-
11.发明授权광소자 회전형 분광타원계측기 및 광소자 회전형 분광타원계측기의 측정 정밀도 예측 방법, 이를 구현하기 위한 프로그램이 저장된 기록매체 및 이를 구현하기 위해 매체에 저장된 컴퓨터프로그램 有权旋转元件光谱仪和旋转元件光谱仪测量精度预测方法，以及用于执行旋转元件光谱仪的记录介质存储程序和记录中继存储程序执行相同
公开(公告)号：KR101590389B1
公开(公告)日：2016-02-02
申请号：KR1020140180875
申请日：2014-12-16
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01J3/447 , G01J4/04 , G01N21/211 , G01N2021/213
Abstract: 본발명은광소자회전형분광타원계측기및 광소자회전형분광타원계측기의측정정밀도예측방법, 이를구현하기위한프로그램이저장된기록매체및 이를구현하기위해매체에저장된컴퓨터프로그램에관한것으로서, 보다상세하게는시편에대한타원계측매개변수들의표준편차에대한이론식을근거로광소자회전형분광타원계측기의측정정밀도를계산하는광소자회전형분광타원계측기및 광소자회전형분광타원계측기의측정정밀도예측방법, 이를구현하기위한프로그램이저장된기록매체및 이를구현하기위해매체에저장된컴퓨터프로그램을제공하고자하는것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用旋转光学装置的分光椭偏仪，由使用旋转光学装置的分光椭偏仪使用的测量精度估计方法，存储用于实施该方法的程序的记录介质和存储在介质中的计算机程序 实行相同 更具体地，本发明基于关于样品的椭偏参数的标准偏差的理论公式，计算使用旋转光学装置的分光椭偏仪的测量精度的比率。
-
公开(公告)号：KR1020110035811A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：KR1020100005358
申请日：2010-01-20
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A method for measuring a Fourier coefficient using an integrating photometric detector is provided to measure in an optimum condition by temporarily controlling integration time depending on the intensity of light. CONSTITUTION: A method for measuring a Fourier coefficient using an integrating photometric detector is as follows. An integrating photometric detector is prepared. The amount of exposure is measured for a cycle at uniform intervals using the integrating photometric detector. The normalized Fourier coefficient of light waveform is determined. A discrete Fourier transform is performed and is determined by using the determined Fourier coefficient.
Abstract translation: 目的：提供一种使用积分光度检测器测量傅里叶系数的方法，通过暂时根据光强度控制积分时间，在最佳条件下进行测量。 构成：使用积分光度检测器测量傅立叶系数的方法如下。 制备积分光度检测器。 使用积分光度检测器以均匀的间隔测量曝光量。 确定光波形的归一化傅立叶系数。 执行离散付里叶变换并通过使用所确定的傅里叶系数来确定。
-
公开(公告)号：KR1020100061222A
公开(公告)日：2010-06-07
申请号：KR1020080120134
申请日：2008-11-28
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/21 , G01N21/552
CPC classification number: G01N21/553 , G01N2021/212
Abstract: PURPOSE: A multi-channel surface plasmon resonance measure system using a beam profile ellipsometer is provided to measure a junctional characteristic and a dynamic characteristic of a biomass in real time by measuring plasmon resonance measurement and ellipsometer phase change according to an angular change and a location change by measuring a light amplitude and phase together. CONSTITUTION: A multi-channel surface plasmon resonance measure system using a beam profile ellipsometer comprises: a vertical incident focused-beam ellipse meter which polarizes light and measures the ellipse meter phase change by detecting the polarized light reflected with focusing the partial polarized light to a metallic foil(42) including a multi-channel from an object lens; a surface plasmon resonance sensor(40) which is arranged in the object lens of the focus-beam ellipse meter and generates a surface plasmon resonance by the angular variation of the polarized light; and a multi-channel flow path(1) which supplies buffer solution including the biomass which generates adsorption or desorption to the metallic foil. The surface plasmon resonance and the ellipse meter phase change by the angular variation and the wavelength change are detected at the same time.
