Patent search ap:("서울대학교산학협력단") AND inv:"최준규" Page 2

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发明授权
주름 구조 박막, 주름 구조 박막의 제조 방법 및 주름 구조 박막을 이용한 박막 트랜스듀서 有权
Title translation: 腐蚀膜，腐蚀膜的制造方法和使用腐蚀膜的薄膜传感器

公开(公告)号：KR101185247B1

公开(公告)日：2012-09-21

申请号：KR1020100089424

申请日：2010-09-13

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 이정훈 , 최준규 , 권용주 , 김윤호

IPC: C23C14/08 , C23C14/02 , C23C16/34 , C23F1/02

Abstract: 본 발명은 박막을 이용한 트랜스듀서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 박막에 주름 구조(corrugation) 패턴을 형성하여 외부의 노이즈를 줄이고, 감도를 향상시키기 위한 주름 박막 구조를 가진 트랜스듀서 및 그 제조방법에 관한 것이다.

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