公开(公告)号：KR102168402B1

公开(公告)日：2020-10-21

申请号：KR1020180083818

申请日：2018-07-19

Applicant: 한국세라믹기술원 ,  재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단

Inventor： 박운익 ,  정영훈 ,  김광호

IPC: H05K7/20 ,  H04R7/06 ,  H04R17/00

公开(公告)号：KR102097218B1

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：KR1020180141714

申请日：2018-11-16

Applicant: 한국세라믹기술원 ,  재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단

Inventor： 박운익 ,  박태완 ,  김광호

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/324 ,  H01L21/3213 ,  G03F7/20

公开(公告)号：KR101809714B1

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：KR1020170052825

申请日：2017-04-25

Applicant: 한국세라믹기술원 ,  주식회사 제이디솔루션

Inventor： 정영훈 ,  박운익 ,  조정호 ,  백종후 ,  이민선 ,  제영호 ,  임용묵

IPC: H04R17/00 ,  H01L41/047 ,  H04R3/00

Abstract: 본발명에따른압전트랜스듀서및 이를포함하는지향성스피커에서, 압전트랜스듀서는베이스기판상에서로이격되어배치된다수의압전유닛들을포함하되, 압전유닛들각각은상기베이스기판상에배치되는베이스기재상에제1 방향으로서로마주하도록이격되어배치되고상기제1 방향과다른제2 방향으로연장된한 쌍의압전소자들; 및플렉시블필름을포함한다. 이에따라, 음압을최대화시키고, 제조또는사용중의외력에의한손상을최소화시킬수 있다. 본발명에따른지향성스피커용압전트랜스듀서는압전액츄에이터(actuator)들로이용가능한압전소자들을어레이형태로배열하여제작된것이다.

公开(公告)号：KR101768811B1

公开(公告)日：2017-08-17

申请号：KR1020160080502

申请日：2016-06-28

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 정영훈 ,  조정호 ,  백종후 ,  윤지선 ,  박운익 ,  이민선

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/113 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/193 ,  H01L41/27

CPC classification number: H01L41/083 ,  H01L41/047 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/193 ,  H01L41/27

Abstract: 본발명은다층압전소자구조체에관한것이다. 또한, 본발명은이러한다층압전소자구조체가자왜재료를포함한내용에관한것이다. 본발명의압전소자는스피커, 액츄에이터(actuator), 센서, 에너지하베스터등 다양한분야에서이용될수 있다. 본발명의일 실시예에따른다층압전소자구조체는, 둘이상의압전재료시트들이적층되어있고, 상기압전재료시트들의각각의윗면및 아랫면에는전극패턴들이배치되며, 상기전극패턴들은제 1 전극패턴및 제 2 전극패턴으로이루어져있으며, 상기제 1 전극패턴및 제 2 전극패턴은전기적으로절연되어있고, 각각서로맞물리는(interdigitated) 전극패턴을형성하는복수의전극을포함하고, 상기전극패턴들은상하방향으로서로동일한형태로투영되도록배치된다.

公开(公告)号：KR102212605B1

公开(公告)日：2021-02-04

申请号：KR1020190059299

申请日：2019-05-21

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/67

Abstract: 패터닝장치가제공된다. 상기패터닝장치는, 타겟기판이준비되는타겟기판준비부, 상기타겟기판을이동시키는타겟기판이동부, 및상기타겟기판이동부로부터상기타겟기판을제공받아, 상기타겟기판상에패턴을형성하는패터닝부를포함하되, 상기패터닝부는, 제1 방향, 및상기제1 방향과직각방향인제2 방향으로이동되며, 상기타겟기판이배치되는스테이지, 및상기제1 및제2 방향과직각방향인제3 방향으로연장되고, 상기제3 방향으로직선이동됨에따라상기타겟기판과접촉및 분리되는마스터패턴을포함하는마스터기판이장착되는패터닝모듈을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR102206788B1

公开(公告)日：2021-01-22

申请号：KR1020190059302

申请日：2019-05-21

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/80 ,  H01L21/027 ,  H01L21/67

Abstract: 패턴형성장치가제공된다. 상기패턴형성장치는, 베이스바디, 및상기베이스바디에의해지지(support)되고, 일단에마스터패턴을포함하는마스터기판이장착되는램헤드를포함하는패터닝부, 및서로구분되는복수의타겟영역을포함하는타겟기판이배치되는기판이동부를포함하되, 상기복수의타겟영역은, 각각상기마스터기판에의하여압력이인가되어상기마스터패턴의역상을갖는타겟패턴이형성될수 있다.

公开(公告)号：KR102146349B1

公开(公告)日：2020-08-20

申请号：KR1020180171236

申请日：2018-12-27

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익 ,  정현성 ,  윤영준 ,  방지원

IPC: G03F7/00 ,  B82Y40/00

公开(公告)号：KR101989600B1

公开(公告)日：2019-09-30

申请号：KR1020170175758

申请日：2017-12-20

Applicant: 한국세라믹기술원 ,  한국과학기술원

Inventor： 박운익 ,  조정호 ,  홍연우 ,  정영훈 ,  최영중 ,  박태완 ,  정연식 ,  한혁진 ,  한유진 ,  조승희

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：KR101984054B1

公开(公告)日：2019-05-30

申请号：KR1020170073189

申请日：2017-06-12

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익 ,  조정호 ,  백종후 ,  정영훈 ,  김창일 ,  최영중 ,  박태완

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/033 ,  G03F7/00 ,  H01L21/324

公开(公告)号：KR1020200133961A

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：KR1020190059302

申请日：2019-05-21

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/80 ,  H01L21/027 ,  H01L21/67

Abstract: 패턴형성장치가제공된다. 상기패턴형성장치는, 베이스바디, 및상기베이스바디에의해지지(support)되고, 일단에마스터패턴을포함하는마스터기판이장착되는램헤드를포함하는패터닝부, 및서로구분되는복수의타겟영역을포함하는타겟기판이배치되는기판이동부를포함하되, 상기복수의타겟영역은, 각각상기마스터기판에의하여압력이인가되어상기마스터패턴의역상을갖는타겟패턴이형성될수 있다.