비등방성 전기접속 소재의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 비등방성 전기접속 소재
    11.
    发明授权
    비등방성 전기접속 소재의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 비등방성 전기접속 소재 有权
    用于制造电气连接用的异种材料的方法和由其制造的各向异性材料

    公开(公告)号:KR101258540B1

    公开(公告)日:2013-05-02

    申请号:KR1020110084159

    申请日:2011-08-23

    Abstract: 비등방성전기접속소재의제조방법및 그방법에의해제조된비등방성전기접속소재를제공한다. 본발명의비등방성전기접속소재의제조방법은, 실리콘웨이퍼상에알루미늄층을포함하는금속층인희생막을형성하는단계; 희생막상에절연체박막을형성하는단계; 절연체박막상에패턴이형성된마스크를적층하고. 패턴에부합하도록에칭하여, 절연체박막에규칙적으로정렬된다수의관통홀을형성하는단계; 관통홀에전도성금속을채워금속플러그를형성하는단계; 실리콘웨이퍼를소정의크기로절단하는단계; 및금속플러그가형성된절연체박막인비등방성박막을실리콘웨이퍼로부터분리하는단계를포함한다. 이에의하면, 서브마이크론또는나노급의정렬된구조를가짐으로써미세피치접속을가능하게하여한정된범위내에서더욱많은정보가전달될수 있는정보통로를형성할수 있고, 제조시고온, 고압의공정을필요로하지않아모듈의손상을최소화할수 있으며, 적용되는전자기기들의고성능화, 경박단소화를실현할수 있다.

    비등방성 전기접속 소재의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 비등방성 전기접속 소재
    12.
    发明公开
    비등방성 전기접속 소재의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 비등방성 전기접속 소재 有权
    用于制造电气连接用的异种材料的方法和由其制造的各向异性材料

    公开(公告)号:KR1020130021721A

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:KR1020110084159

    申请日:2011-08-23

    Abstract: PURPOSE: Anisotropic electric connection materials and a manufacturing method thereof are provided to implement a fine pitch connection method by including a nanostructure or a microstructure. CONSTITUTION: An insulator layer is formed on sacrifice layers laminated on a silicon wafer(b). A photosensitive film is formed on the insulator layer, and a pattern for the photosensitive film is formed(c). After the insulator layer is selectively etched, the photosensitive film is removed(d). A barrier metal layer is formed on a surface of the insulator layer(e). A conductive metal plug is formed inside a penetration hole of the insulator layer laminated on the barrier metal layer(f). An upper surface in which the conductive metal plug is ground(g). [Reference numerals] (AA) Start; (B1) Step a; (B2) Laminating a sacrifice layer on an Si wafer; (C1) Step b; (C2) Forming an insulator thin film; (D1) Step c; (D2) Forming a photosensitive film, and patterning; (E1) Step d; (E2) Etching, and removing the photosensitive film; (F1) Step e; (F2) Forming a barrier metal film; (G1) Step f; (G2) Forming a conductive metal plug; (H1) Step g; (H2) Separating a node; (I1) Step h; (I2) Cutting the wafer; (J1) Step i; (J2) Separating an anisotropic thin film; (KK) End

    Abstract translation: 目的:提供各向异性电连接材料及其制造方法,以通过包括纳米结构或微结构来实现细间距连接方法。 构成:在层叠在硅晶片(b)上的牺牲层上形成绝缘体层。 在绝缘体层上形成感光性膜,形成感光性膜的图案(c)。 在选择性地蚀刻绝缘体层之后,去除感光膜(d)。 在绝缘体层(e)的表面上形成阻挡金属层。 导电金属插塞形成在层压在阻挡金属层(f)上的绝缘体层的穿透孔的内部。 导电金属插头被研磨的上表面(g)。 (附图标记)(AA)开始; (B1)步骤a; (B2)在Si晶片上层压牺牲层; (C1)步骤b; (C2)形成绝缘体薄膜; (D1)步骤c; (D2)形成感光性膜,构图; (E1)步骤d; (E2)蚀刻,除去感光膜; (F1)步骤e; (F2)形成阻挡金属膜; (G1)步骤f; (G2)形成导电金属插头; (H1)步骤g; (H2)分离节点; (I1)步骤h; (I2)切割晶片; (J1)步骤i; (J2)分离各向异性薄膜; (KK)结束

    경질 올레핀 분리를 위한 치환탈착공정
    13.
    发明授权
    경질 올레핀 분리를 위한 치환탈착공정 有权
    用于轻油分离的位移解吸过程

