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公开(公告)号：KR20210025140A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190104167A
申请日：2019-08-26
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/67098 , H01L21/67259
Abstract: 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자가 안정적이고 균일하게 전사되도록 하여 공정의 수율을 개선할 수 있는 마이크로 소자 전사 장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자를 부착하는 마이크로 소자 전사 장치로서, 상기 타겟기판이 접촉 지지되는 제1 열접촉면이 형성된 제1 히팅블록을 구비하는 제1 히터유닛; 상기 마이크로 소자를 포함한 캐리어필름이 접촉 지지되는 제2 열접촉면이 형성된 제2 히팅블록을 구비하는 제2 히터유닛; 및 상기 제1 히터유닛과 연결되며, 상기 제1 히팅블록 및 상기 제2 히팅블록이 일직선 상에서 서로 마주하여 대향하도록 상기 제1 히터유닛의 위치를 정렬시키기 위한 제1 이동플랫폼;을 포함하는 특징을 개시한다.
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公开(公告)号：KR102230701B1
公开(公告)日：2021-03-22
申请号：KR1020190069765A
申请日：2019-06-13
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: B41F16/00
CPC classification number: B41F16/00 , B41F16/002 , B41F16/0066
Abstract: 본 발명의 일실시예는 일정한 변형구간에서 동일한 응력을 가질 수 있는 제로 탄성계수 구간을 가지는 메타구조체 및 제로 탄성계수 구간을 가지는 메타구조체 설계방법을 제공한다. 여기서, 제로 탄성계수 구간을 가지는 메타구조체는 제1유닛 그리고 제2유닛을 포함한다. 제1유닛은 좌굴(Buckling) 가능한 구조로 형성되고, 응력 변형률 관계에서 음의 탄성계수를 가지는 구간을 포함한다. 제2유닛은 제1유닛에 이웃하게 배치되고, 응력 변형률 관계에서 양의 탄성계수를 가지는 구간을 포함한다. 제1유닛의 음의 탄성계수와 제2유닛의 양의 탄성계수의 합성에 의해, 미리 설정된 타깃변형구간에서 제로 탄성계수를 가진다.
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公开(公告)号：WO2023048451A1
公开(公告)日：2023-03-30
申请号：PCT/KR2022/014024
申请日：2022-09-20
Applicant: 재단법인 파동에너지 극한제어연구단 , 한국기계연구원
Abstract: 본 발명의 일실시예는 공정이 간소화되어 생산 가격이 낮고, 대면적으로 구현이 가능한 투명필름 구조체의 설계방법 및 투명필름 구조체의 제조장치, 이를 이용하여 제조되는 투명필름 구조체 및 전자기파 흡수 구조체를 제공한다. 여기서, 투명필름 구조체의 설계방법은 유전체 기판의 소재를 선정하는 단계와, 유전체 기판의 전면에 마련되는 최종 전도성 패턴의 소재를 선정하는 단계와, 유전체 기판 및 최종 전도성 패턴의 투과도 차이에 기인한 아른거림이 육안으로 구별되지 않도록, 유전체 기판 및 최종 전도성 패턴 사이의 목표 투과도 차이를 결정하는 단계와, 유전체 기판의 투과도 및 최종 전도성 패턴의 투과도 사이의 차이가 목표 투과도 차이 미만이 되도록, 유전체 기판에 대한 최종 전도성 패턴의 면적비를 설정하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2022265266A1
公开(公告)日：2022-12-22
申请号：PCT/KR2022/007710
申请日：2022-05-31
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지극한제어연구단
IPC: C01B32/921 , C23C16/06 , C23C16/04 , H01L35/22 , H01L35/02
Abstract: 본 발명은 금속이 침투된 맥신 복합체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 열전 소자에 관한 것이다. 보다 상세하게는 하기 [화학식 1]로 표시되는 맥신의 층간에 침투하여 브릿지를 형성하는 금속 클러스터를 포함하는, 금속이 침투된 맥신 복합체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 열전 소자에 관한 것이다. [화학식 1] Mn+1Xn (상기 [화학식 1]에서, n은 1, 2 또는 3이고, M은 주기율표의 3~7족에 속하는 앞전이금속이고, X는 탄소, 질소 또는 CN이다.)
