公开(公告)号：KR1020170078200A

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：KR1020150188495

申请日：2015-12-29

Applicant: 조선대학교산학협력단

Inventor： 주기남 ,  최문성 ,  박효미

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/06 ,  G01B11/30 ,  G02B26/06 ,  G02B26/10

Abstract: 본발명은이중가간섭백색광주사간섭계에관한것으로, 보다구체적으로는광원부에서서로다른광경로를통해서로다른위상을갖도록생성된이중가간섭광을이용하여, 높은단차를갖는시편의삼차원형상을짧은구동영역으로측정할수 있는높은단차측정을위한이중가간섭백색광주사간섭계에관한것이다.

Abstract translation: 在本发明中，更具体地euroneun作为从光源通过在使用yijungga干涉光产生不同的光程，以具有不同的相位，短的驱动区域具有在yijungga干扰白光扫描干涉仪高电平差的试样的三维形状 用于双干涉白光扫描干涉仪，用于可测量的高阶测量。

公开(公告)号：KR101764868B1

公开(公告)日：2017-08-03

申请号：KR1020150188495

申请日：2015-12-29

Applicant: 조선대학교산학협력단

Inventor： 주기남 ,  최문성 ,  박효미

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/06 ,  G01B11/30 ,  G02B26/06 ,  G02B26/10

Abstract: 본발명은이중가간섭백색광주사간섭계에관한것으로, 보다구체적으로는광원부에서서로다른광경로를통해서로다른위상을갖도록생성된이중가간섭광을이용하여, 높은단차를갖는시편의삼차원형상을짧은구동영역으로측정할수 있는높은단차측정을위한이중가간섭백색광주사간섭계에관한것이다.