-
公开(公告)号：KR100172086B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019960004393
申请日：1996-02-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01J37/26
Abstract: 전자 빔(Beam) 및 2차전자(Secondary Electron)의 외부자장에 의한 영향을 없애는 엔클로저 및 자장유도라인 일체형 주사전자현미경에 관한 것이다.
본 발명은 자장센서, 상기 자장센서에서 센싱한 외부자장에 대한 역자장을 유도시키기 위한 제어신호를 출력하는 제어부, 상기 제어부의 재어신호에 따라 역자장 유도를 위한 제1, 제2 및 제3전류를 공급하는 전력공급원이 부설되고 상기 전력공급원으로부터 제1, 제2 및 제3전류가 공급되면 각각의 역자장이 유도되는 제1, 제2 및 제3자장유도라인이 엔클로저에 일체로 구성되어 이루어진다.
따라서, 본 발명에 있어서 엔클로저 및 자장유도라인 일체형 주사전자현미경은 관찰하는 시료의 이미지를 왜곡없이 나타낼 수 있어서 시료의 정확한 검사 및 측정을 극대화하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019990011925A
公开(公告)日：1999-02-18
申请号：KR1019970035180
申请日：1997-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 본 발명은 반도체장치의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은, 불순물이 주입된 활성영역과 다른 비활성영역으로 구분되어진 웨이퍼의 상기 활성영역 상부에 게이트산화막이 개재되고, 측벽에 스페이서가 형성된 게이트전극을 형성하는 단계, 게이트전극이 형성된 상기 웨이퍼 상부에 금속막을 형성한 후, 열처리공정을 진행하여 상기 게이트전극 상부와 상기 스페이서 양측의 상기 웨이퍼 상부에 형성된 상기 금속막의 금속물을 금속실리사이드물로 변형시키는 단계, 상기 변형된 금속실리사이드물 이외의 상기 금속물을 케미컬을 사용하여 제거하여 상기 스페이서 상부 및 상기 비활성영역 상부를 개방시켜 금속실리사이드막을 형성하는 단계 및 개방된 스페이서 상부 및 상기 비활성영역 상부에 상기 금속물의 존재여부를 높은 가속전압이 인가되는 주사전자현미경을 사용하여 분석하는 단계를 포� �하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서, 스페이서 및 비활성영역 상부에 존재하는 금속물에 의해서 완성된 반도체장치가 동작불량을 야기하는 것을 예방할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019980026109A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019960044434
申请日：1996-10-07
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 함상규
IPC: G02B21/24
Abstract: 반도체장치의 공정상태 검사시 주요기능을 담당하는 구성품들이 내장된 칼럼유니트에 진동이 전달되는 것을 방지하는 전자현미경의 진동 감쇠장치에 관한 것이다.
본 발명은 전자총, 포커스 렌즈, 시료챔버 및 디텍터등 주요구성품이 내부에 설치된 상부 칼럼유니트(12)와, 진공라인(15) 및 진공펌프가 내부에 설치된 하부 칼럼유니트(13)로 구성된 전자현미경에 있어서, 내부에 에어가 충진된 에어 패널(Air Panel)(14)이 상기 상부 칼럼유니트(12)의 저면에 설치되어 하부 칼럼유니트(13)로부터 전달되는 진동을 감쇠시키도록 구성된 것이다.
따라서 상부 칼럼유니트로 전달되는 진동이 최소화되어 정확한 검사가 이루어지는 것이고, 이로써 데이터의 신뢰도에 대한 안정성을 지속적으로 유지할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019970053261A
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR1019950065737
申请日：1995-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그 작동 방법에 관한 것으로서, 웨이퍼 카세트를 안착시키는 안착부와, 상기 안착부 하단에 장착되어 웨이퍼 카세트를 고정하는 고정부와, 상기 고정부에 고정된 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 이송하는 이송부와, 상기 이송부에 의해 이송된 웨이퍼를 측정하는 측정부와, 상기 측정부에서 측정된 데이터를 나타내는 모니터부와, 상기의 진행 단계를 여러 색의 빛으로 나타내는 발광부로 구성됨을 특징으로 한다. 한편 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치의 작동 방법은 웨이퍼 카세트를 안착부에 안착시키고 작동 스위치를 누르는 제1스텝과, 작동 스위치의 접속에 의해 웨이퍼 카세트를 고정하고 그 완료를 작업자에게 알리는 제2스텝과, 로봇 아암의 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에서 꺼내는 사전 조정한 후 측정부로 이송하는 제3스텝과, 측정부에서 측정이 완료된 웨이퍼의 측정 데이터를 출력하고 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 로딩하는 제4스텝과, 상기의 과정을 반복하여 마지막 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 로딩되면 그 종료를 작업자에게 알리는 제5스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.
