公开(公告)号：KR1020070074904A

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：KR1020060003016

申请日：2006-01-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안재현

IPC: H01L21/20

CPC classification number: C23C16/4412 ,  C23C16/34 ,  C23C16/4401 ,  H01L21/67017

Abstract: A pumping line for use in an apparatus for manufacturing a semiconductor device is provided to minimize the condensation of processing byproducts onto an inner wall of an exhaust line using an optimized diameter of the exhaust line. A pumping line for use in an apparatus for manufacturing a semiconductor device is used to discharge processing byproducts generated from a processing gas within a process chamber(102) during a manufacturing process of the semiconductor device. The pumping line includes an inlet portion(202), a turbo pump(206) and an exhaust line(210). The inlet portion is formed at an exterior wall of the process chamber in which a material film is deposited on a semiconductor substrate. The turbo pump is used to pump an interior of the process chamber. The exhaust line through which a processing gas in the process chamber is discharged is used to connect the inlet portion with the turbo pump. The exhaust line has a diameter which prevents the processing byproducts from being condensed on an inner wall of the exhaust line. The diameter of the exhaust line is equal to or larger than 100 mm.

Abstract translation: 提供了一种用于制造半导体器件的设备的泵送线路，以最小化利用排气管线的优化直径将加工副产物冷凝到排气管线的内壁上。 在半导体器件的制造过程中，使用用于制造半导体器件的装置的泵送线来排出在处理室（102）内由处理气体产生的副产物。 泵送管线包括入口部分（202），涡轮泵（206）和排气管线（210）。 入口部分形成在处理室的外壁上，其中材料膜沉积在半导体衬底上。 涡轮泵用于泵送处理室的内部。 使用处理室中的处理气体排出的排气管将入口部与涡轮泵连接。 排气管线具有防止加工副产物在排气管线的内壁上冷凝的直径。 排气管的直径等于或大于100mm。

公开(公告)号：KR1020070019802A

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：KR1020050073724

申请日：2005-08-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안재현

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/67011 ,  B05B1/005

Abstract: 가스 분사 노즐을 통해 가스가 유입되는 챔버를 구비한 매엽식 기판 처리 장치에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 공정 가스를 사용하여 반도체 소자 제조에 필요한 소정의 공정을 행하기 위한 공간을 제공하는 챔버와, 기판을 지지하기 위하여 상기 챔버 내에 설치되어 있는 서셉터와, 상기 챔버 내에 상기 공정 가스를 주입하기 위하여 상기 챔버의 일측에 형성된 공정 가스 주입구와, 상기 챔버 내의 공정 가스를 외부로 배출시키기 위하여 상기 챔버의 타측에 형성된 공정 가스 배출구와, 상기 공정 가스 주입구로부터 상기 챔버 내로 주입되는 상기 공정 가스를 상기 서셉터 위에 지지된 기판의 외주로부터 상기 기판의 중심으로 향하는 방사 방향(radial direction)으로 공급하기 위하여 상기 서셉터를 포위하는 형상으로 상기 챔버 내에 설치되어 있는 공급 노즐을 포함한다.
노즐, 분사공, 환형 파이프

公开(公告)号：KR1020060040801A

公开(公告)日：2006-05-10

申请号：KR1020040089979

申请日：2004-11-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안재현

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02 ,  F17C13/04 ,  F17C2227/044 ,  F17C2270/0518

Abstract: 본 발명은 가스라인 퍼지 방법에 관한 것으로 종형확산로의 공정챔버를 배기라인을 통하여 배기하는 동안 상기 배기라인을 통하여 상기 공정챔버가 오염되는 것을 방지하는 것이다. 이를 위한 본 발명의 가스라인 퍼지 방법은 공정챔버에 웨이퍼를 투입하는 단계; 상기 공정챔버에 연결된 배기밸브를 닫는 단계; 상기 공정챔버에 공정가스를 공급하여 상기 웨이퍼에 박막을 형성하고, 상기 배기밸브를 포함한 배기라인을 통하여 제1 가스를 공급하는 단계; 상기 공정챔버에 공정가스의 공급을 중단하고, 상기 배기라인에 상기 제1 가스의 공급을 중단하는 단계; 상기 공정챔버 내부에 제2 가스를 공급하여 압력을 상압으로 높이는 단계; 및 상기 배기밸브를 열어서 상기 공정챔버를 배기라인으로 연결하여 상기 공정챔버를 배기시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.