Abstract translation: 目的：提供使用光束轮廓椭偏仪的多通道表面等离子体共振测量系统，通过根据角度变化和位置测量等离子体共振测量和椭偏仪相位来实时测量生物质的连接特性和动态特性 通过一起测量光振幅和相位来改变。 构成：使用光束轮廓椭偏仪的多通道表面等离子体共振测量系统包括：垂直入射聚焦光束椭圆计，其使光偏振并且通过检测通过将部分偏振光聚焦到一个反射的偏振光来测量椭圆表相变 金属箔（42），其包括来自物镜的多通道; 表面等离子体共振传感器（40），其布置在聚焦光束椭圆计的物镜中，并通过偏振光的角度变化产生表面等离子体共振; 以及多通道流路（1），其向所述金属箔供给包含生物质的缓冲溶液，所述生物质产生吸附或解吸附。 同时检测表面等离子体共振和椭圆表相位随角度变化和波长变化的变化。
-
公开(公告)号：KR100574776B1
公开(公告)日：2006-04-28
申请号：KR1020040002880
申请日：2004-01-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/21
CPC classification number: G01J3/447 , G01J4/04 , G01N21/211
Abstract: 본 발명은 분광결상을 이용하는 타원계측장치 및 타원계측방법에 관한 것으로, 시료의 표면에 지정/구획된 다점영역으로 해당 다점영역에 맞게 시준하고 편광시킨 백색광을 입사시키기 위한 광원 그룹과, 반사되는 백색광을 광분석을 위해 편광시키는 광분석 그룹과, 편광된 백색광을 분광/결상시키기 위한 분광결상 그룹을 포함하여 구성됨이 특징이 있다. 특히 분광결상 그룹에는 다점영역에 맞게 시준된 백색광이 입사되고, 분광소자에 의해 파장별로 분광되므로, 결상면의 한축에는 다점영역을 이루는 각 지점의 위치별로 결상되고, 다른 한축에는 파장별로 결상되어 위치별/파장별 물성정보를 갖는 광학 데이터의 수득이 가능하다. 따라서 다점영역의 물성 정보를 동시에 획득하고, 또한 파장별로 분광하여 획득하는 등의 풍부한 데이터의 획득이 가능하여 측정의 신속성과 신뢰성 제고의 효과가 있다.
분광, 결상, 타원계측, 다점영역, 파장-
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101270260B1
公开(公告)日：2013-05-31
申请号：KR1020110081475
申请日：2011-08-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 특정한 편광성분을 갖고 있는 광이 시료에 입사되었을 때 입사광이 시료에 의해 반사 또는 투과되면서 발생하는 편광상태의 변화를 다수의 파장들에 대하여 측정 및 분석함으로써 시료의 물성 및 나노 패턴 형상 등의 정보를 실시간으로 얻어낼 수 있는 실시간 분광타원계측기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 실시간 분광타원계측기는 종래의 광소자 회전형 다채널 분광타원계측기들에서 광원 및 광검출기의 편광 의존성, 보상기의 파장 의존성, 노광량 측정횟수를 고정하여 사용함에 따른 적분시간 변경 제약의 문제점 등을 해결하기 위해 안출된 것으로서 종래의 기술 보다 정확하고 정밀하며 빠르게 시료의 특성을 측정할 수 있도록 구조와 기능이 개선된 장점을 갖고 있다. 본 발명에 따른 다채널 분광타원계측기는 종래 기술의 편광자 회전형 다채널 분광타원계측기들의 광경로 중에서 광원 이후에 정지상태의 편광자를 추가함으로서 광원을 선편광으로 만들어서 광원의 잔류편광 문제를 해결하고자 하였으며 종래 기술의 검광자 회전형 다채널 분광타원계측기들의 광경로 중에서 다채널 분광기 이전에 정지상태의 편광자를 추가로 설치하여 선편광된 광을 광검출기에 전달함으로써 광검출기의 편광 의존성 문제를 해결하고자 고안된 것이다. 또한, 본 발명은 측정주기 및 측정 주기당 노광량 측정수를 컴퓨터 소프트웨어로 빠르고 용이하게 변경할 수 있도록 디지털 신호 변조장치를 포함하며 측정된 푸리에 계수들 중에서 상대적으로 신호 대 잡음 비가 우수한 것을 제한적으로 선택하여 타원계측함수를 얻도록 함으로서 측정 정밀도가 향상되는 것을 특징으로 하는 다채널 분광타원계측기이다.
-
公开(公告)号：KR1020130019495A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：KR1020110081475
申请日：2011-08-17
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/211 , G01N2021/213 , G06F17/141
Abstract: PURPOSE: An optical diode-rotary type ellipsometer and a method for measuring properties of a specimen using the same are provided to measure a Fourier coefficient with respect to the intensity of a waveform more easily by controlling the number of the measurement of integral time and exposure according to the intensity of lights. CONSTITUTION: An ellipsometer comprises a light source(110), a polarization modulating unit, a specimen holder(210), a polarization analyzing unit, and a digital signal modulating device. The digital signal modulating device is connected to an optical diode unit of the polarization modulating unit or polarization analyzing unit, thereby controlling the number of the exposure measurement of an optical detector.
