가스 감응형 나노 엑츄에이터 및 그 제조 방법
    12.
    发明授权
    가스 감응형 나노 엑츄에이터 및 그 제조 방법 有权
    气敏纳米致动器及其制造方法

    公开(公告)号:KR101771362B1

    公开(公告)日:2017-08-24

    申请号:KR1020160088902

    申请日:2016-07-13

    CPC classification number: G01N7/04 G01N1/14 G01N27/4141 G01N33/005

    Abstract: 본발명은가스감응형나노엑츄에이터및 그제조방법을개시한다. 본발명의일 실시예에따른가스감응형나노엑츄에이터는복수개의나노필러어레이를포함하는폴리머기판및 상기복수개의나노필러어레이의일면에비대칭으로형성된금속막을포함하고, 상기금속막은외부가스와반응하며, 상기반응에따른부피변화를기반으로상기나노필러어레이의형태가변화하는것을통해가스를검지하는것을특징으로한다.

    Abstract translation: 本发明公开了一种气敏纳米致动器及其制造方法。 气体敏感的纳米促动器根据本发明的一个实施例包括多个所述聚合物衬底的非对称地在一侧上与所述多个纳米柱阵列的,其包括纳米柱阵列,形成金属膜,并且与金属膜的气体的外部的反应,并 并基于由反应引起的体积变化通过改变纳米柱阵列的形态来检测气体。

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