-
公开(公告)号：KR1020000002957A
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019980023972
申请日：1998-06-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: A semiconductor device analysis method is provided to analyze easily the laminated film profile formed on the semiconductor substrate. CONSTITUTION: The semiconductor device analysis method comprises steps of; sampling a semiconductor substrate for an analysis form many semiconductor substrates of laminated films; when the top layer film of the laminated films formed on the semiconductor substrate is an insulation film, forming a W(C0)6 film and putting it in a focus ion beam device.
Abstract translation: 目的：提供半导体器件分析方法来容易地分析形成在半导体衬底上的层压膜轮廓。 构成：半导体器件分析方法包括以下步骤： 采用半导体衬底进行分析，形成许多层压薄膜的半导体衬底; 当形成在半导体衬底上的叠层膜的顶层膜是绝缘膜时，形成W（C0）6膜并将其放在聚焦离子束装置中。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100236716B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019970035180
申请日：1997-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/78 , H01L21/336
CPC classification number: B24B37/013 , H01L22/12 , H01L22/26
Abstract: 본 발명은 반도체장치의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은, 불순물이 주입된 활성영역과 다른 비활성영역으로 구분되어진 웨이퍼의 상기 활성영역 상부에 게이트산화막이 개재되고, 측벽에 스페이서가 형성된 게이트전극을 형성하는 단계, 게이트전극이 형성된 상기 웨이퍼 상부에 금속막을 형성한 후, 열처리공정을 진행하여 상기 게이트전극 상부와 상기 스페이서 양측의 상기 웨이퍼 상부에 형성된 상기 금속막의 금속물을 금속실리사이드물로 변형시키는 단계, 상기 변형된 금속실리사이드물 이외의 상기 금속물을 케미컬을 사용하여 제거하여 상기 스페이서 상부 및 상기 비활성영역 상부를 개방시켜 금속실리사이드막을 형성하는 단계 및 개방된 스페이서 상부 및 상기 비활성영역 상부에 상기 금속물의 존재여부를 높은 가속전압이 인가되는 주사전자현미경을 사용하여 분석하는 단계를 포� �하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서, 스페이서 및 비활성영역 상부에 존재하는 금속물에 의해서 완성된 반도체장치가 동작불량을 야기하는 것을 예방할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100192961B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950065737
申请日：1995-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L21/67253 , G01N21/9501 , G01R31/01 , G01R31/2831 , H01L21/68707 , Y10S414/135 , Y10S414/136 , Y10S414/137 , Y10S414/14
Abstract: 본 발명은 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치 및 그 작동 방법에 관한 것으로서, 웨이퍼 카세트를 안착시키는 안착부와, 상기 안착부 하단에 장착되어 안착된 웨이퍼 카세트의 하단 부위를 걸어 고정할 수 있도록 걸림턱을 구비하는 고정부와, 상기 고정부에 고정된 웨이퍼 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 이송하는 이송부와, 상기 이송부에 의해 이송된 웨이퍼를 측정하는 측정부와, 상기 측정부에서 측정된 데이터를 나타내는 모니터부와, 상기의 진행 단계를 여러 색의 빛으로 나타내는 램프를 구비하는 발광부를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
한편 카세트 잠금기가 장착된 웨이퍼 측정 장치의 작동 방법은 웨이퍼 카세트를 안착부에 안착시키고 작동 스위치를 누르는 제1 스텝과, 스위치의 접속에 의해 웨이퍼 카세트를 고정하고 그 완료를 작업자에게 알리는 제2 스텝과, 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에서 꺼내어 사전 조정한 후 측정부로 이송하는 제3 스텝과, 측정부에서 측정이 완료된 웨이퍼의 측정 데이터를 출력하고 로봇 아암이 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 로딩하는 제4 스텝과, 상기의 과정을 반복하여 마지막 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 로딩되면 그 종료를 작업자에게 알리는 제5 스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1019990003267A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970027095
申请日：1997-06-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 레이저 발진기로부터 조사되는 레이저를 지속적으로 감지하여 레이저의 세기를 표시하고, 레이저의 세기가 설정기준 이하로 감지되면 경보가 발생되어 레이저 발진기의 수명이 체크되도록 개선시킨 반도체장치 제조공정 검사용 레이저 설비의 수명 체크 장치에 관한 것이다.
