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公开(公告)号：KR102216854B1
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：KR1020190120385
申请日：2019-09-30
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H05H1/34
Abstract: 본발명은마이크로파전력으로생성된고밀도의전자를갖는마이크로파플라즈마에 DC 바이어스(Bias)를인가하여낮은전압에서아크를발생시키고, 아크에의한마이크로파전극의마모를최소화할수 있는마이크로파플라즈마를이용한아크방전장치및 아크방전방법에관한것이다. 본발명에의하며마이크로파플라즈마에서생성된전자들은방전에필요한충격이온화또는 2차전자방출등의전자생성과정에서 DC 방전에요구되는전압을획기적으로낮추어줌으로써, 마이크로파전극의마모를최소화할수 있으며, 아크방전기술의적용이제한적이었던바이오재료, 플라스틱, 고무와같은연질물질등의바이오메디컬분야로의적용가능성을높일수 있는효과가있다.
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