公开(公告)号：KR101401473B1

公开(公告)日：2014-06-03

申请号：KR1020120095762

申请日：2012-08-30

Applicant: 수원대학교산학협력단 ,  이지스코 주식회사

Inventor： 정경호 ,  안호갑

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H01L51/56 ,  G02F1/13

Abstract: 본 발명은 기판 흡착용 정전 척 및 그를 이용한 기판 흡착 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판 흡착용 정전 척은 전기장을 형성하여 글라스 기판을 흡착하는 쌍극형 정전 기판; 및 상기 쌍극형 정전 기판의 일면에 부착되어, 상기 글라스 기판을 점착하는 복수개의 점착 고무;를 포함하여 구성된다.

公开(公告)号：KR1020130067127A

公开(公告)日：2013-06-21

申请号：KR1020110133989

申请日：2011-12-13

Applicant: 현대자동차주식회사 ,  수원대학교산학협력단

Inventor： 김민수 ,  이성훈 ,  양경모 ,  정경호 ,  이주환

IPC: H01F7/20 ,  H01F1/28 ,  H01F1/44 ,  F16F9/53 ,  H01F41/02

CPC classification number: H01F7/20 ,  H01F1/28 ,  H01F1/447 ,  F16F9/535 ,  H01F41/028

Abstract: PURPOSE: A new electromagnet device is provided to control the intensity of a magnetic field and to solve problems, such as the bubbling in a test piece, the rearrangement of CIP(Carbonyl Iron Powder) orientation, and the like, thereby enhancing an MR(Magneto-Rheological) effect and the mechanical behavior of anisotropy MRE(Magneto-Rheological Elastomer). CONSTITUTION: An electromagnet device for manufacturing anisotropy magneto-rheological elastomer positions two electromagnetic coils at the upside and the downside, and a test piece mold location part of MRE is positioned between the electromagnetic coils. The electromagnet coil is made up so that the intensity of a magnetic field for the test piece mold is controlled by the current which is applied from a power controller.

Abstract translation: 目的：提供一种新的电磁铁装置来控制磁场的强度，并解决诸如测试片中的冒泡，CIP（羰基铁粉末）取向的重新排列等问题，从而增强MR（ 磁流变学）效应和各向异性MRE（磁流变弹性体）的力学行为。 构成：用于制造各向异性磁流变弹性体的电磁体装置在上侧和下侧定位两个电磁线圈，并且MRE的测试件模具位置部分位于电磁线圈之间。 电磁线圈被制成使得用于测试件模具的磁场强度由从功率控制器施加的电流控制。