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公开(公告)号：WO2011025151A2
公开(公告)日：2011-03-03
申请号：PCT/KR2010/004956
申请日：2010-07-28
IPC: H02K3/26
Abstract: 본 발명은 회전 진동 가진기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 외부 전류 공급선을 종래의 케이블에서 연성 PCB로 대체함으로써 회전 가진용 회전 코일이 형성된 인쇄회로기판의 회전 진동, 및 회전코일이 형성된 인쇄회로기판과 일체로 체결된 회전축의 회전 진동을 정확하게 발생할 수 있는 회전 진동 가진기에 관한 것이다.
Abstract translation: 旋转振动激励器技术领域本发明涉及一种旋转振动激励器，更具体地说，涉及一种旋转振动激励器，其能够精确地产生包括用于与印刷电路板集成的旋转轴的旋转激励和旋转振动的旋转线圈的印刷电路板的旋转振动， 通过将具有柔性PCB的作为外部电流供给线的常规电缆替换为旋转线圈。
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公开(公告)号：KR1020120037653A
公开(公告)日：2012-04-20
申请号：KR1020100099243
申请日：2010-10-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/28 , C23C16/04 , H01L21/205
CPC classification number: H01L21/76849 , H01L21/28562 , H01L21/76877
Abstract: PURPOSE: A method for selectively depositing a cobalt thin film is provided to prevent copper from being diffused in an upward direction of a copper metal wire by forming a capping layer on the copper metal layer and an interlayer dielectric layer. CONSTITUTION: An insulation layer(102,104) is formed on a substrate(100). A groove is formed in the insulation layer. The upper side of the insulation layer and the groove are coated with a diffusion preventing layer(106). A metal layer(108) is filled in the groove. A capping layer(110) is formed on the diffusion preventing layer and the metal layer by using a precursor.
Abstract translation: 目的：提供选择性沉积钴薄膜的方法，以通过在铜金属层和层间介质层上形成覆盖层来防止铜在铜金属线的向上方向上扩散。 构成：在衬底（100）上形成绝缘层（102,104）。 在绝缘层中形成凹槽。 绝缘层的上侧和沟槽涂覆有扩散防止层（106）。 金属层（108）填充在凹槽中。 通过使用前体，在扩散防止层和金属层上形成覆盖层（110）。
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公开(公告)号：KR1020110023266A
公开(公告)日：2011-03-08
申请号：KR1020090081032
申请日：2009-08-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H02K3/26
Abstract: PURPOSE: A rotation vibration exciter is provided to remove the effect of the external vibration transmitted through the torque and the weight of the cable by replacing the cable with the flexible PCB. CONSTITUTION: A rotary shaft(200) is installed to a body(100) to be rotatable. A top permanent magnet(131) and a bottom permanent magnet(132) are secured on the upper and lower parts of the body with an interval.
Abstract translation: 目的：通过用柔性PCB替换电缆，提供旋转振动激励器来消除透过扭矩和电缆重量的外部振动的影响。 构成：旋转轴（200）安装到主体（100）上以可旋转。 顶部永磁体（131）和底部永磁体（132）以间隔固定在主体的上部和下部。
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公开(公告)号：KR100856116B1
公开(公告)日：2008-09-02
申请号：KR1020070051650
申请日：2007-05-28
IPC: A61H23/04
CPC classification number: A61H23/04 , A61H2201/1246 , A61H2201/1654
Abstract: A portable wave kneader is provided to prevent an electric shock accident capable of being generated in using electricity by being operated using the wave, and to enable a user to carry it easily by miniaturization. A portable wave kneader includes: a case(1) having a space part(11); an air pressure supply unit for supplying air pressure so that a moving ball(6) reciprocates in the space part; a kneading head(3) for kneading the body by a wave generated by collision of the moving ball; a shock-absorbing unit(4) for absorbing shock by the moving ball; and a control part. The air pressure supply unit comprises an air pump for generating air pressure, a solenoid valve for supplying or blocking the air pressure by being connected to the air pump, and a power supplying device. The shock-absorbing unit comprises a support piece(41) inserted into a groove part(12) of the case and having a projection(411), and a spring(42) fastened to the projection. The case further has an air injection pipe(111).
