대면적 실시간 박막 측정 분광 영상 타원계측 장치
    4.
    发明公开
    대면적 실시간 박막 측정 분광 영상 타원계측 장치 无效
    大面积实时薄膜测量光谱图像椭偏仪

    公开(公告)号:KR1020170055661A

    公开(公告)日:2017-05-22

    申请号:KR1020150158595

    申请日:2015-11-12

    Abstract: 본발명은대면적실시간타원계측장치에관한것으로, 보다구체적으로는시편에조사되는편광의방향을전자적으로제어하여, 편광방향을빠르게변화시킬수 있고, 면측정방식으로시편의박막을삼차원으로측정할수 있는대면적실시간박막측정분광영상타워계측장치에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种大规模实时椭偏仪,和通过电子控制偏振方向被照射在试样上,sikilsu迅速变化的偏振方向更具体euroneun,并且其可以在三个维度测量所述试样的薄膜的表面的测量方法 对大面积实时薄膜测量光谱图像塔测量装置。

    자동 방범창
    5.
    发明授权
    자동 방범창 有权
    自动安全格栅

    公开(公告)号:KR101581408B1

    公开(公告)日:2015-12-31

    申请号:KR1020140022999

    申请日:2014-02-27

    Abstract: 본발명은창가에설치되는방범창에있어서, 슬라이드형식으로개폐가가능한방범창본체, 방범창을자동으로여닫을수 있도록하는구동모터, 화재를감지할수 있는화재센서, 내부의조명을감지할수 있는광센서, 방범창본체의개폐를조작할수 있는신호입력부, 상기화재센서, 상기광센서, 상기신호입력부에서얻은정보를처리하여방범창본체의개폐여부를결정하고이를통하여구동모터를제어함으로써상황에맞게방범창본체가자동으로개폐될수 있도록하는제어부를포함하는것을특징으로하는자동방범창에관한것이다. 본발명에따른자동방범창을사용하면상황에따라자동으로방범창의개폐가이루어질수 있으므로사용자가특별히신경을쓰지않아도상기방범창이설치된창문을편리하게이용할수 있다.

    자동 방범창
    6.
    发明公开
    자동 방범창 有权
    自动安全栅栏

    公开(公告)号:KR1020150101560A

    公开(公告)日:2015-09-04

    申请号:KR1020140022999

    申请日:2014-02-27

    CPC classification number: E06B5/11

    Abstract: 본 발명은 창가에 설치되는 방범창에 있어서, 슬라이드 형식으로 개폐가 가능한 방범창 본체, 방범창을 자동으로 여닫을 수 있도록 하는 구동모터, 화재를 감지할 수 있는 화재 센서, 내부의 조명을 감지할 수 있는 광센서, 방범창 본체의 개폐를 조작할 수 있는 신호 입력부, 상기 화재 센서, 상기 광센서, 상기 신호 입력부에서 얻은 정보를 처리하여 방범창 본체의 개폐여부를 결정하고 이를 통하여 구동모터를 제어함으로써 상황에 맞게 방범창 본체가 자동으로 개폐될 수 있도록 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 방범창에 관한 것이다.
    본 발명에 따른 자동 방범창을 사용하면 상황에 따라 자동으로 방범창의 개폐가 이루어질 수 있으므로 사용자가 특별히 신경을 쓰지 않아도 상기 방범창이 설치된 창문을 편리하게 이용할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及安装在窗口中的安全窗口。 本发明包括:打开和关闭滑动的安全窗主体; 驱动电机自动打开和关闭安全窗; 感测火灾的火灾传感器; 感测室内照明的光学传感器; 信号输入单元,控制安全窗主体的开闭; 以及控制单元,处理从火灾传感器和光学传感器和信号输入单元获得的信息,以确定安全主体是否被打开和关闭,并且由此控制驱动电机,以便自动地打开和关闭安全主体 按照情况。 根据本发明,在使用自动安全窗口时,根据情况自动打开和关闭安全窗口,以便使用户能够方便地使用安装窗口的窗口,而不需要特别小心。