    公开(公告)号:KR101470675B1

    公开(公告)日:2014-12-08

    申请号:KR1020100082775

    申请日:2010-08-26

    Abstract: 본발명은에틸렌, 프로필렌등의경질올레핀을포함하는혼합가스로부터올레핀(에틸렌, 프로필렌등)과올레핀제거된혼합가스(에탄, 프로판, 수소, 메탄, 질소등)을분리하기위한방법과장치에관한것이다. 본공정은올레핀을선택적으로흡착하는흡착제가충전된흡착탑으로올레핀함유혼합가스를올레핀을흡착하고올레핀이외의가스를탑 출구로배출하여분리하고, 흡착된올레핀은탈착제 (C4 탄화수소, C5 탄화수소, C6 탄화수소등)를사용하여치환탈착한다음에올레핀과탈착제를증류로분리하여고순도의올레핀을생산한다. 본장치는올레핀을선택적으로흡착하는흡착제가충진된 2개이상의흡착탑과올레핀/탈착제, 올레핀제거혼합가스/탈착제의혼합물을분리하기위한 2개의증류탑으로이루어진다. 본장치의흡착탑기본운전공정은원료중의올레핀을선택적으로흡착하는흡착단계, 올레핀과같이소량흡착된파라핀혼합가스를제거하기위한올레핀세정단계, 탈착제를이용한올레핀탈착단계로이루어지며, 올레핀세정단계의배가스에포함된올레핀의농도가원료중의올레핀농도보다높을시에이를회수하기위하여흡착단계의앞 또는뒤에회수단계가추가된다.

    그라파이트 산화물 및 그래핀 나노시트 제조 방법
    14.
    发明授权
    그라파이트 산화물 및 그래핀 나노시트 제조 방법 有权
    石墨氧化物和石墨烯纳米片的制备方法

    公开(公告)号:KR101419340B1

    公开(公告)日:2014-07-15

    申请号:KR1020120039613

    申请日:2012-04-17

    Abstract: 본 발명은 그라파이트 산화물 및 그래핀 나노시트 제조 방법에 관한 것으로, 그라파이트 1g당 10~500ml의 황산과 그라파이트 1g당 1~100ml의 인산을 혼합한 후, 과망간산칼륨과 과산화수소를 첨가하여 동결건조시켜 제조되는 것을 특징으로 한다.
    본 발명에 의하면 그라파이트 합성시 발생되는 반응열을 용이하게 제어할 수 있고,합성된 그라파이트 산화물의 자연적 환원을 방지하여 노란색의 그라파이트 산화물 분말이 건조 후 유지될 수 있는 장점이 있다.

    황산화물 함유 고비점 유분으로부터 황산화물을 분리 제거하는 방법
    15.
    发明授权
    황산화물 함유 고비점 유분으로부터 황산화물을 분리 제거하는 방법 有权
    从含有硫化物的高沸点物料分离硫磺的方法

    公开(公告)号:KR101336266B1

    公开(公告)日:2013-12-05

    申请号:KR1020110139059

    申请日:2011-12-21

    Abstract: 본 발명은 산화탈황공정에서 생성된 황산화물 함유 고비점 유분으로부터 황산화물을 분리 제거하는 방법으로서, (S1) 황산화물 함유 고비점 유분에 추출 용매를 공급하여 미반응 산화제 및 산화반응 부산물을 제거하는 추출 단계로서, 상기 추출 용매가 메탄올 또는 아세토나이트릴인 것을 특징으로 하는 추출 단계; (S2) 상기 추출 용매를 증류에 의해 제거하는 추출 용매 제거 단계; 및 (S3) 흡착제를 사용하여 황산화물 함유 고비점 유분 내 황산화물을 흡착 분리하는 흡착 단계를 포함하는 황산화물 함유 고비점 유분으로부터 황산화물을 분리 제거하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따라, 고비점 유분에 특화된 황산화물 분리 공정에서 메탄올 또는 아세토나이트릴을 추출 용매로 사용한 추출 단계 및 추출 용매 제거 단계를 흡착 단계 이전에 수행하면 경제적인 방식으로 황 농도 10 ppm 이하의 고비점 유분을 제조할 수 있다.

    연속적 황산화물 흡착 제거 공정용 탈착제 및 이를 이용하여 탄화수소 스트림으로부터 황산화물을 제거하는 방법
    17.
    发明公开
    연속적 황산화물 흡착 제거 공정용 탈착제 및 이를 이용하여 탄화수소 스트림으로부터 황산화물을 제거하는 방법 有权
    用于连续吸附去除氧化化合物的方法的吸附剂,以及使用该化合物从烃类流体中除去氧化的化合物的方法