Abstract translation: 目的：提供一种光二极管旋转型椭偏仪和用于测量使用其的样本的性质的方法，通过控制积分时间和曝光的测量次数来更容易地测量相对于波形强度的傅里叶系数 根据灯光的强度。 构成：椭偏仪包括光源（110），偏振调制单元，样本保持器（210），偏振分析单元和数字信号调制装置。 数字信号调制装置连接到偏振调制单元或偏振分析单元的光二极管单元，从而控制光学检测器的曝光测量的数量。
-
公开(公告)号：KR101105328B1
公开(公告)日：2012-01-16
申请号：KR1020090113164
申请日：2009-11-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N33/483 , G01N21/21 , G01N35/00
CPC classification number: G01N21/211 , B01L3/502715 , B01L2300/0654 , B01L2400/086 , Y10T436/143333 , Y10T436/144444
Abstract: 본 발명은 액침 미세유로 환경하에서 유전체 박막에 형성된 바이오물질의 흡착층에 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되도록 입사시킴으로써 완충용액에 의한 굴절률 변화에 거의 영향을 받지 않고 저분자 바이오물질의 흡착 및 해리 동특성을 고감도로 측정할 수 있는 장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것이다. 이를 위해, 지지대와, 지지대상에 형성된 반도체 또는 유전체로 이루어진 기판과, 기판상에 형성된 유전체 박막과, 입사창과 반사창이 일측과 타측에 각각 구비되어 지지대상에 설치된 덮개부로 이루어지고, 지지대 및 지지대와 덮개부 사이에 미세유로가 형성된 미세유로 구조체; 미세유로에 저분자 바이오물질의 시료가 포함된 완충용액을 주입하여 유전체 박막에 시료의 흡착층을 형성시키는 시료주입부; 입사창을 통해 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되는 입사각으로 흡착층에 조사하는 편광발생부; 및 흡착층의 반사광이 반사창을 통해 입사되고, 반사광의 편광 변화를 검출하는 편광검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 흡착 및 해리 동특성 측정장치가 제공된다.
액침, 미세유로, 바이오물질, 흡착 및 해리 동특성, 흡착, 해리, p파 무반사, 반도체 기판, 유전체 박막, 반도체 산화막-
公开(公告)号：KR101091967B1
公开(公告)日：2011-12-09
申请号：KR1020100005358
申请日：2010-01-20
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은주기적으로변하는광신호세기에대해적분형광검출기(integrating photometric detector)로실시간측정하였을때에그 파형을분석하는종래의방법에서연산식의복잡성, 판독시간(read time)에대한근사보정, 적분시간(integration time)의제한적가변성등의문제점들을개선하기위하여안출된것으로, 임의의적분시간과특정한판독시간에대해서온전하게보정된노광량계산법과이산푸리에변환(discrete Fourier transform)을사용함으로써근사없이정규화된푸리에계수(normalized Fourier coefficient)를구하는방법을제시한다. 본발명을반도체및 디스플레이산업체에서많이사용되고있는광부품회전형타원계측기에적용한다면광세기에따라서적분시간이조절가능하여최적의조건에서측정할수 있으며약 2배정도빠른측정이가능하다. 본발명을산업체에서활용할경우에고속측정이가능하므로생산성이증대되며보다정확한데이터획득방법을사용하였으므로종래의기술보다신뢰성이향상되는장점들이있다.
-
公开(公告)号：KR101036455B1
公开(公告)日：2011-05-24
申请号：KR1020090053593
申请日：2009-06-16
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/211 , G02B27/143
Abstract: 본 발명은 하프 미러(half mirror)를 이용한 타원계측기(Ellipsometer using Half Mirror)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 종래의 수직 입사형 초점 타원계측기에서 처럼 빛의 일부는 투과시키고 일부는 반사시키는 사각 프리즘형 또는 유리평판형 등의 광분할기를 사용하는 대신에 하프미러로 대물렌즈의 반쪽으로 빛을 전부 반사시키고 대물렌즈 초점의 반쪽으로부터 반사된 빛이 광분할기를 통과하지 않고 바로 광검출기로 검출되도록 함으로써 광분할기에 의한 광간섭 현상이 제거되고 광량은 최대 4배 정도 증가됨으로써 나노 박막 또는 나노 패턴 등의 시편들의 물성을 보다 정확하고 정밀하게 측정 및 분석할 수 있도록 하는 하프 미러를 이용한 타원계측기에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명의 하프 미러를 이용한 타원계측기는 평행광을 방출하는 광원장치(210); 상기 광원장치(210)로부터 방출된 평행광을 선편광 상태로 만드는 선편광자(220); 상기 선편광자(220)를 투과한 빛을 반사하는 하프 미러(230); 상기 하프 미러(230)로부터 반사된 빛을 시편(250)에 집중 조사시키는 대물렌즈(240); 상기 시편(250)으로부터 반사된 후 상기 대물렌즈(240)를 통과한 빛에서 특정 방향의 선편광 상태의 빛만 투과하는 검광자(260); 상기 검광자(260)를 투과한 빛의 세기를 전압 또는 전류와 같은 전기적 신호로 검출하는 광검출기(270); 상기 광검출기(270)에 의해 검출된 전기적 신호를 각각의 입사각들에 대해서 180°의 다중 입사면 경로를 따라 상기 광검출기(270)의 단위소자(pixel)에 해당되는 값으로 보정 하여 연산처리하는 연산처리장치(280)를 포함하여 이루어진다.
타원계측기, 하프 미러, 대물렌즈, 초점, 반쪽, 광간섭, 방지
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
41
records
(took 0.039 seconds)
