-
-
公开(公告)号：KR1020170140148A
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：KR1020170171497
申请日：2017-12-13
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C23C14/3407 , C23C14/06 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/12 , C23C14/14 , C23C14/3414 , C23C14/3471 , H01B1/04 , H01B1/124
Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.
Abstract translation: 用于RF氟化聚合物复合物靶溅射按照金属电极之间的本发明yiwoosu结合力用于施加电压，能够抑制翘曲，能够提高通过施加导电防止和含氟聚合物的优异的介电击穿形成的等离子体 可以指示沉积速率。
-
公开(公告)号：KR1020170138722A
公开(公告)日：2017-12-18
申请号：KR1020160070885
申请日：2016-06-08
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은스퍼터링용불소계고분자복합타겟의부착방법및 이로부터제조된장치에관한것으로, 본발명에따르면전극면에접합되는불소계고분자복합타겟에전도성을부여함으로써전극과의접착력을획기적으로개선하였으며, 탭가공을통해강한에너지에의해발생되는타겟의변형을최소화하여보다안정적으로플라즈마형성이가능하고, 단시간내에대면적박막의제조가가능한롤투롤공정의구현을가능케한다.
Abstract translation: 本发明涉及从附着和溅射对象的基于氟的聚合物化合物中的方法制造的装置中，根据本发明的通过给导电性，其中键合到电极表面被显着地提高在电极之间的粘合力的含氟聚合物复合物靶， 通过使通过轻敲产生的强能量引起的靶的变形最小化，并且实现能够在短时间内制造大面积薄膜的卷对卷（roll-to-roll）工艺，可以更稳定地形成等离子体。
-
公开(公告)号：KR101719520B1
公开(公告)日：2017-03-24
申请号：KR1020150130675
申请日：2015-09-16
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은수분에대한배리어성이탁월할뿐 아니라우수한유연성, 투명성및크랙방지효과를가지는탄화불소박막을포함하는다층배리어필름및 향상된플라즈마형성이가능하여높은증착율로탄화불소박막을포함하는배리어필름의제조가가능한이의제조방법을제공하는것이다.
-
公开(公告)号：KR1020160092897A
公开(公告)日：2016-08-05
申请号：KR1020150099822
申请日：2015-07-14
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明，用于溅射的含氟聚合物复合靶在与施加电压有关的金属电极附着时是优异的，并且防止弯曲形成。 另外，通过施加电导率，即使在工业中广泛使用的直流（DC）和中频（MF）电源系统，等离子体也能够稳定地产生。 因此，可以提供含氟聚合物复合靶，使得能够有效地将氟聚合物溅射沉积到基底上。 为此，通过模塑含有选自氟聚合物，导电性粒子，导电性聚合物和金属成分中的至少一种官能剂的混合物来制造含氟聚合物复合靶。
-
Patent Agency Ranking
-
公开(公告)号：KR1020170127396A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：KR1020170149120
申请日：2017-11-10
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的用于溅射的氟基聚合物复合靶可以改善与施加有电压的金属电极的结合力，抑制翘曲的发生并提供导电性，从而稳定地形成等离子体 可以提供能够通过溅射有效地在被粘物上沉积氟基聚合物的氟基聚合物复合靶。
-
公开(公告)号：KR1020170102858A
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：KR1020170111191
申请日：2017-08-31
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C23C14/3407 , C23C14/06 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/12 , C23C14/14 , C23C14/3414 , C23C14/3471 , H01B1/04 , H01B1/124
Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.
-
公开(公告)号：KR1020170099053A
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：KR1020160020926
申请日：2016-02-23
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은발수발유코팅막및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게기재표면에발수와발유특성을동시에가지는투명성이우수한발수발유코팅막및 이의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明的斥油性涂膜，其涉及一种方法，其制备，以一个更具体透明度yiwoosu对护理人员有机涂膜和具有同时拒水和拒油性质到基板表面的方法。
-
公开(公告)号：KR1020160092948A
公开(公告)日：2016-08-05
申请号：KR1020160010486
申请日：2016-01-28
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明，用于溅射的含氟聚合物复合靶具有优异的与施加电压相关的金属电极的粘附性，并且防止弯曲形成。 此外，即使通过施加电导率而在工业中广泛使用的直流（DC）和中频（MF）电源系统也能够稳定地产生等离子体。 因此，可以提供含氟聚合物复合靶，使得能够有效地将氟聚合物溅射沉积到基底上。 为此，含氟聚合物复合靶材通过模制含有含氟聚合物和导电功能剂的混合物来制造。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
28
records
(took 0.024 seconds)
