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公开(公告)号：WO2019093822A2
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：PCT/KR2018/013642
申请日：2018-11-09
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 탄소 복합체 제조방법은, 유기 소재의 표면에 금속 전구체를 증착하여, 금속 산화물 층을 형성하는 단계; 및 금속 산화물 층이 형성된 유기 소재를 탄소열환원하는 단계;를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2018074841A1
公开(公告)日：2018-04-26
申请号：PCT/KR2017/011532
申请日：2017-10-18
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: H01L21/768 , H01L21/48 , H01L21/447
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 필름은, 베이스 필름; 및 상기 베이스 필름의 일면에 형성되고, 전사하고자 하는 소자가 부착되는 제 1 점착층;을 포함하며, 상기 소자와 상기 제 1 점착층 사이에 형성되는 점착력의 크기는 상기 소자가 상기 제 1 점착층에 압입되는 압입깊이에 비례한다.
Abstract translation: 根据本发明实施例的载体膜包括：基膜; 和形成在基膜，其中要传送的元件附接的第一粘合剂层的一个表面上;包括的粘合强度的第一尺寸的元件在粘合层之间形成在元件，所述第一粘合剂层 在这种情况下，
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公开(公告)号：WO2017200164A1
公开(公告)日：2017-11-23
申请号：PCT/KR2016/013888
申请日：2016-11-29
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 선택적 전사 롤 스탬프는, 소스 기판 상에서 회전하여 상기 소스 기판 상에 배열된 소자를 선택적으로 전사하는 롤 스탬프로서, 회전축을 중심으로 회전되고, 반경 방향으로 돌출되는 볼록부와, 이웃하는 볼록부 사이에 형성되는 오목부를 포함하는 롤러 유닛; 및 상기 볼록부 및 오목부를 감싸도록 상기 롤러 유닛의 외주면 상에 형성되어 상기 소자와 접촉되는 점착층;을 포함하며, 상기 점착층은 외주면이 원주 방향을 따라 평평하게 형성된다.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的选择性转印辊印模是用于通过在源基板上旋转来选择性地转移设置在源基板上的元件的辊印模， 辊单元，其包括在径向上突出的凸部和在相邻的凸部之间形成的凹部; 以及形成在辊单元的外周表面上以包围凸部和凹部并与元件接触的粘合剂层，其中粘合剂层沿圆周方向具有平坦的外周表面。
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公开(公告)号：WO2012150814A2
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：PCT/KR2012/003440
申请日：2012-05-02
CPC classification number: B41F1/46 , B41F1/42 , B41F17/001
Abstract: 본 발명은 전사용 스탬프와 전사 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤(roll)에 의해 대면적에 형성된 박막 소자를 밀착시켜 이송한 후 롤에 의해 이송된 박막 소자를 정렬시킴으로서 연속 공정이 가능한 대면적 전사용 스탬프와, 상기 스탬프의 표면 접촉력을 균일화 하여 전사 시 박막 소자의 손상을 최소화 하게 되는 대면적 전사용 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及用于图像传送和图像传送设备的印章。 更具体地说，本发明涉及一种用于大面积图像转印的印模，其能够通过使用辊进行连续加工，以确保形成在大面积上的薄膜元件的紧密接触和移动，然后使薄膜元件 已经通过滚动移动了; 以及使用大面积图像转印印模的大面积图像转印设备，该设备适于通过使印模的表面接触力均匀而使图像转印期间对薄膜元件的损伤最小化。
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公开(公告)号：WO2021215634A1
公开(公告)日：2021-10-28
申请号：PCT/KR2021/001443
申请日：2021-02-04
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 개시된 나노 입자의 제조 방법은, 페로브스카이트 결정 구조를 가지며 표면에 제1 리간드를 갖는 나노 입자와 무극성 용매를 포함하는 나노 입자 분산액을 준비하는 단계; 및 실레인 화합물, 할로겐 화합물 및 상기 나노 입자 분산액을 혼합하여, 상기 제1 리간드를 실레인 리간드로 치환하는 단계를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2021101341A1
公开(公告)日：2021-05-27
申请号：PCT/KR2020/016532
申请日：2020-11-20
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: H01L21/52 , H01L27/15 , H01L23/00 , H01L21/78 , H01L21/324
Abstract: 본 발명의 일실시예는 소자를 전사하는 수율을 높일 수 있는 소자 전사방법 및 이를 이용한 전자패널 제조방법을 제공한다. 여기서, 소자 전사방법은, 단자가 형성된 소자의 제1면이 점착면에 점착된 캐리어필름을 준비하는 단계와, 제1면의 반대 면이고 단자가 형성되지 않은 소자의 제2면이 덮이도록 점착면에 커버점착층을 마련하는 단계와, 제2면이 타깃기판에 대향되도록 한 상태에서 커버점착층을 타깃기판에 점착시켜 소자를 타깃기판에 전사하는 단계와, 소자로부터 캐리어필름을 분리하는 단계를 포함하고, 소자 전사단계에서, 캐리어필름을 가압하여 커버점착층의 표면이 단자와 동일한 높이에서 평탄해지도록 한다.
