증착용 불소계고분자 복합 타겟
    15.
    发明公开
    증착용 불소계고분자 복합 타겟 无效
    用于沉积的氟聚合物复合材料目标

    公开(公告)号:KR1020160092896A

    公开(公告)日:2016-08-05

    申请号:KR1020150099731

    申请日:2015-07-14

    Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明,用于射频(RF)溅射的含氟聚合物复合靶具有优异的与施加电压相关的金属电极的粘合性; 并防止弯曲形成。 此外,通过施加电导率也可以产生更加增强的等离子体。 因此,氟聚合物复合材料靶材防止含氟聚合物的电击穿,同时显示出优异的沉积速率。 为此,通过模塑含有选自氟聚合物,导电颗粒,导电聚合物,金属组分和金属化合物中的至少一种官能剂的混合物来制备含氟聚合物复合靶。

    증착용 불소계고분자 복합 타겟
    18.
    发明公开
    증착용 불소계고분자 복합 타겟 审中-实审
    氟基聚合物复合靶

    公开(公告)号:KR1020170127396A

    公开(公告)日:2017-11-21

    申请号:KR1020170149120

    申请日:2017-11-10

    Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.

    Abstract translation: 根据本发明的用于溅射的氟基聚合物复合靶可以改善与施加有电压的金属电极的结合力,抑制翘曲的发生并提供导电性,从而稳定地形成等离子体 可以提供能够通过溅射有效地在被粘物上沉积氟基聚合物的氟基聚合物复合靶。

    증착용 불소계고분자 복합 타겟
    20.
    发明公开
    증착용 불소계고분자 복합 타겟 审中-实审
    用于沉积的氟聚合物复合材料目标

    公开(公告)号:KR1020160092948A

    公开(公告)日:2016-08-05

    申请号:KR1020160010486

    申请日:2016-01-28

    Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明,用于溅射的含氟聚合物复合靶具有优异的与施加电压相关的金属电极的粘附性,并且防止弯曲形成。 此外,即使通过施加电导率而在工业中广泛使用的直流(DC)和中频(MF)电源系统也能够稳定地产生等离子体。 因此,可以提供含氟聚合物复合靶,使得能够有效地将氟聚合物溅射沉积到基底上。 为此,含氟聚合物复合靶材通过模制含有含氟聚合物和导电功能剂的混合物来制造。

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