公开(公告)号：KR101116755B1

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：KR1020090047381

申请日：2009-05-29

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 박상환 ,  정훈 ,  조경선 ,  김규미 ,  조영철

IPC: C04B35/565 ,  C01B31/36 ,  C04B35/14 ,  C04B35/56

Abstract: 본 발명은 졸-젤 공정으로 제조된 탄화규소/카본/실리카 복합분말과, 이 복합분말을 사용한 고순도 및 고강도의 반응소결 탄화규소의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명이 제조하는 반응소결 탄화규소는 고순도 및 고강도 특성을 동시에 갖고 있으므로 차세대 반도체 고온 공정용 반응소결 탄화규소(RBSC) 치구류, 고온 진공장치용 부품 및 반도체 공정용 히터 소재 등으로 다양하게 적용된다.
복합분말, 반응소결, 탄화규소, 고순도, 고강도

公开(公告)号：KR1020100115992A

公开(公告)日：2010-10-29

申请号：KR1020090034685

申请日：2009-04-21

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 박상환 ,  정훈 ,  김규미 ,  조경선 ,  조영철

IPC: C01B31/36 ,  C04B35/573 ,  C04B35/565

CPC classification number: C01B32/956 ,  C01B32/05 ,  C01P2006/10 ,  C01P2006/80 ,  C01P2006/90 ,  C04B35/573

Abstract: PURPOSE: Silicon carbide/carbon composite powder and high purity and high strength reaction bonded silicon carbide using the same are provided to be used in a reaction bonded silicon carbide jig for a next generation semiconductor high temperature process, components for a high temperature vacuum device, and heater components for a semiconductor process. CONSTITUTION: A method for manufacturing silicon carbide/carbon composite powder comprises the following steps. Silicon and carbon are mixed by alcohol solvent so that a mole ratio of one carbon element is 1.6~4.5 based on one mole of silicon element. A hydrolysis catalyst of 0.05~0.14 mole ratio based on one silicon mole is added to the mixture. The mixture is made gel or solid.

Abstract translation: 目的：将碳化硅/碳复合粉末和高纯度高强度反应接合的碳化硅用于下一代半导体高温工艺的反应接合碳化硅夹具，用于高温真空装置的部件， 和用于半导体工艺的加热器部件。 构成：制造碳化硅/碳复合粉末的方法包括以下步骤。 硅和碳通过醇溶剂混合，使得一个碳元素的摩尔比基于1摩尔的硅元素为1.6〜4.5。 将基于一个硅摩尔的0.05〜0.14摩尔比的水解催化剂加入到混合物中。 混合物制成凝胶或固体。