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公开(公告)号：WO2022050667A1
公开(公告)日：2022-03-10
申请号：PCT/KR2021/011708
申请日：2021-08-31
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본 발명의 일실시예는 실장되는 소자의 다양한 피치 조절이 가능한 신축성 기판 및 이를 이용한 소자 간격 제어방법을 제공한다. 여기서, 신축성 기판은 셀 그리고 전극 배선을 포함한다. 셀은 절개선에 의해 구획되어 복수개로 형성된다. 전극 배선은 절개선에 교차하지 않도록 복수의 셀 상에 연속되게 마련된다. 셀은 절개선이 형성되지 않은 연결부에 의해 이웃하는 셀과 연결되고, 인장력이 가해지면 연결부를 중심으로 힌지 회동되고, 전극 배선은 셀이 힌지 회동하더라도 연속된 상태를 유지한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2020138816A2
公开(公告)日：2020-07-02
申请号：PCT/KR2019/017940
申请日：2019-12-18
Applicant: 재단법인 파동에너지 극한제어연구단 , 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , H01L29/16 , H01L21/3065 , H01L21/78 , H01L21/67 , H01L21/311
Abstract: 본 발명의 일실시예는 정밀한 슬롯 제작이 가능한 슬롯이 있는 메타구조체 제조방법을 제공한다. 여기서, 슬롯이 있는 메타구조체 제조방법은 신축성의 베이스기판의 상면에 제1임계변형률을 가지는 판상구조층, 그리고 제1임계변형률보다 작은 제2임계변형률을 가지는 취성층을 순차 마련하고, 제1임계변형률보다는 작고 제2임계변형률보다는 큰 변형률이 발생하도록 베이스기판에 인장력을 가하여, 취성층 및 판상구조층에 균열이 발생하도록 하고, 균열 속 베이스기판의 상부를 에칭하여 베이스기판의 상부에 함몰된 형상의 슬롯을 생성하고, 취성층의 상면에 점착필름을 부착하고, 점착필름을 이동시켜 베이스기판에서 판상구조층을 박리시키고, 슬롯이 오픈되도록 베이스기판의 상면에 도전층을 마련한다.
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公开(公告)号：WO2019124574A1
公开(公告)日：2019-06-27
申请号：PCT/KR2017/014984
申请日：2017-12-19
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지극한제어연구단
IPC: H01L21/18 , H01L27/15 , H01L21/768
CPC classification number: H01L21/18 , H01L21/768 , H01L27/15
Abstract: 본 발명은 다층의 점착층으로 구성된 캐리어 필름의 경도를 조절함으로써 캐리어 필름에 소자가 압입되는 압입깊이를 제어하여 소자를 기판으로 이송시키는 경도가변 캐리어 필름에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 베이스 필름, 제 1 점착층, 제 2 점착층을 포함한다. 제 1 점착층은 상기 베이스 필름의 일면에 형성되며, 전사하고자 하는 소자가 부착 및 압입된다. 제 2 점착층은 상기 베이스 필름과 상기 제 1 점착층 사이에 형성되며, 경도가 변화하여 상기 소자의 압입 여부가 제어된다. 상기 소자와 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층 사이에 형성되는 점착력의 크기는 상기 소자가 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층에 압입되는 압입깊이에 비례하고, 상기 제 2 점착층이 제 1 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층까지 압입되고, 상기 제 2 점착층이 상기 제 1 경도보다 약한 제 2 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층을 관통하여 상기 제 2 점착층까지 압입된다.
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公开(公告)号：WO2011155808A2
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：PCT/KR2011/004315
申请日：2011-06-13
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G01N19/04
Abstract: 본 발명은 프린팅 공정 시뮬레이션 장치 및 방법에 대한 것으로서, 더 상세하게는 프린팅 공정용 소재 사이의 점착 특성 및 이에 대한 공정 조건의 영향을 자동으로 조사해 주는 프린팅 공정 시뮬레이션 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 하중 감지 센서 등을 이용하여 스탬프, 잉크, 모재, 기판 사이의 점착 특성을 자동적으로 계산하는 것이 가능하다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于印刷工艺模拟的装置和方法，更具体地说，涉及一种印刷工艺模拟的装置和方法，该装置和方法自动研究印刷过程的材料之间的粘合特性以及工艺条件对粘合特性的影响 。 根据本发明，可以使用负载传感器等自动计算印模，油墨，基材和基板之间的粘合特性。
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公开(公告)号：WO2019125013A1
公开(公告)日：2019-06-27
申请号：PCT/KR2018/016357
申请日：2018-12-20
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 마이크로 소자 전사방법 및 마이크로 소자 전사장치가 개시되며, 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 소자 전사방법은, 마이크로 소자의 접착부위가 제1접착면적으로 접착된 전사필름을 벤딩하여 상기 마이크로 소자의 일부분이 상기 전사필름에서 떨어지고 상기 접착부위가 상기 제1접착면적보다 작은 제2접착면적으로 축소되는 접착면적 축소단계 및 상기 제2접착면적을 가지는 상기 마이크로 소자가 상기 전사필름에서 분리되면서 타켓기판에 부착되는 부착단계를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2017018711A1
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：PCT/KR2016/007878
申请日：2016-07-20
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 점착력 제어 필름을 이용한 선택적 연속 전사 장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 유연 기판 디바이스 제조 공정과 같이 롤을 사용하여 전사를 수행하는 연속 전사 공정에 있어서, 원하는 위치에만 소자가 전사되도록 하는 선택적 전사를 원활하고 용이하게 실현할 수 있는, 점착력 제어를 통한 선택적 연속 전사 장치를 제공함에 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用粘合力控制膜的选择性连续传送装置。 本发明的目的是通过粘合力控制提供选择性连续传送装置，其可以获得平滑和容易的选择性转移，其使得元件仅在执行转印的连续转印过程期间被转印到期望的位置 通过使用诸如制造柔性基板装置的工艺的辊。
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