风扇过滤器单元安装在位于远离行驶路径的位置的侧面上。
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公开(公告)号：KR1020060019777A
公开(公告)日：2006-03-06
申请号：KR1020040068430
申请日：2004-08-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67309 , H01L21/6734 , Y10S414/137
Abstract: 본 발명은, 복수의 기판을 적재하기 위한 기판 적재용 카세트에 관한 것으로서, 상기 기판을 적재하도록 적재공간을 형성하는 프레임과; 양단부가 상기 프레임에 결합되어 상기 프레임에 수평방향으로 설치되며, 상기 프레임의 상하방향으로 이격 배치된 복수의 지지대와; 상기 기판을 적재하는 로봇아암이 상기 지지대와 간섭되지 않도록 상기 각 지지대에 기립 설치되어 상기 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지핀을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 기판을 안전하게 보관 및 운반할 수 있으며, 특히 대형 기판의 경우에도 기판의 휨을 최대한 줄일 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于装载用于装载多个基板的基板的盒，该盒包括：形成用于装载基板的装载空间的框架; 多个支撑件，沿水平方向安装在框架的两端并沿框架的垂直方向间隔开; 并且至少一个支撑销竖立在支撑杆上并支撑基板，使得装载基板的机器人臂不会干扰支撑杆。 因此，能够安全地进行基板的保管和运送，特别是即使在基板较大的情况下，也能够使基板的翘曲最小化。
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公开(公告)号：KR1020050040008A
公开(公告)日：2005-05-03
申请号：KR1020030075110
申请日：2003-10-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B65G47/56
CPC classification number: B65G17/123
Abstract: 프레임, 프레임의 내부에 위치하는 복수개의 반송 플레이트, 반송 플레이트의 일단부와 연결되어 있는 제1 와이어, 반송 플레이트의 타단부와 연결되어 있는 제2 와이어, 제1 와이어 및 제2 와이어를 상하로 이동시키는 구동 장치를 포함하고, 반송 플레이트는 제1 와이어 및 제2 와이어의 상하 이동을 따라 함께 상하 이동하는 기판 승강기.
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