나노 세공체 함유 유기 필름층을 갖는 기체 차단용 적층 필름, 이의 제조방법 및 용도
    11.
    发明公开
    나노 세공체 함유 유기 필름층을 갖는 기체 차단용 적층 필름, 이의 제조방법 및 용도 审中-实审
    专利申请标题:具有含纳米多孔体的有机薄膜层的气体阻隔性层压薄膜

    公开(公告)号:KR1020170114382A

    公开(公告)日:2017-10-16

    申请号:KR1020160041065

    申请日:2016-04-04

    Abstract: 본발명은적용대상물품맞춤형기체차단용적층필름의제조방법에관한것으로, 상기차단하고자하는기체를흡착할수 있고, 기체차단용적층필름을물품에적용할때의온도및/또는압력에서흡착되어있는흡착물이 70% 이상제거될수 있는나노세공체를선정하는제1단계; 및차단하고자하는기체에노출되는제1면과물품에인접되는제2면을가진기체차단용적층필름을제1면측부터, 상기기체의투과를차단하는치밀구조의무기필름층; 및상기무기필름층에서차단되지아니하고투과된기체를흡착할수 있는, 제1단계에서선정된나노세공체및 바인더수지를함유하는유기필름층의순서로적층시키되, 유기필름층의제2면에는상기기체의투과를차단하는치밀구조의무기필름층없이제조하는제2단계를포함하는것이특징이다.

    Abstract translation: 本发明适用于制品涉及制造定制基阻气体积层膜的方法,和可以吸附所述气体截止,其被吸附在温度和/或压力在施加气体以阻止物品上的体积层膜的时间 选择能够去除70%或更多吸附材料的纳米多孔材料的第一步骤; 和阻气性膜层的体积与第二表面,其邻近于所述第一表面和所述物品暴露于所述气体从所述第一面侧到框,在致密结构阻挡基底膜,所述无机层的传送; 和sikidoe层压在含有纳米多孔材料的有机薄膜层的顺序,并从可吸附透过气体也不在无机薄膜层被阻挡的第一步骤中选择的粘合剂树脂,所述有机薄膜层的第二表面, 并且第二步,制备不具有致密结构的无机膜层阻止气体渗透的多层膜。

    증착용 불소계고분자 복합 타겟
    12.
    发明公开
    증착용 불소계고분자 복합 타겟 无效
    用于沉积的氟聚合物复合材料目标

    公开(公告)号:KR1020160092897A

    公开(公告)日:2016-08-05

    申请号:KR1020150099822

    申请日:2015-07-14

    Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明,用于溅射的含氟聚合物复合靶在与施加电压有关的金属电极附着时是优异的,并且防止弯曲形成。 另外,通过施加电导率,即使在工业中广泛使用的直流(DC)和中频(MF)电源系统,等离子体也能够稳定地产生。 因此,可以提供含氟聚合物复合靶,使得能够有效地将氟聚合物溅射沉积到基底上。 为此,通过模塑含有选自氟聚合物,导电性粒子,导电性聚合物和金属成分中的至少一种官能剂的混合物来制造含氟聚合物复合靶。

    증착용 불소계고분자 복합 타겟
    16.
    发明公开
    증착용 불소계고분자 복합 타겟 无效
    用于沉积的氟聚合物复合材料目标

    公开(公告)号:KR1020160092896A

    公开(公告)日:2016-08-05

    申请号:KR1020150099731

    申请日:2015-07-14

    Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明,用于射频(RF)溅射的含氟聚合物复合靶具有优异的与施加电压相关的金属电极的粘合性; 并防止弯曲形成。 此外,通过施加电导率也可以产生更加增强的等离子体。 因此,氟聚合物复合材料靶材防止含氟聚合物的电击穿,同时显示出优异的沉积速率。 为此,通过模塑含有选自氟聚合物,导电颗粒,导电聚合物,金属组分和金属化合物中的至少一种官能剂的混合物来制备含氟聚合物复合靶。

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