Abstract translation: 提供了一种便携式波纹捏合机，以防止通过使用该波操作而能够产生电力的电击事故，并且能够使用户能够通过小型化容易地携带。 便携式波动捏合机包括：具有空间部分（11）的壳体（1）; 空气压力供应单元，用于供应空气压力，使得移动的球（6）在所述空间部分中往复运动; 揉搓头（3），用于通过由移动球的碰撞产生的波揉捏身体; 用于吸收移动球的冲击的减震单元（4）; 和控制部分。 空气压力供给单元包括用于产生空气压力的空气泵，用于通过连接到空气泵来供应或阻挡空气压力的电磁阀以及供电装置。 减震单元包括插入壳体的槽部分（12）中并具有突出部（411）的支撑件（41）和紧固到突起部的弹簧（42）。 该壳体还具有空气喷射管（111）。
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5.发明公开진공펌프의 트렌드 관측 및 진단분석 기법과 그 관측 및분석 기법 시스템 및 상기 기법을 수행하는 컴퓨터프로그램을 포함하는 컴퓨터가 판독 가능한 저장매체. 有权真空泵的趋势监测和诊断分析方法及其运行监测和诊断分析系统及其计算机可读存储介质，包括执行MOTHOD的计算机程序
公开(公告)号：KR1020070087140A
公开(公告)日：2007-08-27
申请号：KR1020077016396
申请日：2004-12-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A trend monitoring and diagnosing/analyzing method for a vacuum pump, a trend monitoring and diagnosing/analyzing system, and a computer-readable storage media including a computer program for the method are provided to simplify the process and improve efficiency. A trend monitoring and diagnosing/analyzing method for vacuum pump includes the steps of sampling the time-series data of state variable signal with the predetermined velocity in the idle condition and the gas output operating condition, classifying the maximum and the minimum of the time-series data from each subset of the continuously standardized signals, estimating an optimized model parameter set of the asymptotic upper bound from the classified maximum value of each state variable, and estimating another optimized model parameter of the asymptotic lower bound from the classified minimum value of each state variable, computing the index of pumping speed based on absorbing pressure by using the in-situ evaluation method every time the transition from the gas output operating state to the idle state is observed, storing the upper model parameter and the lower model parameter of the asymptotic upper bound and the asymptotic lower parameter of all objective state variables, and storing the computed index of pumping speed every time the transition from the gas output operating state to the idle state is observed, estimating the model parameter of the upper and the lower bound, and repeating computing the pumping index, and observing the fluctuation trends from the upper and the lower parameters of all objective state variables collected under the continuous idle condition and the gas output operating condition, observing the fluctuation trend from the index of pumping speed continuously collected from the transition, and diagnosing whether the vacuum pump malfunctions.
Abstract translation: 提供了一种用于真空泵，趋势监测和诊断/分析系统的趋势监测和诊断/分析方法，以及包括用于该方法的计算机程序的计算机可读存储介质，以简化该过程并提高效率。 真空泵的趋势监测和诊断/分析方法包括以下步骤：以空闲状态和气体输出运行条件下的预定速度对状态变量信号的时间序列数据进行采样，对时间序列的最大和最小值进行分类， 从连续标准化信号的每个子集的系列数据，从每个状态变量的分类最大值估计渐近上界的优化模型参数集，并从每个状态变量的分类最小值估计渐近下界的另一优化模型参数 状态变量，每当从气体输出运行状态转换到空转状态时，通过使用原位评估方法，基于吸收压力计算抽速的指标，存储上模型参数和下模型参数 所有目标状态变量的渐近上界和渐近下限参数，以及存储 g，每当从气体输出运行状态转换到空闲状态时，计算出泵送速度的指标，估计上下限模型参数，重复计算泵送指数，并观察波动趋势 在连续怠速条件和气体输出运行条件下收集的所有目标状态变量的上下参数，观察从过渡连续收集的抽速指数的波动趋势，以及诊断真空泵是否发生故障。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100462387B1
公开(公告)日：2004-12-18
申请号：KR1020030005104
申请日：2003-01-27
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B23K37/04
Abstract: PURPOSE: A jig device of a high-pressure lamp is provided to stably carry out brazing welding work with respect to elements of the high-pressure lamp by stably supporting the elements of the high-pressure lamp. CONSTITUTION: A jig device(1000) includes an upper plate(300) and a lower plate(100). Three coupling bolts(110a) are provided at an upper edge portion of the upper plate(300) in order to space the upper plate(300) from the lower plate(100) by a predetermined distance. A spacing rod(110) is protruded from a lower portion of each coupling bolt(110a) by a predetermined distance. The upper plate(300) is formed at a lower edge portion thereof with a coupling hole. The coupling hole has a diameter smaller than an outer diameter of the spacing rod(110).
Abstract translation: 目的：提供一种高压灯的夹具装置，以通过稳定地支撑高压灯的元件而稳定地对高压灯的元件进行钎焊焊接工作。 构成：夹具装置（1000）包括上板（300）和下板（100）。 在上板（300）的上边缘部分设置有三个连接螺栓（110a），以便将上板（300）与下板（100）隔开预定距离。 间隔杆（110）从每个联接螺栓（110a）的下部突出预定距离。 上板（300）在其下边缘部分形成有连接孔。 连接孔的直径小于间隔杆（110）的外径。
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公开(公告)号：KR100386822B1
公开(公告)日：2003-06-09
申请号：KR1020010015394
申请日：2001-03-24
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01P5/08
Abstract: A flux distribution measuring apparatus measures distribution of flow rates of a flowable medium. The measuring apparatus includes thin metal wire(s) for scanning a flowable medium and lead wires connected to the thin metal wire(s), wherein a voltage difference is detected between adjacent lead wires while the measuring apparatus scans the flowable medium in the direction perpendicular to a flow path of the flowable medium. The voltage differences are generated due to temperature changes in the thin metal wire(s) while scanning the flowable medium having different flow rates. The measuring apparatus visualizes the distribution of flow rates of a flowable medium using a computer which receives and processes the voltage differences detected.