    근적외선을 이용한 웨이퍼 형상, 두께, 굴절률 3D 측정 장치 및 방법
    7.
    发明授权
    근적외선을 이용한 웨이퍼 형상, 두께, 굴절률 3D 측정 장치 및 방법 有权
    使用近红外光的波形的表面,厚度和折射率三维测量的装置和方法

    公开(公告)号:KR101457303B1

    公开(公告)日:2014-11-04

    申请号:KR1020130119220

    申请日:2013-10-07

    Inventor: 주기남 강민구

    Abstract: 본 발명은 근적외선의 간섭무늬를 가시광선용 CCD카메라로 촬영하여, 웨이퍼의 3차원 정보를 한 번의 측정으로 획득할 수 있도록 함으로써, 웨이퍼의 기하학적 치수의 측정과 굴절률의 측정을 동시에 수행할 수 있도록 하는 근적외선을 이용한 웨이퍼 형상, 두께, 굴절률 3D 측정 장치 및 방법에 관한 것으로,
    상기 근적외선을 이용한 웨이퍼 측정 장치는, 근적외선을 방출하는 광원부;와, 상기 광원부에서 조사된 근적외선을 분할하여 기준거울과 웨이퍼를 투과한 후 측정거울에 의해 반사시킨 후 합성하여 간섭무늬를 형성하는 광간섭부;와, 상기 광간섭부에서 형성된 간섭무늬 신호를 촬영하는 카메라를 구비하여 간섭무늬 신호를 처리하는 신호처리부;를 포함하고, 상기 근적외선은 저 간섭성으로 상기 웨이퍼에 대하여 투과성을 가지며, 상기 카메라는 가시광선 감지소자를 구비한 카메라로 구성되어,
    가시광선용 CCD카메라에 의해 간섭무늬를 촬상하도록 하는 것에 의해 웨이퍼 측정장치의 가격을 현저히 낮추며, 측정광을 비웨이퍼영역(A)과 웨이퍼영역(B)으로 분할하여 간섭무늬를 형성시키는 것에 의해 웨이퍼의 기하하적 수치 및 굴절률을 동시에 측정할 수 있도록 한다.

    Abstract translation: 本发明涉及使用近红外线对晶片形状,厚度和折射率进行3D测量的装置和方法。 根据本发明,通过用于可见光的CCD照相机对近红外线的干涉图案进行成像,可以通过单次成像获得晶片的三维信息,并且可以通过几何尺寸测量和折射率测量来获得 晶片可以同时进行。 使用上述近红外线的晶片测量装置包括发射近红外线的光源单元; 光干涉单元,其通过由光源单元发射的近红外线的分离,通过参考反射镜和晶片的近红外线的穿透,测量镜的反射和合成而形成干涉图案; 以及信号处理单元,其具有对由光干涉单元形成的干涉图形信号进行成像并处理干涉图案信号的照相机。 近红外线是低干扰的,能够穿透晶片,相机被配置为配备有可见光检测元件的相机,并且用于可见光的CCD照相机成像干涉图案,因此, 晶片测量装置可以显着地减少。 测量的光在形成干涉图案时分裂成非晶片区域(A)和晶片区域(B),因此可以同时测量晶片的几何尺寸和折射率。

    펄스광의 분할 또는 결합을 위한 초소형 시간지연 모듈
    10.
    发明公开
    펄스광의 분할 또는 결합을 위한 초소형 시간지연 모듈 有权
    超小时延模块用于分解或合并脉冲光

    公开(公告)号:KR1020170121864A

    公开(公告)日:2017-11-03

    申请号:KR1020160050659

    申请日:2016-04-26

    Inventor: 주기남 정희원

    Abstract: 본발명은초소형시간지연모듈에관한것으로, 보다구체적으로는제1 광경로및 제2 광경로가형성되며, 상기제2 광경로가멀티패스(multi-pass)로구성되어거리에비례한만큼시간지연이일어나게함으로써, 소형의모듈로구현가능한펄스광의분할또는결합을위한초소형시간지연모듈에관한것이다.

    Abstract translation: 微型时间延迟模块技术领域本发明涉及微型时间延迟模块,更具体地,形成第一光路和第二光路,并且第二光路被配置为多路径, 用于分裂或组合脉冲光的超小型时间延迟模块,可作为小型模块实施。

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