公开(公告)号：KR1020120094294A

公开(公告)日：2012-08-24

申请号：KR1020110013703

申请日：2011-02-16

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  이선영 ,  천두만 ,  김민생 ,  최정오

IPC: C23C24/08 ,  H01L21/20 ,  H01L51/56 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: PURPOSE: A thin film forming device and a method using a laser are provided to minimize damage to a substrate by supplying enough energy to stacked particles because lasers are sprayed from in the rear end of a nozzle along a same axis. CONSTITUTION: A thin film forming device and a method using a laser stacks particles on a substrate by accelerating stacked particles using a carrier gas of high pressures. A laser spraying unit(90) sprays lasers to stacked particles from the rear and of a nozzle(40) along a same axis. A thin film forming device performs a task by a cold gas dynamic spray method, an aerosol deposition method, or a stacking system NPDS(Nano Particle Deposition System).

Abstract translation: 目的：提供薄膜形成装置和使用激光的方法，以通过向堆叠的颗粒提供足够的能量来最小化对基板的损伤，因为激光器沿着喷嘴的后端沿同一轴线喷射。 构成：薄膜形成装置和使用激光的方法通过使用高压载气加速堆叠的颗粒将颗粒堆叠在基板上。 激光喷射单元（90）将来自后部和沿着同一轴线的喷嘴（40）的堆叠的颗粒喷射到激光器。 薄膜形成装置通过冷气体动态喷雾法，气溶胶沉积法或堆叠系统NPDS（纳米粒子沉积系统）进行任务。

公开(公告)号：KR101235302B1

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：KR1020110013703

申请日：2011-02-16

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  이선영 ,  천두만 ,  김민생 ,  최정오

IPC: C23C24/08 ,  H01L21/20 ,  H01L51/56 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 레이저를 이용한 박막 형성 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 박막 형성 장치는, 고압의 이송가스를 이용하여 노즐을 통하여 적층 입자를 가속하여 기판에 적층시키는 박막 형성 장치에 있어서, 상기 노즐의 후단에서 상기 적층 입자가 이동하는 동축을 따라 상기 적층 입자에 레이저를 분사하는 레이저 분사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 레이저를 이용한 박막 형성 장치 및 방법에 따르면, 금속 또는 세라믹 입자를 기판에 적층함에 있어서 레이저를 이용하여 입자에 충분한 에너지를 공급하여 적층 효율을 향상시킬 수 있다. 아울러, 레이저가 노즐의 후단에서 적층 입자의 동축을 따라 분사되므로 적층 입자에 충분한 에너지를 공급하면서도 기판의 손상을 최소화할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020120001166A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：KR1020100061829

申请日：2010-06-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  이길용 ,  김형중 ,  최정오

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/193

CPC classification number: F03G7/005

Abstract: PURPOSE: An electro-active polymer driver is provided to reduce manufacturing time and production costs by executing the formation of a surface electrode pattern in an automated process. CONSTITUTION: An ion exchange polymer material(100) is composed of ion polymer metal composite compounds. The ion polymer metal composite compound comprises a first side(S1), a second side(S2), a third side(S3), and fourth side(S4). The ion polymer metal composite comprises a lower side(BS) and an upper side(TS) which is included in the bottom part of the first to fourth side. A surface electrode is formed in the surface of the ion exchange polymer material. The surface electrode comprises a first surface electrode to a fourth surface electrode(210a,210b,220a,220b).

Abstract translation: 目的：提供电动聚合物驱动器，通过在自动化过程中执行表面电极图案的形成来减少制造时间和生产成本。 构成：离子交换聚合物材料（100）由离子聚合物金属复合材料组成。 离子聚合物金属复合化合物包括第一侧（S1），第二侧（S2），第三侧（S3）和第四侧（S4）。 离子聚合物金属复合材料包括下侧（BS）和上侧（TS），其包括在第一至第四侧的底部中。 在离子交换聚合物材料的表面形成表面电极。 表面电极包括到第四表面电极（210a，210b，220a，220b）的第一表面电极。