    公开(公告)号:KR1020130042262A

    公开(公告)日:2013-04-26

    申请号:KR1020110106447

    申请日:2011-10-18

    Abstract: PURPOSE: A desorption material for a continuous sulfur oxide adsorption removal process and a method consecutively removing a sulfur oxide from a hydrocarbon stream using the same are provided to efficiently remove a sulfide from a hydrocarbon stream by maintaining the sulfur oxide adsorption quantity of an adsorption material highly in a continuous process repeating the adsorption and desorption of the sulfur oxide. CONSTITUTION: A desorption material for a continuous sulfur oxide adsorption removal process includes any one selected from a DME (dimethyl ether), a DMC (dimethyl carbonate), and a MTBE (methyl tertiary butyl ether), and a mixture thereof. The desorption material additionally includes hexane or benzene. The desorption is performed at 40~90>=, 1~20barg. The vaporization latent heat of the desorption material is below 500 kJ/kg. The boiling point is 120>= or less which is a sulfide oxidation temperature. A method consecutively removing a sulfur oxide from a hydrocarbon stream includes following steps. A step for absorbing the sulfur oxide from a hydrocarbon stream by using an adsorption material selectively adsorbing the sulfur oxide; a step for reproducing the adsorption material by detaching the adsorbed sulfur oxide with the desorption material; and a step for reusing by separating a desorption material from the detached sulfur oxide and the mixture of the desorption material.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于连续硫氧化物吸附去除方法的解吸材料和使用其从烃流中连续除去硫氧化物的方法,以通过保持吸附材料的硫氧化物吸附量来有效地从烃流中除去硫化物 高度连续地重复硫氧化物的吸附和解吸。 构成:用于连续硫氧化物吸附去除方法的解吸材料包括选自DME(二甲醚),DMC(碳酸二甲酯)和MTBE(甲基叔丁基醚)的任何一种及其混合物。 解吸材料另外包括己烷或苯。 解吸在40〜90> = 1〜20barg进行。 解吸材料的蒸发潜热低于500 kJ / kg。 沸点为120℃=或更低,这是硫化物氧化温度。 从烃流中连续除去硫氧化物的方法包括以下步骤。 通过使用选择性吸附硫氧化物的吸附材料从烃流吸收硫氧化物的步骤; 通过用解吸材料分离吸附的硫氧化物来再现吸附材料的步骤; 以及通过从分离的硫氧化物和解吸材料的混合物中分离解吸材料来再利用的步骤。

    미세조류의 합성가스 전환을 위한 초임계수 가스화장치 및 이를 이용한 합성가스 생산 방법
    19.
    发明公开
    미세조류의 합성가스 전환을 위한 초임계수 가스화장치 및 이를 이용한 합성가스 생산 방법 有权
    用于微藻的SYNGAS转换的超临界水加氢剂和使用其的SYNGAS生产方法

    公开(公告)号:KR1020110127495A

    公开(公告)日:2011-11-25

    申请号:KR1020100047012

    申请日:2010-05-19

    CPC classification number: Y02P20/544 C12M21/04 C12M27/02 C12M41/18 C12P3/00

    Abstract: PURPOSE: A supercritical water gasifier for conversion of microalgae to syngas is provided to enlarge biomass resource used for energy conversion. CONSTITUTION: A supercritical water gasifier for conversion of microalgae containing moisture into syngas comprises: a microalgae storage tank(21) for storing microalage with high water content; a microalgae supply tube(22) for moving the stored microalge to a supercritical reactor; a microalgae supplier(20) having a transfer pump(23) mounted at the channel of the microalgae supply tube; a reaction tank(31) which gasifies the microalgae under a supercritical condition; a furnace(32) for heating the reactor; and a supercritical reactor(30) having a syngas discharge tube(33).

    Abstract translation: 目的:提供用于将微藻转化为合成气的超临界水气化器,用于扩大用于能量转化的生物质资源。 构成:用于将含有水分的微藻转化为合成气的超临界水气化器包括:用于储存具有高含水量的微量的微藻储罐(21) 微藻供应管(22),用于将所存储的微层移动到超临界反应器; 具有安装在微藻供应管的通道处的转移泵(23)的微藻供应器(20) 在超临界条件下使微藻气化的反应槽(31) 用于加热反应器的炉(32) 和具有合成气排放管(33)的超临界反应器(30)。

    높은 열적 안정성과 산소 흡착능을 가지는 산소 선택성 흡착제 및 이의 제조 방법
    20.
    发明公开
    높은 열적 안정성과 산소 흡착능을 가지는 산소 선택성 흡착제 및 이의 제조 방법 有权
    具有高分子吸附能力的氧气和热稳定性的氧气吸附剂及其制备方法

    公开(公告)号:KR1020110054992A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:KR1020090111836

    申请日:2009-11-19

    CPC classification number: B01J20/041 B01D53/02 B01J20/3078 B01J20/32

    Abstract: PURPOSE: An oxygen selective absorber and a method for preparing the same are provided to uniformly form a protective film on the surface of barium-contained compound using magnesium oxide. CONSTITUTION: Magnesium alkoxide is dissolved in alcohol in order to obtain magnesium oxide precursor solution. A barium-contained compound is dispersed in the magnesium oxide precursor solution in order to solate the dispersion solution. Distilled water is added to the solated dispersion solution in order to be gelated. The gelated dispersion solution is undergone a drying process and a sintering process.

    Abstract translation: 目的:提供氧选择性吸收剂及其制备方法,以使用氧化镁在含钡化合物的表面上均匀形成保护膜。 构成:将醇盐溶解在醇中以获得氧化镁前体溶液。 将含钡化合物分散在氧化镁前体溶液中以溶剂化分散液。 将蒸馏水加入到溶剂型分散液中,使其凝胶化。 凝胶化分散液经过干燥过程和烧结过程。

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