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公开(公告)号：KR1020140136142A
公开(公告)日：2014-11-28
申请号：KR1020130056244
申请日：2013-05-20
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
CPC classification number: H01J37/32862 , G01J5/02 , H01J37/32522 , H01J37/32834 , H01J2237/33
Abstract: 본 발명은 셀프 플라즈마 챔버에 사용되는 윈도우의 오염을 억제하기 위한 장치에 관한 것으로서, 공정 챔버의 배기관과 연결되고, 상기 공정 챔버 내의 반응 가스를 인입시켜 플라즈마 상태로 만드는 셀프 플라즈마 챔버의 셀프 플라즈마 챔버 오염 억제 장치에 있어서, 상기 셀프 플라즈마 챔버의 윈도우 또는 플랜지에 설치되며, 상기 공정 챔버로부터 인입된 오염 유발 물질이 윈도우 및 플랜지에 축적되는 축적 반응이 억제되도록 윈도우 및 플랜지의 온도를 제어하는 온도제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 셀프 플라즈마 챔버 오염 억제 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 반응 가스의 종류에 따라 윈도우 또는 플랜지를 가열 또는 냉각시켜 반응가스에 의한 오염물이 윈도우 및 플랜지에 축적되기 위한 축적 반응을 방해하여, 윈도우의 오염을 최소화시키는 이점이 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种抑制在自等离子体室中使用的窗的污染的装置。 自等离子体室污染抑制装置中的自等离子体室与处理室的排气管连接，通过使处理室中的反应气体流入自等离子体室而形成等离子体状态。 自等离子体室污染抑制装置的技术要点是包括安装在自等离子体室的窗口或凸缘中并控制窗口和凸缘的温度的温度控制装置，以便通过 来自处理室的污染物质积聚在窗口和法兰中。 因此，本发明通过阻碍反应气体引起的污染物根据反应气体的类型通过加热或冷却窗口或凸缘而累积在窗口和凸缘中的累积反应来最小化窗户的污染。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140117153A
公开(公告)日：2014-10-07
申请号：KR1020130032230
申请日：2013-03-26
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , 김봉수 , 김상범
CPC classification number: A45D44/00 , D04H1/02 , Y10S206/823
Abstract: The present invention relates to an integral type apparatus for manufacturing and packaging cotton pads, and more specifically, to a rotary cut type apparatus for manufacturing and packaging cotton pads, whereby the cotton pads are manufactured at a high rate in a rotary cut manner, and the manufactured cotton pads are automatically counted, and then inserted in a packaging case. The apparatus comprises: an inputting unit including three or more cotton fabric rollers, which a cotton fabric is wound around and which are rotated by cotton fabric roller motors, and thus simultaneously wind three or more cotton pad fabrics thereon; a processing unit including a thermal calender roller for forming patterns on the cotton pads, which have been wound in three or more layers in the inputting unit, and performing thermal compression on the cotton pads, a cutter for cutting the cotton pads, which have been compressed by the thermal calender roller, in a length direction, and a rotary cutter for cutting the cotton pads, which have been cut in the length direction by the cutter, in a width direction; a packaging unit including a stacking device for counting the number of cotton pads after the processing is completed in the processing unit, a cotton pad separator for separating the cotton pads when the number of cotton pads stacked reaches a predetermined number, a conveyor for conveying the separated cotton pads, and a pusher for pushing the cotton pads, which have been conveyed by the conveyor, in a packaging case; and a controlling unit for controlling the inputting unit, the processing unit, and the packaging unit, respectively. Since the cotton pads are manufactured and packaged in an integral type apparatus, the limitations in the production rate, packaging labors, and packaging rate can be overcome, thereby increasing the production volume and decreasing the number of workers through high-rate production even when a small-width fabric is used, thus significantly reducing the production costs.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造和包装棉垫的整体式装置，更具体地说，涉及一种用于制造和包装棉垫的旋切式装置，由此棉花垫以旋转切割的方式高速制造， 制造的棉垫自动计数，然后插入包装盒中。 该装置包括：输入单元，包括三个或更多个棉织物辊，棉织物缠绕在其上并由棉织物辊马达旋转，从而同时在其上缠绕三个或更多个棉垫织物; 处理单元，其包括用于在棉垫上形成图案的热砑光辊，其已在输入单元中以三层或更多层缠绕，并且对棉垫进行热压缩，用于切割棉垫的切割器 在长度方向由热砑光辊压缩，以及用于切割沿长度方向由切割器在宽度方向上切割的棉垫的旋转切割器; 一个包装单元，包括用于在加工单元中完成处理之后对棉垫数量进行计数的堆叠装置，当堆叠的棉垫数量达到预定数量时用于分离棉垫的棉垫分离器，用于输送 分离的棉垫，以及用于将已经由输送机输送的棉垫推到包装盒中的推动器; 以及控制单元，用于分别控制输入单元，处理单元和包装单元。 由于棉垫是以一体式装置制造和包装的，因此可以克服生产率，包装劳动力和包装率的限制，从而通过高产量生产量增加和减少工人数量，即使在 使用小宽度织物，从而显着降低生产成本。
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公开(公告)号：KR101408566B1
公开(公告)日：2014-06-17
申请号：KR1020130000131
申请日：2013-01-02
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , (주)유메카
Abstract: The present invention relates to a torque detection device comprising a torque detection part for outputting an analog torque signal and a digital torque signal by detecting the torque of a rotor; and a torque signal processing module for estimating an estimated digital torque signal from the analog torque signal and an estimated analog torque signal from the digital torque signal based on a preregistered estimation algorithm, and determining a final torque signal based on a first deviation between the analog torque signal and the estimated analog torque signal and a second deviation between the digital torque signal and the estimated digital torque signal Accordingly, the present invention can precisely control the torque strong to external noise by supplementing the weakness of the analog and digital torque signals using the analog and the digital torque signals together.
