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公开(公告)号：KR20210030581A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190111861A
申请日：2019-09-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32422
Abstract: 본 발명은 전력이 인가될 때 발생하는 발광 급증 현상과 전력이 차단될 때 발생하는 잔광 급증 현상의 기여를 펄스 구동 조건의 조절을 통해 최대화하여 활성종의 생성이 극대화되도록 한 펄스형 전력을 사용한 플라즈마 활성종 생성방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 펄스형 전력을 사용한 플라즈마 활성종 생성방법에 의하면, 전극의 추가나 변경 없이, 전력 구동 조건의 변화만으로 플라즈마의 활성종 생성의 전력 효율을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.-
公开(公告)号：WO2021066354A1
公开(公告)日：2021-04-08
申请号：PCT/KR2020/012486
申请日：2020-09-16
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H05H1/34
Abstract: 본 발명은 마이크로파 전력으로 생성된 고밀도의 전자를 갖는 마이크로파 플라즈마에 DC 바이어스(Bias)를 인가하여 낮은 전압에서 아크를 발생시키고, 아크에 의한 마이크로파 전극의 마모를 최소화할 수 있는 마이크로파 플라즈마를 이용한 아크 방전장치 및 아크 방전방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 마이크로파 플라즈마에서 생성된 전자들은 방전에 필요한 충격 이온화 또는 2차 전자 방출 등의 전자 생성 과정에서 DC 방전에 요구되는 전압을 획기적으로 낮추어 줌으로써, 마이크로파 전극의 마모를 최소화할 수 있으며, 아크방전 기술의 적용이 제한적이었던 바이오 재료, 플라스틱, 고무와 같은 연질 물질 등의 바이오 메디컬 분야로의 적용 가능성을 높일 수 있는 효과가 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2019112148A1
公开(公告)日：2019-06-13
申请号：PCT/KR2018/009898
申请日：2018-08-28
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H05H1/46
Abstract: 본 발명의 목적은 마이크로파로 생성된 플라즈마의 시스와 벌크를 확장하는 이중의 고주파수를 이용한 플라즈마의 시스와 벌크의 확장방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 이중의 고주파수를 이용한 플라즈마의 시스와 벌크의 확장방법은, 마이크로파 플라즈마 발생기로 플라즈마를 생성하는 생성단계, 및 상기 마이크로파 플라즈마 발생기와 설정 간격으로 이격 배치되는 무선주파수 전극에 무선주파수(RF)를 바이어스 인가하여 상기 플라즈마의 시스와 벌크를 확장하는 확장단계를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2021049884A1
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：PCT/KR2020/012210
申请日：2020-09-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 전력이 인가될 때 발생하는 발광 급증 현상과 전력이 차단될 때 발생하는 잔광 급증 현상의 기여를 펄스 구동 조건의 조절을 통해 최대화하여 활성종의 생성이 극대화되도록 한 펄스형 전력을 사용한 플라즈마 활성종 생성방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 펄스형 전력을 사용한 플라즈마 활성종 생성방법에 의하면, 전극의 추가나 변경 없이, 전력 구동 조건의 변화만으로 플라즈마의 활성종 생성의 전력 효율을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
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公开(公告)号：KR102258361B1
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：KR1020190111861
申请日：2019-09-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은전력이인가될때 발생하는발광급증현상과전력이차단될때 발생하는잔광급증현상의기여를펄스구동조건의조절을통해최대화하여활성종의생성이극대화되도록한 펄스형전력을사용한플라즈마활성종생성방법에관한것이다. 본발명에따른펄스형전력을사용한플라즈마활성종생성방법에의하면, 전극의추가나변경없이, 전력구동조건의변화만으로플라즈마의활성종생성의전력효율을증대시킬수 있는장점이있다.
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公开(公告)号：KR20210030581A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR20190111861
申请日：2019-09-10
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은전력이인가될때 발생하는발광급증현상과전력이차단될때 발생하는잔광급증현상의기여를펄스구동조건의조절을통해최대화하여활성종의생성이극대화되도록한 펄스형전력을사용한플라즈마활성종생성방법에관한것이다. 본발명에따른펄스형전력을사용한플라즈마활성종생성방법에의하면, 전극의추가나변경없이, 전력구동조건의변화만으로플라즈마의활성종생성의전력효율을증대시킬수 있는장점이있다.
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公开(公告)号：KR102216854B1
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：KR1020190120385
申请日：2019-09-30
Applicant: 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H05H1/34
Abstract: 본발명은마이크로파전력으로생성된고밀도의전자를갖는마이크로파플라즈마에 DC 바이어스(Bias)를인가하여낮은전압에서아크를발생시키고, 아크에의한마이크로파전극의마모를최소화할수 있는마이크로파플라즈마를이용한아크방전장치및 아크방전방법에관한것이다. 본발명에의하며마이크로파플라즈마에서생성된전자들은방전에필요한충격이온화또는 2차전자방출등의전자생성과정에서 DC 방전에요구되는전압을획기적으로낮추어줌으로써, 마이크로파전극의마모를최소화할수 있으며, 아크방전기술의적용이제한적이었던바이오재료, 플라스틱, 고무와같은연질물질등의바이오메디컬분야로의적용가능성을높일수 있는효과가있다.
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