公开(公告)号：KR1020110097156A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：KR1020100016835

申请日：2010-02-24

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정완섭 ,  임종연 ,  박경암

IPC: G01F1/42 ,  F04F5/14

Abstract: 본 발명은 소닉 노즐을 이용한 진공 펌프의 배기속도 측정장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 넓은 진공도 범위에서 이전보다 향상된 측정 불확도를 제공하는 측정결과를 얻을 수 있는, 소닉노즐을 이용한 진공펌프의 배기속도 측정장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 소닉노즐을 이용한 진공펌프의 배기속도 측정장치는, 진공펌프(200)의 배기속도를 측정하는 측정장치(100)에 있어서, 압력조절부(110)를 통해 압력이 조절된 작동기체가 유입되는 제1챔버(120); 상기 제1챔버(120)에 연결되어 상기 제1챔버(120)로부터 작동기체를 유입받아 초킹(choking) 현상을 이용하여 정상상태(steady state)의 유량으로 작동기체를 배출하는 소닉 노즐부(130); 상기 소닉 노즐부(130)로부터 배출되는 작동기체의 유량을 조절하는 제1밸브부(140); 상기 제1밸브부(140)를 통과한 작동기체가 유입되는 제2챔버(150); 제2챔버(150)로부터 배출되는 작동기체의 유동 개폐를 조절하는 제2밸브부(160); 상기 제1챔버(120) 내의 작동기체의 물리량(입력,온도)들을 측정하는 감지부(170); 상기 감지부(170)에서 측정된 값을 사용하여 상기 진공펌프(200)의 배기속도를 산출하는 계산부(180); 를 포함하여 이루어지며,
상기 제2밸브부(160)가 상기 진공펌프(200)에 연결되어 작동기체가 상기 진공펌프(200)를 통해 배기되되, 상기 감지부(170)에서 감지된 상기 제1챔버(120) 내의 작동기체의 압력(P
1 ) 및 온도(T
1 ) 및 상기 제2챔버(150) 내의 작동기체의 압력(P
2 ) 및 온도(T
2 )를 사용하여 상기 진공펌프(200)의 배기속도를 산출하는 것을 특징으로 한다.