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公开(公告)号：KR1020120094294A
公开(公告)日：2012-08-24
申请号：KR1020110013703
申请日：2011-02-16
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A thin film forming device and a method using a laser are provided to minimize damage to a substrate by supplying enough energy to stacked particles because lasers are sprayed from in the rear end of a nozzle along a same axis. CONSTITUTION: A thin film forming device and a method using a laser stacks particles on a substrate by accelerating stacked particles using a carrier gas of high pressures. A laser spraying unit(90) sprays lasers to stacked particles from the rear and of a nozzle(40) along a same axis. A thin film forming device performs a task by a cold gas dynamic spray method, an aerosol deposition method, or a stacking system NPDS(Nano Particle Deposition System).
Abstract translation: 目的：提供薄膜形成装置和使用激光的方法，以通过向堆叠的颗粒提供足够的能量来最小化对基板的损伤，因为激光器沿着喷嘴的后端沿同一轴线喷射。 构成：薄膜形成装置和使用激光的方法通过使用高压载气加速堆叠的颗粒将颗粒堆叠在基板上。 激光喷射单元（90）将来自后部和沿着同一轴线的喷嘴（40）的堆叠的颗粒喷射到激光器。 薄膜形成装置通过冷气体动态喷雾法，气溶胶沉积法或堆叠系统NPDS（纳米粒子沉积系统）进行任务。
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公开(公告)号：KR101781074B1
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：KR1020160110754
申请日：2016-08-30
Applicant: 울산대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단 , 한양대학교 에리카산학협력단
CPC classification number: C23C24/04 , B05C5/02 , B05C5/0283
Abstract: 본발명은전체적인형상이직육면체로, 그내부에는전, 후길이방향을따라일정한높이를갖는슬릿형태의유로를형성하고, 상기유로의후단에서후방으로연장형성되어인입한입자를상기유로로안내하는노즐입구를형성하며, 상기유로의전단에서전방으로연장되어상기유로를따라유동하는입자를슬릿형태로토출하는노즐출구를형성한노즐몸체, 및상기노즐몸체의노즐출구에가변부재를포함하여, 입자의종류및 크기에따라상기노즐출구의높이를선택적으로가변시켜, 상기노즐출구의높이가변에따른노즐출구의단면형상및 면적의변화로상기노즐출구를통해분사되는입자의분사속도가가변되도록해 다양한입자및 다양한공정조건에서효율적인분사적층이가능하도록하는건식입자분사노즐을제공한다.
Abstract translation: 本发明是一个长方体形成的整体形状，并且内部被从狭缝状形成的流路，并具有沿着前的预定高度，的流动路径的后端向后延伸，然后沿纵向到传入颗粒引导到流路 它形成了一个喷嘴入口，通过所述喷嘴的喷嘴出口从流路的前端部在向前的方向延伸离开所述喷嘴体，和喷嘴体形成一个用于排出沿狭缝的形状，包括所述可变形构件的流动路径中流动的颗粒， 取决于颗粒的类型和尺寸通过选择性地改变所述喷嘴出口的高度，按照与喷嘴出口的可变的高度的横截面形状和所述喷嘴出口的区域中的变化是在所述颗粒的喷射速度通过喷嘴被喷射出口，使得所述可变 本发明提供了一种能够在各种颗粒和各种工艺条件下有效喷涂层压的干颗粒喷嘴。
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公开(公告)号：KR1020130027953A
公开(公告)日：2013-03-18
申请号：KR1020110091500
申请日：2011-09-08
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A processing method using focused ion beam is provided to secure uniform process. CONSTITUTION: A process range is designated(S100). Focused ion beam is scanned to process the designated process range(S200). The image of a process surface is obtained(S300). The image is digitized(S400). The digitized image is analyzed to separate a completed process part from an uncompleted process part(S500). [Reference numerals] (AA) Processing FIB; (BB) End of the process; (S100) Designating a process range; (S200) Processing the FIP in the process range(etching or deposition); (S300) Photographing a processed surface image(FIB image); (S400) Processing the image(digitization); (S500) Analyzing the digitized image; (S600) Incomplete processed part exists?; (S700) Calculating a processing completion level; (S800) Level > preset processing level; (S900) Re-designating a process range(incomplete processed part)
Abstract translation: 目的：提供使用聚焦离子束的加工方法，以确保均匀的工艺。 规定：指定处理范围（S100）。 对聚焦离子束进行扫描以处理指定的处理范围（S200）。 获得处理面的图像（S300）。 图像数字化（S400）。 分析数字化图像以将完成的处理部分与未完成的处理部分分离（S500）。 （附图标记）（AA）处理FIB; （BB）过程结束; （S100）指定处理范围; （S200）在处理范围（蚀刻或沉积）处理FIP; （S300）拍摄经处理的表面图像（FIB图像）; （S400）处理图像（数字化）; （S500）分析数字化图像; （S600）不完全处理部分存在？ （S700）计算处理完成等级; （S800）级别>预设处理级别; （S900）重新指定处理范围（未完成处理部分）
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101269562B1
公开(公告)日：2013-06-04
申请号：KR1020110091500
申请日：2011-09-08
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 집속이온빔을 이용하여 가공하는 중간에 발생하는 불균일을 지속적으로 수정하여 균일하게 가공할 수 있는 가공 방법에 관한 것으로, (a) 가공 범위를 지정하는 단계; (b) 집속이온빔을 주사하여 지정된 가공 범위를 가공하는 단계; (c) 가공면의 이미지를 얻는 단계; (d) 상기 이미지를 2치화하는 단계; (e) 상기 2치화된 이미지를 분석하여 가공 완료 부분과 가공 미완료 부분으로 분류하는 단계; 및 (f) 상기 분류된 가공 완료 부분과 가공 미완료 부분을 이용하여 가공 완료 수준을 구하고, 구해진 가공 완료 수준을 설정된 가공 수준과 비교하여, 설정된 가공 수준보다 낮으면 지정된 가공 범위를 재지정하지 않고 (b)단계로 되돌아가고, 설정된 가공 수준보다 높으면 (e)단계에서 분류된 가공 미완료 부분을 가공 범위로 재지정하여 (b)단계로 되돌아가는 단계를 포함하며, 상기 (e)단계에서 식각이 완료되지 않은 부분이 없는 경우에 식각공정을 종료하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 가공 과정 중에 촬영된 가공면의 이미지를 분석하여 가공 범위를 재 지정함으로써, 집속이온빔 가공 과정에서 발생하는 불균일에 의한 오차를 실시간으로 수정하여 균일한 가공 결과를 얻을 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR101235302B1
