Abstract:
A microfluidic system is provided to operate it through simple manipulation and to realize miniaturization by grafting a nano gap sensor with a microfluidic chip and to perform all process in a short reaction time by suing only nanogram of samples. A microfluidic system for practical running of a nano gap device comprises a nano gap sensor where an acceptor modified on the surface of a nano gap electrode; a sample inlet for introducing the solution for analyzing; a micro channel which is connected to the sample inlet and provides the channel of the solution introduced through the sample inlet; and a microfluidic chip formed with a sample outlet arranged in the end of the micro channel.
Abstract:
본 발명은 나노부품 및 그에 따른 나노부품, 및 나노기계 등의 제작방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 포토리소그라피 또는 전자빔 리소그라피를 이용하여 기판 위에 그리드를 인쇄하고, 그리드 부위에 나노판 수용액을 분사하여 나노판을 위치시키며, 기판 및 그 기판 위에 위치한 나노판의 상부에 일정 두께의 보호막을 증착하고, 집속 이온빔 또는 전자빔 리소그라피를 이용하여 보호막이 증착된 나노판을 식각한 후, 보호막 제거제를 사용하여 잔여 보호막을 제거함으로써 나노부품을 제조하는 방법 및 나아가 이러한 나노부품을 나노탐침에 의해 이동 및 조립함으로써 나노기계 또는 나노구조체 등을 제작하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 우수한 재질의 나노부품을 저렴한 비용으로 비교적 간단하게 제조하는 방법 및 이러한 나노부품이나 생체분자 등을 결합하여 나노기계 등을 구현하는 방법을 제공한다. 나노판, 나노부품, 나노기계, 나노시스템, 이온식각, 나노기어, 나노활자, 나노탐침
Abstract:
본 발명은 나노부품 및 그에 따른 나노부품, 및 나노기계 등의 제작방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 포토리소그라피 또는 전자빔 리소그라피를 이용하여 기판 위에 그리드를 인쇄하고, 그리드 부위에 나노판 수용액을 분사하여 나노판을 위치시키며, 기판 및 그 기판 위에 위치한 나노판의 상부에 일정 두께의 보호막을 증착하고, 집속 이온빔 또는 전자빔 리소그라피를 이용하여 보호막이 증착된 나노판을 식각한 후, 보호막 제거제를 사용하여 잔여 보호막을 제거함으로써 나노부품을 제조하는 방법 및 나아가 이러한 나노부품을 나노탐침에 의해 이동 및 조립함으로써 나노기계 또는 나노구조체 등을 제작하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 우수한 재질의 나노부품을 저렴한 비용으로 비교적 간단하게 제조하는 방법 및 이러한 나노부품이나 생체분자 등을 결합하여 나노기계 등을 구현하는 방법을 제공한다. 나노판, 나노부품, 나노기계, 나노시스템, 이온식각, 나노기어, 나노활자, 나노탐침
Abstract:
A nano particle detector sensor using a nanogap electrode is provided to increase the reliability and reproducibility but reduce the detection time. A nano particle detector sensor using a nanogap electrode comprises a pair of electrodes(101,102) separated each other to have a nanogap with a unit electrode(110). The nano particle is detected by the nano particle caught by the nanogap. The nano particle detector sensor has a unit consisting of a plurality of unit electrodes electrically operating independently. The nano particle is analyzed from the number of the electrically changed unit electrode by the nano particle caught by the nanogap. The size of the nanogap is controlled in order to analyze the size of the nano particle.