레이저 발진기로부터 조사되는 레이저의 소정량이 편광되도록 소정 각을 이루어서 설치된 편광경, 편광경으로부터 편광된 광을 감지하여 레이저의 세기를 측정하고, 경보신호를 출력하는 제어부, 제어부에 연결되어 레이저의 세기를 수치로써 표시하는 디스플레이 수단 및 제어부의 판단에 의해 출력되는 레이저 발진기의 수명 경보신호를 처리하여 경보를 발생하는 경보부를 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 지속적으로 레이저 장치를 체크함으로써 레이저 장치의 안정된 관리가 이루어지고, 수명체크가 지속적으로 수행되어 시간과 인력소요를 줄임으로써 생산성이 향상되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100151037B1
公开(公告)日：1998-12-01
申请号：KR1019950011019
申请日：1995-05-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 이물질이 부착된 웨이퍼를 형성하는 장치 및 이를 이용하여 웨이퍼에 이물질을 부착하는 방법에 대해 기재되어 있다. 이는 이물질 생성부, 이물질 생성부의 출력단과 연결되어 있는 이물질 크기조절부, 이물질 크기조절부의 출력단과 연결되어 있는 제1이물질 전송튜브, 제1이물질 전송튜브의 끝단에 연결되어 있는 제2 및 제3이물질 전송튜브, 제2이물질 전송튜브의 끝단에 연결되어 있는 제1카운터부, 제3이물질 전송튜브의 끝단에 연결되어 있는 이물질 부착부, 이물질 부착부와 연결되어 있는 제2카운터부 및 이물질 부착부와 연결되어 있는 전원공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 이물질의 크기뿐만 아니라 개수까지 정확하게 아는 이물질이 부착된 웨이퍼를 얻을 수 있고, 하나의 웨이퍼 상에 한 종류 및 크기 이상의 이물질을 같이 부착할 수 있다.
-
公开(公告)号：KR1019970063377A
公开(公告)日：1997-09-12
申请号：KR1019960004393
申请日：1996-02-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01J37/26
Abstract: 전자 빔(Beam) 및 2차전자(Secondary Electron)의 외부자장에 의한 영향을 없애는 엔클로저 및 자장유도라인 일체형 주사전자현미경에 관한 것이다.
본 발명은 자장센서, 상기 자장센서에서 센싱한 외부자장에 대한 역자장을 유도시키기 위한 제어신호를 출력하는 제어부, 상기 제어부의 제어신호에 따라 역자장 유도를 위한 제1, 제2 및 제3전류를 공급하는 전력공급원이 부설되고 상기 전력공급원으로부터 제1, 제2 및 제3전류가 공급되면 각각의 역자장이 유도되는 제1, 제2 및 제3자장유도라인이 엔클로저에 일체로 구성되어 이루어진다.
따라서, 본 발명에 있어서 엔클로저 및 자장유도라인 일체형 주사전자현미경은 관찰하는 시료의 이미지를 왜곡없이 나타낼 수 있어서 시료의 정확한 검사 및 측정을 극대화하는 효과가 있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
20
records
(took 0.017 seconds)