Abstract translation: 扭矩检测装置技术领域本发明涉及一种转矩检测装置，其特征在于，具有通过检测转子的转矩来输出模拟转矩信号和数字转矩信号的转矩检测部， 以及转矩信号处理模块，用于基于预先注册的估计算法从所述模拟转矩信号估计所估计的数字转矩信号和估计的来自所述数字转矩信号的模拟转矩信号，以及基于所述模拟转换信号的第一偏差来确定最终转矩信号 转矩信号和估计的模拟转矩信号以及数字转矩信号与估计的数字转矩信号之间的第二偏差。因此，本发明可以通过补充模拟和数字转矩信号的弱点来精确地控制强于外部噪声的转矩， 模拟和数字转矩信号在一起。
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公开(公告)号：KR101884929B1
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：KR1020160019272
申请日：2016-02-18
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , (주)케파
Abstract: 일실시예에따른기판정렬유닛은, 지지프레임; 상기지지프레임상에선형운동또는회전운동가능하게배치된제1 이동부재; 상기지지프레임및 상기제1 이동부재사이에배치되어, 상기제1 이동부재의운동을보조하는링 가이드부재; 및상기지지프레임, 상기링 가이드부재및 상기제1 이동부재의중앙을관통하여상하운동가능하게배치된제2 이동부재를포함할수 있다.
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15.发明授权시편에서 반사된 빛의 스펙트럼이 광 센서의 측정감도에 최적화되도록 파장영역별로 밝기가 제어되는 광원 모듈 및 이를 이용한 박막두께 측정장치 有权具有反射光的调节光模块优化为光传感器和使用该光传感器的膜厚度测量装置
公开(公告)号：KR101607639B1
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：KR1020140007230
申请日：2014-01-21
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본발명의일 측면에따르면, 박막이형성된시편에광원이생성한빛을조사하여간섭이일어나는반사광의파장을측정하여상기시편상에형성된상기박막의두께를측정하는박막두께측정장치(Spectral Reflectometor)에있어서, 서로다른파장을가진 n(단, n은 1 이상의정수)가지종류의 LED를포함하는광원부;및상기광원부에인가되는전류를조절하여각 파장별로동일한밝기로발광하도록제어하는제어부; 를포함하는것을특징으로하는박막두께측정장치를제공한다. 본발명에따르면, 다양한파장의 LED에흐르는전류량을각각제어함으로써, 파장별빛의세기를균일하게제어하는효과가있다.
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公开(公告)号：KR101486716B1
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：KR1020130056244
申请日：2013-05-20
Applicant: 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 셀프 플라즈마 챔버에 사용되는 윈도우의 오염을 억제하기 위한 장치에 관한 것으로서, 공정 챔버의 배기관과 연결되고, 상기 공정 챔버 내의 반응 가스를 인입시켜 플라즈마 상태로 만드는 셀프 플라즈마 챔버의 셀프 플라즈마 챔버 오염 억제 장치에 있어서, 상기 셀프 플라즈마 챔버의 윈도우 또는 플랜지에 설치되며, 상기 공정 챔버로부터 인입된 오염 유발 물질이 윈도우 및 플랜지에 축적되는 축적 반응이 억제되도록 윈도우 및 플랜지의 온도를 제어하는 온도제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 셀프 플라즈마 챔버 오염 억제 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 반응 가스의 종류에 따라 윈도우 또는 플랜지를 가열시켜 반응가스에 의한 오염물이 윈도우 및 플랜지에 축적되기 위한 축적 반응을 방해하여, 윈도우의 오염을 최소화시키는 이점이 있다.
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