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公开(公告)号:KR1020150042050A
公开(公告)日:2015-04-20
申请号:KR1020130120783
申请日:2013-10-10
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
Abstract: 본발명의실시예에따른초음파프로브의유연성어레이제조방법은, 실리콘의일측에전극이부착된압전물질을부착하는, 압전물질부착단계; 압전물질의중앙부분을절취한후 절취된압전물질의상부에포토레지스트물질을형성하는, 포토레지스트단계; 포토레지스트에의해음각으로형성된압전물질의사이부분및 실리콘에형성된함몰부분에유연성물질을충진하는, 유연성부여단계; 및압전물질의상부에있는포토레지스트물질의일부를제거하고, 절취되어이격된압전물질간을브릿지메탈(bridge metal)로연결하는, 메탈연결단계;를포함할수 있다. 본발명의실시예에따르면, 압전물질사이에유연성물질이개재됨으로써유연성을구비할수 있으며, 이를통해예를들면곡면을갖는케이스의부분에도용이하게결합될수 있어음파의포커싱을우수하게할 수있고아울러브릿지메탈이압전물질사이를전기적으로연결하기때문에압전물질사이에전기흐름이원활하게이루어질수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例,一种用于超声波探头的柔性阵列的制造方法包括:将压电材料与电极连接到硅的一侧的压电材料附着步骤; 光刻胶步骤,切割压电材料的中心部分,然后在切割的压电材料的上部形成光刻胶材料; 弹性提供步骤,其将柔性材料填充到由光刻胶雕刻的压电材料之间的间隙中并进入硅上的凹部; 以及金属连接步骤,其去除压电材料的上部中的一部分光致抗蚀剂材料,并且使用桥接金属连接切割和分离的压电材料。 因此,由此制造的超声波探头的柔性阵列可以通过在压电材料之间包括柔性材料来提供灵活性,通过容易地耦合到甚至具有弯曲表面的壳体,可以提供良好的声波聚焦,并且可以促进流动 通过使用桥接金属将压电材料电连接在压电材料之间的电力。
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公开(公告)号:KR101609048B1
公开(公告)日:2016-04-04
申请号:KR1020140052587
申请日:2014-04-30
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
Abstract: 본발명의실시예에따른세포자극시스템은. 본발명의실시예에따른세포자극시스템은, 미세가공기술(MEMS)을통해제조되며, 매트릭스구조로배치되는복수개의초음파소자를구비한초음파탐촉자어레이타입의발진부; 발진부의상부에서초음파소자에각각대응되게위치되며, 초음파소자에의해선택적으로자극되는세포가각각수용되는복수개의세포수용부; 및복수개의초음파소자중 선택된초음파소자를작동시키는소자작동부;를포함할수 있다. 본발명의실시예에따르면, 소자작동부에의한복수개의초음파소자의선택적인작동을통해동시간에복수개의파라미터로세포수용부의세포를선택적으로자극할수 있으며, 이를통해실험에소요되는시간및 비용을절감시킬수 있음은물론동시간에다양한실험을진행할수 있다.
Abstract translation: 提供了一种细胞刺激系统,其包括以超声波探针阵列类型包括以矩阵结构设置的多个超声装置的振荡器,所述振荡器使用微机电系统(MEMS)产生,多个电池容器被配置为 每个都包含由超声波装置选择性地刺激的细胞,细胞容器设置在振荡器的顶部上以对应于每个超声装置;以及装置操作器,被配置为操作从超声装置中选择的超声装置。 根据本发明的实施例,可以通过设备操作者通过振荡器的超声波装置的选择性操作,基于多个参数来选择性地并且同时地刺激每个小区容器的小区,使得各种 同时进行实验,同时降低成本和用于实验的时间量。
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公开(公告)号:KR1020150125350A
公开(公告)日:2015-11-09
申请号:KR1020140052587
申请日:2014-04-30
Applicant: 재단법인대구경북과학기술원
Abstract: 본발명의실시예에따른세포자극시스템은. 본발명의실시예에따른세포자극시스템은, 미세가공기술(MEMS)을통해제조되며, 매트릭스구조로배치되는복수개의초음파소자를구비한초음파탐촉자어레이타입의발진부; 발진부의상부에서초음파소자에각각대응되게위치되며, 초음파소자에의해선택적으로자극되는세포가각각수용되는복수개의세포수용부; 및복수개의초음파소자중 선택된초음파소자를작동시키는소자작동부;를포함할수 있다. 본발명의실시예에따르면, 소자작동부에의한복수개의초음파소자의선택적인작동을통해동시간에복수개의파라미터로세포수용부의세포를선택적으로자극할수 있으며, 이를통해실험에소요되는시간및 비용을절감시킬수 있음은물론동시간에다양한실험을진행할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明实施例的细胞刺激系统包括:通过微机电系统(MEMS)产生并具有以矩阵结构设置的多个超声波装置的超声波探针阵列型振荡单元; 多个单元容纳单元,其分别对应于所述振荡单元的上侧中的超声波装置,并且分别容纳由所述超声波装置选择性地刺激的单元; 以及用于操作从超声波装置中选择的超声波装置的装置操作单元。 根据本发明的实施例,通过选择性地操作多个用于设备操作单元的超声波装置,可以通过多个参数同时选择性地激励单元容纳单元中的单元。 因此,可以减少在实验中花费的时间和成本,并且可以同时进行各种实验。
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