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公开(公告)号：WO2021045543A1
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：PCT/KR2020/011888
申请日：2020-09-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일실시예는 소자의 피킹(Picking) 공정 및 플레이싱(Placing) 공정에 모두 사용될 수 있는 전사필름, 전사필름을 이용한 전사방법 및 이를 이용하여 제조되는 전자제품을 제공한다. 여기서, 본 발명의 일실시예에 따른 전사필름은 베이스부, 점착부 그리고 제1돌기부를 포함한다. 점착부는 베이스부의 일면에 구비되고, 제1돌기부는 적어도 일부가 베이스부의 일면에 돌출 형성되어 점착부의 내측에 수용되며, 베이스부의 표면에 평행한 제1방향으로 갈수록 두께가 증가한다. 제1돌기부 중 상대적으로 두께가 두꺼운 일부가 포함되는 제1영역과, 제1돌기부 중 상대적으로 두께가 얇은 다른 일부가 포함되고 제1영역보다 점착력이 약한 제2영역으로 구획되며, 피킹(Picking) 공정 시에는 제1영역이 먼저 들어올려지면서 소자가 피킹되고, 플레이싱(Placing) 공정 시에는 제2영역이 먼저 들어올려지면서 소자가 플레이싱된다.
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公开(公告)号：WO2020091341A1
公开(公告)日：2020-05-07
申请号：PCT/KR2019/014272
申请日：2019-10-28
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일실시예에 따른 소자 간격 제어가 가능한 시트는 제1절개선과, 제1절개선에 교차하는 방향으로 형성되고 제1절개선을 기준으로 이격되게 형성되는 한 쌍의 제2절개선을 가지는 몸체부를 포함한다. 제1절개선은 몸체부에 제1방향으로 형성되어 몸체부를 한 쌍의 하프 몸체부로 양분한다. 제2절개선은 제1절개선의 일측 또는 타측에서 제1방향에 교차하는 제2방향으로 형성되어 하프 몸체부를 한 쌍의 쿼터 몸체부로 양분한다. 제1절개선은 한 쌍의 하프 몸체부의 양단부가 서로 연결되도록 몸체부의 제1방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 제2절개선은 한 쌍의 쿼터 몸체부에서 제1절개선 측에 위치하는 단부가 서로 연결되도록 하프 몸체부의 제2방향 길이보다 짧은 길이로 형성되고, 제1절개선 및 제2절개선이 벌어지면, 복수의 쿼터 몸체부의 중심간의 거리가 멀어지도록 움직인다.
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公开(公告)号：WO2019190031A1
公开(公告)日：2019-10-03
申请号：PCT/KR2018/016991
申请日：2018-12-31
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: H01L21/67 , H01L21/52 , H01L21/66 , H01L25/075
Abstract: 마이크로 소자 전사장치 및 마이크로 소자 전사방법이 개시되며, 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 소자 전사장치는 마이크로 소자가 점착된 전사필름이 흡착되는 제1흡착부, 타겟기판이 안착되고 상기 제1흡착부로부터 제공되는 상기 전사필름이 흡착되는 제2흡착부, 상기 제2흡착부를 제1수평방향으로 이송시키는 이송부, 이송되는 상기 제2흡착부의 상기 전사필름을 가압하여 상기 마이크로 소자를 상기 타겟기판에 전사시키는 가압부 및 상기 제1수평방향으로의 이송경로에서 상기 가압부의 전단에 구비되고, 상기 가압부를 지나는 상기 전사필름을 상기 타겟기판으로부터 멀어지도록 안내하여 상기 전사필름을 상기 마이크로 소자로부터 분리시키는 안내부를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2019093822A3
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：PCT/KR2018/013642
申请日：2018-11-09
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 탄소 복합체 제조방법은, 유기 소재의 표면에 금속 전구체를 증착하여, 금속 산화물 층을 형성하는 단계; 및 금속 산화물 층이 형성된 유기 소재를 탄소열환원하는 단계;를 포함한다.
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