가스라인, 퍼지, 배기라인, 배기밸브

公开(公告)号：KR1020060006174A

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：KR1020040055064

申请日：2004-07-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안재현

IPC: G11B20/10

Abstract: 랜드 프리-피트(LPP) 슬라이스 레벨을 자동으로 설정하여 LPP 신호를 검출하는 방법 및 그 회로가 개시된다. LPP 검출회로는 복수로 분할된 수광소자, 수광소자의 각 분할 영역으로부터의 광전변환신호들을 차분 연산하여 차분연산신호를 출력하는 가감산기, 워블 신호의 피크치와 차분연산신호의 피크치 사이의 소정 레벨을 슬라이스 기준신호로 출력하는 LPP 슬라이스 레벨 설정기 및 슬라이스 기준신호와 차분연산신호를 비교해서 LPP 검출신호를 출력하는 비교기를 포함한다. 또한, LPP 검출방법은 수광소자의 각 분할 영역으로부터의 광전변환신호들을 차분 연산하여 차분연산신호를 출력하는 단계, 워블 신호의 피크치와 차분연산신호의 피크치 사이의 소정 레벨을 슬라이스 기준신호로 출력하는 단계 및 슬라이스 기준신호와 상기 차분연산신호를 비교해서 LPP 검출신호를 출력하는 단계를 포함한다.

公开(公告)号：KR100294249B1

公开(公告)日：2001-10-24

申请号：KR1019970078282

申请日：1997-12-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안재현

IPC: B60K31/00

Abstract: PURPOSE: A method for automatic running is provided to keep a safe distance automatically and travel without a foot operation of a driver in a running gear when a vehicle runs slowly and intermittently. CONSTITUTION: A method of automatic running includes a step measuring a front gap spacing, a step comparing the front gap spacing with the minimum setting distance set by a user, a step operating a brake when the front setting distance is shorter that the minimum setting distance, a step calculating a relative speed for a front vehicle, a step converting into a manual operation when the relative speed is faster than a limit speed, a step operating an accelerator when the relative speed is slower than a present speed. The method for automatic running is keeping a safe distance and travelling automatically, the foot operation is unnecessary in slow running and running fatigue is released, and the bump and the collision accident occurring in a moment in slow running is prevented previously.

公开(公告)号：KR1020000014984A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019980034657

申请日：1998-08-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 안재현

IPC: B60R21/00

Abstract: PURPOSE: A device and a method are provided to eliminate an error warning that can occur in a situation without a danger of collision when a collision warning system is operated and to output a warning sound appropriate to the situation by selecting an obstacle existed in the progress trace. CONSTITUTION: An error warning elimination device of a collision warning system is composed of:a relative distance measurement unit(70) to sense the relative distance from the object at each position of scanning angular degrees divided while having scanning standard angular degrees and then output the distance; a speed sensor(90) to sense the speed of a vehicle and then output; a steering angular degree sensor(90) to output a steering angular degree sensing signal according to the turning angular degrees of wheels; a signal processing unit to operate the signals input from the sensors and to output data about the relative distance, warning distance and turning angular degrees; and a control unit to sense only front vehicles placing on the travelling trace using the data input from the signal processing unit and to control the output of warning sound.

Abstract translation: 目的：提供一种装置和方法，以消除在碰撞警告系统运行时没有碰撞危险的情况下可能发生的错误警告，并通过选择进度中存在的障碍物输出适合该情况的警告声音 跟踪。 构成：碰撞警告系统的错误警告消除装置包括：相对距离测量单元（70），用于感测与扫描角度分布的每个位置处的物体相对距离，同时具有扫描标准角度，然后输出 距离; 速度传感器（90），用于感测车辆的速度然后输出; 转向角度传感器（90），用于根据车轮的转角来输出转向角度感测信号; 信号处理单元，用于操作从传感器输入的信号并输出​​关于相对距离，警告距离和转动角度的数据; 以及控制单元，使用从信号处理单元输入的数据仅感测放置在行进轨迹上的前方车辆，并且控制警告声音的输出。