Abstract translation: 磁通量分布测量装置测量可流动介质的流量分布。 测量装置包括用于扫描可流动介质的细金属丝和连接到细金属丝的导线，其中当测量装置在垂直方向上扫描可流动介质时在相邻导线之间检测到电压差 到可流动介质的流动路径。 当扫描具有不同流速的可流动介质时，由于细金属丝中的温度变化而产生电压差。 测量装置使用接收并处理检测到的电压差的计算机使流动介质的流量分布可视化。
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公开(公告)号：KR101174124B1
公开(公告)日：2012-08-20
申请号：KR1020100083287
申请日：2010-08-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은정적형유량계를이용한소닉노즐유출계수교정장치에관한것으로서, 본발명의목적은소닉노즐의유출계수교정값을얻어냄으로써동일한소닉노즐을가지고도높은정확도로미소유량을측정할수 있게해 주는, 정적형유량계를이용한소닉노즐유출계수교정장치를제공함에있다. 본발명의정적형유량계를이용한소닉노즐유출계수교정장치는, 소닉노즐(50)의유출계수교정값을산출하는유출계수교정장치(10)에있어서, 유입유체가흘러가는방향에따라, 유입유체가유입되는방향을전단, 유입유체가배출되는방향을후단이라할 때, 정적형유량계(11); 상기정적형유량계(11)의전단에구비되는유량차단밸브(14); 상기정적형유량계(11)의후단에구비되는흡입차단밸브(15); 를포함하여이루어져, 상기유량차단밸브(14)의전단에상기소닉노즐(50)이연결되고, 상기흡입차단밸브(15)의후단에진공펌프(55)가연결되며, 상기소닉노즐(50)의전단인제1측정점(①)에구비된전단압력/온도측정부(121)에의해측정된압력및 온도값과, 상기정적형유량계(11) 내인제2측정점(②)에구비된챔버내 압력/온도측정부(122)에의해측정된압력및 온도값을사용하여상기소닉노즐(50)의유출계수교정값을산출하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR100905235B1
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：KR1020077016395
申请日：2004-12-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에 따르면, 본 발명에서 가장 도전적인 이슈는 보수 엔지니어가 그들의 현재의 성능시험 테스트 결과에 기초하여 진공펌프의 교체를 위한 적절한 시간의 판단을 가능하게 하는 시스템적 방법을 찾는 것이였다. 게다가, 현재 얻어진 진단분석 결과와 초기(또는 표준) 데이터 집합을 비교하는 것은 보수 엔지니어가 도출된 펌프 성능 지표에 따라 대상 진공펌프의 교체여부를 결정하는 것을 가능하게 하는 것으로 보여진다. 또한, 현재 진공펌프의 도출된 펌핑 속도 지표는 대체로 감소하는 것으로 보고된다. 이러한 양적 진단 분석 결과는 그들의 현재 성능 수행 결과에 기초하여 진공펌프의 교체를 위한 적절한 시간을 판단하는 것을 가능하게 할 뿐만 아니라, 저 진공펌프의 예보유지의 안정성 및 신뢰성 또한 개선시킬 것으로 예상된다.
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公开(公告)号：KR100609863B1
公开(公告)日：2006-08-08
申请号：KR1020040058335
申请日：2004-07-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정 중 화학물질이 이용되는 반응공정에 있어서, 반응로에서 배출되는 부산물의 성분을 분석하여 공정의 진행상태를 모니터링할 수 있도록 한 반도체 제조용 반응공정 진단시스템에 관한 것이다.
이에 본 발명은, 반도체 제조공정 중 각종 화학물질이 포함된 반응가스가 내부로 주입되는 반응로와, 상기 반응로에서 발생된 부산물을 외부로 배출하는 배출관 및 펌프와, 상기 배출관에 설치되어 상기 부산물에 포함된 각종 화학물질의 성분을 분석하여 디스플레이하는 성분 분석부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 진단시스템을 제공함으로써, 반응의 진행상태를 파악하여 원활한 반응을 유도할 수 있을 뿐만 아니라, 반응성이 높은 화학물질의 배출로 인한 배출관 및 펌프의 부식등을 최소화할 수 있는 효과를 가진다.
반응로, 배출관, 펌프, 분석부, 밸브, 제어부
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