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：KR1020110013703
申请日：2011-02-16
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 레이저를 이용한 박막 형성 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 박막 형성 장치는, 고압의 이송가스를 이용하여 노즐을 통하여 적층 입자를 가속하여 기판에 적층시키는 박막 형성 장치에 있어서, 상기 노즐의 후단에서 상기 적층 입자가 이동하는 동축을 따라 상기 적층 입자에 레이저를 분사하는 레이저 분사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 레이저를 이용한 박막 형성 장치 및 방법에 따르면, 금속 또는 세라믹 입자를 기판에 적층함에 있어서 레이저를 이용하여 입자에 충분한 에너지를 공급하여 적층 효율을 향상시킬 수 있다. 아울러, 레이저가 노즐의 후단에서 적층 입자의 동축을 따라 분사되므로 적층 입자에 충분한 에너지를 공급하면서도 기판의 손상을 최소화할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020110040135A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：KR1020090097289
申请日：2009-10-13
Applicant: 한양대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
IPC: H01L21/027 , H01L21/02
CPC classification number: G03F7/164 , G03F7/70775 , G03F7/70925 , G03F9/70
Abstract: PURPOSE: A powder cartridge is provided to improve the reliability of a process of laminating by preventing the cross contamination of powder. CONSTITUTION: In a powder cartridge, a powder is inserted inside an aerosol keeping chamber(132). A gas inlet is communicated with an air compressor(140) which is arranged in one side of the aerosol keeping chamber. An injection nozzle(134) is mounted in the aerosol keeping chamber. The injection nozzle discharges power of aerosol through a circulator which forcedly circulates the liquid in the aerosol keeping chamber.
Abstract translation: 目的：提供粉末盒以通过防止粉末的交叉污染来提高层压过程的可靠性。 构成：在粉末盒中，将粉末插入气溶胶保存室（132）内。 气体入口与布置在气溶胶保存室的一侧的空气压缩机（140）连通。 注射喷嘴（134）安装在气溶胶保存室中。 注射喷嘴通过使液体在气溶胶保存室中强制循环的循环器排出气溶胶的动力。
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公开(公告)号：KR100994902B1
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：KR1020100031548
申请日：2010-04-06
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L31/04
CPC classification number: H01G9/2095 , H01G9/2031 , H01G9/2059 , H01L51/0086 , Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A flexible dye-sensitized solar cell and a preparation method thereof are provided to manufacture an operation electrode and a counter electrode through a simple process by depositing the electrodes on a flexible polymer substrate. CONSTITUTION: An operation electrode(10) comprises a transparent conductivity oxide layer(2) which is deposited on a flexible polymer substrate(1), and also includes an oxide semiconductor layer(4). The oxide semiconductor layer is deposited on the transparent conductivity oxide layer under low temperature. A counter electrode comprises the transparent conductivity oxide layer which is deposited on the flexible polymer substrate, and also includes a catalyst layer. The catalyst layer is deposited in the transparent conductivity oxide layer under low temperature. Electrolyte is interposed between the operation electrode and the counter electrode.
Abstract translation: 目的：提供柔性染料敏化太阳能电池及其制备方法，通过将电极沉积在柔性聚合物基底上，通过简单的工艺制造操作电极和对电极。 构成：工作电极（10）包括沉积在柔性聚合物衬底（1）上的透明导电氧化物层（2），并且还包括氧化物半导体层（4）。 氧化物半导体层在低温下沉积在透明导电氧化物层上。 对电极包括沉积在柔性聚合物基底上的透明导电氧化物层，并且还包括催化剂层。 催化剂层在低温下沉积在透明导电氧化物层中。 电解质介于操作电极和对电极之间。
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公开(公告)号：KR1020100086103A
公开(公告)日：2010-07-30
申请号：KR1020090005296
申请日：2009-01-22
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A rotational atherectomy burr for ablating chronic total occlusion and the ablation apparatus using the same are provided to easily remove hard lesion by using a burr body having a drill type tip at front end. CONSTITUTION: A burr(100) is included an elliptical body. The body has a drill type tip at the front end. A wire(300) is connected to the backend of the burr and transfers power to the burr. A hollow protecting tube(700) protects the wire. A power source rotates the burr through a wire.
Abstract translation: 目的：提供用于烧蚀慢性完全闭塞的旋转粥样斑块切除术毛刺和使用其的消融装置，以通过使用在前端具有钻头型尖端的毛刺体来容易地去除硬损伤。 构成：毛刺（100）包括椭圆体。 身体在前端有一个钻头尖端。 线（300）连接到毛刺的后端并将电力传送到毛刺。 中空保护管（700）保护电线。 电源通过电线旋转毛刺。
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