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    DISPOSITIF MICROELECTRONIQUE ET/OU NANOELECTRONIQUE CAPACITIF A COMPACITE AUGMENTEE
    13.
    发明专利
    DISPOSITIF MICROELECTRONIQUE ET/OU NANOELECTRONIQUE CAPACITIF A COMPACITE AUGMENTEE 未知

    公开(公告)号：FR3021309A1

    公开(公告)日：2015-11-27

    申请号：FR1454734

    申请日：2014-05-26

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  JOET LOIC

    IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  H01G5/16

    Abstract: Dispositif à élément mobile (13) s'étendant suivant un plan donné comportant au moins une première (3), une deuxième (10) et une troisième (12) couches s'étendant dans des plans parallèles au plan donné, la première couche (3) formant un support, la deuxième couche (10) comportant tout ou partie de l'élément mobile (13) et des moyens de suspension (11) de l'élément mobile (13) par rapport au support et la troisième couche (12) comprenant tout ou partie des moyens capacitifs dont la capacité varie en fonction de la position relative de l'élément mobile (13) par rapport au support (3), lesdits moyens capacitifs comportant au moins une électrode mobile (14) solidaire d'une des faces de l'élément mobile (13) parallèle au plan donné, et au moins une électrode fixe (16) par rapport au support (3), les électrodes fixe et mobile étant disposées au moins en partie dans un même plan parallèle au plan donné et au moins en partie au-dessus et/ou en dessous de l'élément mobile (13).

    CAPTEUR DE CHAMP MAGNETIQUE A FORCE DE LAPLACE
    14.
    发明专利
    CAPTEUR DE CHAMP MAGNETIQUE A FORCE DE LAPLACE 未知

    公开(公告)号：FR2992066A1

    公开(公告)日：2013-12-20

    申请号：FR1255597

    申请日：2012-06-15

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  ETTELT DIRK ,  WALTHER ARNAUD

    IPC: G01R33/02

    Abstract: Capteur de champ magnétique à force de Laplace, dans lequel le capteur comporte une charnière (66) raccordant mécaniquement un levier (52) à un substrat (6), cette charnière (66) étant distincte de liaisons mécaniques (20, 22) d'une partie mobile de conducteurs électriques (8-13) et permettant la rotation du levier autour d'un axe de rotation. De plus, le levier est rigide pour permettre un effet de bras de levier et une partie (82) d'une jauge (76) est fixée sans aucun degré de liberté au substrat (6).

    18.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号：FR2917731B1

    公开(公告)日：2009-10-23

    申请号：FR0755992

    申请日：2007-06-25

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： ROBERT PHILIPPE

    IPC: B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  G01P15/08

    Abstract: The device has an excitation unit i.e. excitation electrode (14), exciting a beam type resonator (10). A detection unit comprises a suspended beam type strain gauge (11) made of piezo-resistive material, where the strain gauge includes a common plane with the resonator. The beam type strain gauge is connected to the resonator at a point that is situated outside of embedded portions (12, 13) to increase the stress observed by the beam type strain gauge. The beam type strain gauge comprises two parallel arms, where the resistive gauge is a silicon nanowire.

    19.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号：DE602004008331T2

    公开(公告)日：2008-05-08

    申请号：DE602004008331

    申请日：2004-12-14

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： ROBERT PHILIPPE

    IPC: B81B7/00 ,  G01P1/02 ,  H01L21/54 ,  H01L21/56 ,  H01L23/10

    Abstract: The micro-component has a hermetic micro-cavity (6) delimited by a cover comprising two layers (4, 7). A third layer (9) is disposed between the layers (4, 7). An additional micro-cavity (11) communicating with an opening in the layer (7) is disposed between the layers (4, 7). An additional opening adjacent to the cavity (11) is formed in the layer (9), offcentered with respect to an opening (5) and delimited by the layer (7). An independent claim is also included for a process of fabricating a hermetic micro-cavity of a micro-component.

    ACCELEROMETRE A POUTRE RESONANTE AVEC BRAS DE LEVIER ARTICULE EN ROTATION
    20.
    发明专利
    ACCELEROMETRE A POUTRE RESONANTE AVEC BRAS DE LEVIER ARTICULE EN ROTATION 未知

    公开(公告)号：FR2906038A1

    公开(公告)日：2008-03-21

    申请号：FR0608186

    申请日：2006-09-19

    Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： HENTZ SEBASTIEN ,  NGUYEN VALERIE ,  ROBERT PHILIPPE

    IPC: G01P15/02

    Abstract: L'invention concerne un accéléromètre micro-usiné utilisant une masse sismique mobile (10) suspendue par rapport au substrat par des liaisons élastiques (12, 14) autorisant seulement une translation dans son propre plan selon un axe sensible (Oy); la masse agit sur au moins un résonateur allongé (20), par l'intermédiaire d'une structure d'amplification d'effort associée à ce résonateur ; la structure d'amplification comporte un bras de levier rigide (30) dont une première extrémité (32) est reliée à la masse sismique par une liaison (36) ayant, dans le plan de la masse, une forte raideur dans la direction de l'axe sensible (Oy) et une faible raideur dans le sens perpendiculaire, et une deuxième extrémité é (34) est reliée à un point (A6) d'ancrage sur le substrat. La deuxième extrémité (32) du bras de levier est une pièce de tête rigide entourant le point d'ancrage (A6) et reliée à ce point d'ancrage par une liaison en rotation (38, 40) autour d'un centre de rotation (M) ; le résonateur a une extrémité fixée à la pièce de tête rigide en un point (B) tel que l'axe longitudinal du résonateur passe à une distance h, faible par rapport à la longueur L du bras de levier mais non nulle, du centre de rotation (M) de la liaison en rotation.

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