公开(公告)号：WO2019039712A1

公开(公告)日：2019-02-28

申请号：PCT/KR2018/006620

申请日：2018-06-12

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익 ,  최영중

IPC: H02N1/04 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C59/02 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H02N1/04

Abstract: 가압방식 소성변형 패터닝 방법이 제공된다. 상기 가압방식 소성변형 패터닝 방법은, 타겟(target) 기판을 준비하는 단계, 제1 마스터 패턴을 포함하고, 상기 타겟 기판의 경도(hardness) 이상의 경도를 갖는 제1 마스터 기판을 준비하는 단계, 상기 타겟 기판 및 상기 제1 마스터 기판을 접촉시키되, 상기 타겟 기판 및 상기 제1 마스터 기판 상에 압력을 가하여, 상기 타겟 기판 상에 상기 제1 마스터 패턴의 역상을 갖는 제1 타겟 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 타겟 기판 및 상기 제1 마스터 기판을 분리하는 단계를 포함할 수 있다.

公开(公告)号：KR102138465B1

公开(公告)日：2020-07-27

申请号：KR1020190038305

申请日：2019-04-02

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 정영훈 ,  박운익

IPC: H04R17/00 ,  H04R31/00 ,  H01L41/09 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/193

公开(公告)号：KR101980536B1

公开(公告)日：2019-08-28

申请号：KR1020170105843

申请日：2017-08-22

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익 ,  최영중

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  B29C59/02

公开(公告)号：KR102014103B1

公开(公告)日：2019-08-26

申请号：KR1020170175759

申请日：2017-12-20

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익 ,  박태완 ,  최영중

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  H01L43/08 ,  H01L45/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y10/00

公开(公告)号：KR101987622B1

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：KR1020170118430

申请日：2017-09-15

Applicant: 한국세라믹기술원 ,  한국과학기술원

Inventor： 박운익 ,  조정호 ,  백종후 ,  정영훈 ,  윤지선 ,  김창일 ,  최영중 ,  박태완 ,  정연식 ,  한혁진 ,  임순민 ,  한유진

IPC: G03F7/20 ,  G03F1/66

公开(公告)号：KR102222719B1

公开(公告)日：2021-03-03

申请号：KR1020190059300

申请日：2019-05-21

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익

IPC: B26F1/40 ,  B26F1/14

Abstract: 펀칭장치가제공된다. 상기펀칭장치는제1 방향, 및상기제1 방향과직각방향인제2 방향으로이동되고, 타겟기판이배치되는스테이지, 및상기제1 및제2 방향과직각방향인제3 방향으로연장되고, 상기제3 방향으로직선이동됨에따라상기타겟기판과접촉및 분리되는펀칭(punching) 몰드를포함하는펀칭모듈을포함할수 있다.

公开(公告)号：KR102018215B1

公开(公告)日：2019-09-04

申请号：KR1020170159776

申请日：2017-11-28

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익 ,  백종후 ,  박태완 ,  최영중

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/324 ,  G03F7/20

公开(公告)号：KR102002288B1

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：KR1020180083817

申请日：2018-07-19

Applicant: 한국세라믹기술원 ,  재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단

Inventor： 박운익 ,  김광호

IPC: G06K7/10 ,  G06F21/72 ,  G02B5/20

公开(公告)号：KR101969941B1

公开(公告)日：2019-04-17

申请号：KR1020170107349

申请日：2017-08-24

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익 ,  최영중

IPC: H02N1/04

公开(公告)号：KR102203353B1

公开(公告)日：2021-01-14

申请号：KR1020180160398

申请日：2018-12-12

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 박운익 ,  백종후 ,  박태완

IPC: G03F7/00

Abstract: 블록공중합체기반금속미세패턴의제조방법이제공된다. 상기블록공중합체기반금속미세패턴의제조방법은, 기판상에제1 및제2 고분자를포함하는소스용액을제공하는단계, 상기소스용액이제공된상기기판을열처리하여, 상기기판상에상기제1 고분자가자기조립된복수의베이스패턴, 및상기베이스패턴을덮고상기제2 고분자를포함하는베이스막을형성하는단계, 상기베이스패턴에금속이온을침투시켜예비가이드패턴을형성하는단계, 상기금속이온을환원시켜, 가이드패턴을형성하는단계, 및상기가이드패턴을디웨팅시켜, 타겟패턴을형성하는단계를포함할수 있다.