公开(公告)号：KR1019970053290A

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR1019950047176

申请日：1995-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 손규태 ,  안재현

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 공정챔버내의 히터 블록상에 소정의 각도로 배치된 다수매의 웨이퍼를 소정의 각도로 회전시켜 다음 공정위치로 이동시키기 위한 반도체소자 제조설비의 스핀들 포크 조립체에 관한 것으로, 스핀들 포크 조립체에 설치된 포크가 삽입홈에 삽입되는 과정에서 삽입홈으로부터 빠져나가는 공기를 일부 흡수하도록 포크에 적어도 하나 이상의 관통구멍이 형성되고, 상기 삽입홈의 폭에 대하여 포크의 폭을 3/5 내지 2/5 범위내로 형성하여 포크와 삽입홈 사이의 틈새로 빠져나가는 공기압이 감소되도록 구성된 것이다.
따라서 포크가 삽입홈에 삽입되는 과정에서 발생되는 공기저항에 의해 웨이퍼가 움직이는 일이 없고, 이로써 웨이퍼가 가스 분사위치에 정확하게 놓여지게 되어 정상적인 공정이 수행됨으로써 품질 및 생산성이 향상되는 것이며, 포크가 삽입홈의 가장자리부에 접촉되는 일이 없어 마모로 인한 파티클 생성이 방지되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR101893191B1

公开(公告)日：2018-08-29

申请号：KR1020110117840

申请日：2011-11-11

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  서울대학교산학협력단

Inventor： 김윤중 ,  이상화 ,  조남익 ,  안재현 ,  조성대

IPC: G06T7/00

CPC classification number: G06T5/001 ,  G06F17/3025 ,  G06F17/30277 ,  G06T7/90 ,  G06T2207/20021

Abstract: 영상분석장치의제어방법이개시된다. 본발명에의한영상분석장치의제어방법은쿼리(query) 영상을입력받는단계, 쿼리영상에포함된컬러정보를이용하여, 쿼리영상에다수분포하는적어도하나의주요색상및 적어도하나의주요색상중 하나의특정주요색상을결정하는단계, 쿼리영상을기설정된픽셀개수를포함하는적어도하나의블록들로블록화하는단계및 적어도하나의블록이기설정된비율이상의주요색상중 비교주요색상을포함하는지를판단하고, 적어도하나의블록을이진화하여이진공간분포지도를형성하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101594057B1

公开(公告)日：2016-02-15

申请号：KR1020090076556

申请日：2009-08-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이동열 ,  박승섭 ,  안재현

IPC: G10L13/02 ,  G10L13/08

CPC classification number: G06F17/27 ,  G10L13/04

Abstract: 텍스트데이터의처리방법및 장치를개시한다. 텍스트데이터의문장마다감정을입력할필요없이, 이야기전개에따라감정설정이가능한텍스트데이터의처리방법및 장치가제공된다. 텍스트데이터에감정을적용할때, 이야기의전개등을고려하여감정설정정보를생성하기때문에쉽고빠르게텍스트데이터에감정을적용할수 있다. 또한, 다양한감정정보에따라서자연스러운 TTS 구현이가능하다.

公开(公告)号：KR101311721B1

公开(公告)日：2013-10-14

申请号：KR1020070079015

申请日：2007-08-07

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 장지원 ,  안재현 ,  이유진 ,  박하나

IPC: G06F3/02 ,  G06F3/00

CPC classification number: G06F3/0233 ,  G06F1/1626 ,  G06F1/1643 ,  G06F1/1647 ,  H04M2250/16 ,  H04M2250/70

Abstract: 본 발명은 단말기 및 그의 문자입력방법에 관한 것으로서, 본 발명은 일면에 메인표시부가 설치되고 타면에 서브 표시부 및 입력부가 설치되는 단말기의 문자입력방법에 있어서, 상기 메인 표시부에 제1입력창이 표시되면, 화면 전환의 요청여부를 판단하고, 화면 전환을 요청받으면, 상기 서브 표시부에 제2입력창을 표시하고, 상기 입력부를 통하여 상기 제2입력창에 문자가 입력되고 상기 입력된 문자의 저장을 요청받으면, 상기 입력된 문자를 저장하고 상기 저장된 문자를 상기 제1입력창에 표시한다. 따라서 본 발명은 표시부의 활용도를 높일 수 있는 단말기 및 그의 문자입력방법을 제공한다.
듀얼 표시부, 입력부, 문자입력, 화면전환, 단말기