고주파 전자가속기의 자동 주파수 제어 장치 및 그 방법
    11.
    发明授权
    고주파 전자가속기의 자동 주파수 제어 장치 및 그 방법 有权
    自动频率控制系统及其射频线性加速器的方法

    公开(公告)号:KR101611232B1

    公开(公告)日:2016-04-12

    申请号:KR1020150042649

    申请日:2015-03-26

    Abstract: 본명세서는, 파장이짧은고주파를이용할때 발생되는위상지연의문제점을해소할수 있을뿐만아니라, 스텝핑모터를제어하여주파수를정밀하게제어할수 있는고주파전자가속기의자동주파수제어장치및 그방법에관한것으로서, 본발명의실시예에따른고주파전자가속기의자동주파수제어방법은, 고주파발진기를통해고주파대역의순방향신호와제1 기준고주파신호의차이인제1 중간주파수를발생하고, 고주파전자가속기의고주파가속관에서반사되는역방향신호와상기제1 기준고주파신호의차이인제2 중간주파수를발생하고, 상기제1 중간주파수의고주파전력과제2 중간주파수의고주파전력의차이값을발생하고, 상기차이값과제2 기준주파수의전력을비교하여일치하면상기일치하는전력에대응하는공진주파수를검출하고, 상기검출한공진주파수를근거로상기고주파발진기의주파수보정을위한스텝핑모터를제어하는단계를포함할수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于自动控制高频电子加速器的频率的装置和方法,其可以解决当使用具有短波长的高频时产生的相位延迟的问题,并且可以通过以下方式精确地控制频率 控制步进电机。 根据本发明的实施例的用于自动控制高频电子加速器的频率的方法可以包括以下步骤:产生对应于高频带的前向信号和第一基准之间的差的第一中间频率 高频信号通过高频振荡器; 产生对应于由高频电子加速器的高频加速管反射的反向信号与第一参考高频信号之间的差的第二中频; 产生第一中频高频电力与第二中间电力的高频电力之间的差值; 如果差值与第二基准频率的电力一致,则检测与一致电力对应的谐振频率; 以及基于检测到的谐振频率来控制用于校准高频振荡器的频率的步进电机。

    복수 에너지를 이용한 전자가속기, 이를 화물검사 장치 및 그 제어방법

    公开(公告)号:KR101519713B1

    公开(公告)日:2015-05-15

    申请号:KR1020130058291

    申请日:2013-05-23

    Abstract: 복수 에너지를 이용한 전자가속기, 이를 화물검사 장치 및 그 제어방법이 제시된다. 전자빔을 이용하여 이중에너지를 통한 검사를 수행하는 화물검사 장치에 사용되는 전자가속기는 전원부, 클락을 발생시키는 동기화 신호발생기, 상기 클락에 의해 RF 신호를 발생하며, 상기 전원부를 제어하는 RF 발생부, 상기 전원부의 입력정보에 따라 전자를 생성하는 전자 생성부, 및 상기 전자가 이동하는 통로를 제공하는 챔버를 포함하며, 상기 RF 발생부는 동일한 상기 클락 안에서 제1 레벨의 RF 신호와 상기 제1 레벨보다 낮은 크기의 제2레벨의 RF 신호에 의해 발생한 각각의 전자빔이 발진하도록 구성된다. 이에 따라, 한번의 에너지 조사로 검색 및 검사의 정확성이 유지될 수 있으며, 검색시간이 단축되는 등 검색/검사의 효율을 향상시킬 수 있어서 이중에너지를 이용하여 그 장점을 극대화할 수 있고, 별도의 장치를 부가함 없이 제어기법을 동원하여 정밀도 및 신속 검사가 가능하게 되어, 생산에 대한 원가 상승에 대한 부담없이도 검색및 검사의 처리량 및 검사 품질을 획기적으로 향상시킬 수 있다.

    검사장치 및 이를 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리
    13.
    发明授权
    검사장치 및 이를 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리 有权
    检查装置和水冷真空标签试验

    公开(公告)号:KR101428391B1

    公开(公告)日:2014-08-13

    申请号:KR1020130058292

    申请日:2013-05-23

    Abstract: Disclosed are an inspection device and a water cooled high vacuum target tree having the same. The water cooled high vacuum target tree is a target tree cooling a target while maintaining high vacuum for irradiation of an electron beam, and comprises an upper plate including a flow path part allowing cooling water to flow inside; and a lower plate connected with the upper plate and including a target groove receiving the target. The output of the target can be improved because a high vacuum for irradiation of the electron beam is maintained 10-8 torr or more, and the cooling water is circulated to cool the target.

    Abstract translation: 公开了一种检查装置和具有该检查装置的水冷高真空目标树。 水冷高真空目标树是在保持用于照射电子束的高真空的同时冷却目标物的目标树,并且包括具有允许冷却水在内部流动的流路部分的上板; 以及与上板连接并包括接收目标的目标凹槽的下板。 可以提高目标的输出,因为用于照射电子束的高真空度保持在10-8托或更高,并且冷却水循环以冷却目标。

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