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公开(公告)号：DE112013003984B4
公开(公告)日：2021-12-02
申请号：DE112013003984
申请日：2013-08-09
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： MARUYAMA YOSHIHIRO , SHIBAYAMA KATSUMI , ITO MASASHI , HIROHATA TORU , KAMEI HIROKI
Abstract: Verfahren zum Herstellen eines Elements zur oberflächenverstärkten Raman-Streuung, wobei das Verfahren umfasst:einen ersten Schritt des Bildens eines Feinstrukturteils (24) mit einer Mehrzahl von Erhebungen (27) auf einer Hauptoberfläche (21a) eines Substrats (21);einen zweiten Schritt des Formens einer ersten Leitungsschicht (31) auf der Hauptoberfläche (21a) des Substrats (21) und dem Feinstrukturteil (24) durch ein erstes Gasphasenabscheidungsverfahren; undeinen dritten Schritt des Formens einer zweiten Leitungsschicht (32) für oberflächenverstärkte Raman-Streuung auf der ersten Leitungsschicht (31) durch ein zweites Gasphasenabscheidungsverfahren;wobei die erste und zweite Leitungsschicht (31, 32) durch dasselbe Material aufgebaut sind; undwobei das zweite Gasphasenabscheidungsverfahren eine höhere Anisotropie aufweist als das erste Gasphasenabscheidungsverfahren.
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公开(公告)号：DE112013004006B4
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：DE112013004006
申请日：2013-08-09
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： MARUYAMA YOSHIHIRO , SHIBAYAMA KATSUMI , ITO MASASHI , HIROHATA TORU , KAMEI HIROKI
Abstract: Element zur oberflächenverstärkten Raman-Streuung umfassend:ein Substrat (4) mit einer Hauptoberfläche (4a);ein Feinstrukturteil (7), der auf der Hauptoberfläche (4a) ausgebildet ist und eine Mehrzahl von Erhebungen (11) aufweist; undeine Leitungsschicht (6), die auf dem Feinstrukturteil (7) ausgebildet ist und einen optischen Funktionsteil (10) zum Erzeugen von oberflächenverstärkter Raman-Streuung bildet;wobei die Leitungsschicht (6) einen Basisteil aufweist, der entlang der Hauptoberfläche (4a) ausgebildet ist, und eine Mehrzahl von Vorsprüngen (62), die von dem Basisteil an jeweiligen den Erhebungen (11) entsprechenden Positionen vorstehen;wobei der Basisteil und die Vorsprünge (62) eine Mehrzahl von Spalten (G) in der Leitungsschicht (6) bilden, wobei jeder der Spalte (G) einen Zwischenraum, der graduell in der Vorsprungsrichtung der Erhebung (11) abnimmt, aufweist; undwobei die Spalte (G) entlang eines Teils der jeweiligen Erhebungen (11) ausgebildet sind und jeder der Spalte (G) den Zwischenraum aufweist, der graduell an beiden Endteilen abnimmt, gesehen in der Vorsprungsrichtung der Erhebungen (11).
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公开(公告)号：DE112013003984T5
公开(公告)日：2015-06-25
申请号：DE112013003984
申请日：2013-08-09
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： MARUYAMA YOSHIHIRO , SHIBAYAMA KATSUMI , ITO MASASHI , KAMEI HIROKI , HIROHATA TORU
Abstract: Ein SERS-Element 2 umfasst ein Substrat 21 mit einer Frontfläche 21a; einen Feinstrukturteil 24, der auf der Frontfläche 21a ausgebildet ist, der eine Mehrzahl von Säulen 27 aufweist, eine erste Leitungsschicht 31, die auf der Frontfläche 21a und dem Feinstrukturteil 24 ausgebildet ist, um die Frontfläche 21 und den Feinstrukturteil 24 durchgehend zu bedecken; und eine zweite Leitungsschicht 32, die auf der ersten Leitungsschicht 31 so ausgebildet ist, dass sie eine Mehrzahl von Spalten G1, G2 für oberflächenverstärkte Raman-Streuung bildet; während die erste und zweite Leitungsschicht 31, 32 durch dasselbe Material aufgebaut sind.
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14.发明公开SURFACE-ENHANCED RAMAN SCATTERING UNIT, AND METHOD FOR USING SAME 审中-公开OBERFLÄCHENVERSTÄRKTERAMANSTREUUNGSEINHEIT UND VERWENDUNGSVERFAHRENDAFÜR
公开(公告)号：EP2889606A4
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：EP13827629
申请日：2013-08-09
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI , ITO MASASHI , YOKINO TAKAFUMI , HIROSE MASAKI , YOSHIDA ANNA , OFUJI KAZUTO , MARUYAMA YOSHIHIRO
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01J3/02 , G01J3/12 , G01J3/44 , G01N2201/02 , G01N2201/0227 , G01N2201/06113
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15.发明公开SURFACE-ENHANCED RAMAN SCATTERING UNIT AND RAMAN SPECTROSCOPIC ANALYSIS METHOD 审中-公开表面增强RAM应用单元和拉曼光谱分析方法
公开(公告)号：EP2985595A4
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：EP14775968
申请日：2014-02-07
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： ITO MASASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , OFUJI KAZUTO , OYAMA HIROKI , MARUYAMA YOSHIHIRO
CPC classification number: G01N21/658
Abstract: A SERS unit 1A comprises a SERS element 2 having a substrate and an optical function part 20 formed on the substrate, the optical function part 20 for generating surface-enhanced Raman scattering; a measurement board 3 supporting the SERS element 2 upon measurement; and a holding part 4 mechanically holding the SERS element 2 in the measurement board 3.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：EP2889607A4
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：EP13828677
申请日：2013-08-09
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： MARUYAMA YOSHIHIRO , SHIBAYAMA KATSUMI , ITO MASASHI , HIROHATA TORU , KAMEI HIROKI
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2201/068
Abstract: A SERS element 3 comprises a substrate 4; a fine structure part 7 formed on a front face 4a of the substrate 4 and having a plurality of pillars 11; and a conductor layer 6 formed on the fine structure part 7 and constituting an optical function part 10 for generating surface-enhanced Raman scattering. The conductor layer 6 has a base part formed along the front face 4a of the substrate 4 and a plurality of protrusions protruding from the base part at respective positions corresponding to the pillars 11. The base part and the protrusions form a plurality of gaps G in the conductor layer 6, each of the gaps G having an interstice gradually decreasing in a direction perpendicular to the projecting direction of the pillar 11.
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17.发明公开SURFACE-ENHANCED RAMAN SCATTERING UNIT AND RAMAN SPECTROSCOPIC ANALYSIS METHOD 审中-公开表面增强拉曼散射单元和拉曼光谱分析程序
公开(公告)号：EP2985594A4
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：EP14775100
申请日：2014-02-07
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： ITO MASASHI , SHIBAYAMA KATSUMI , OFUJI KAZUTO , OYAMA HIROKI , MARUYAMA YOSHIHIRO
CPC classification number: G01N21/658 , B01L9/52 , B01L2200/18 , B01L2300/041 , B01L2300/0858 , G02B21/34
Abstract: A SERS unit 1A comprises a SERS element 2 having a substrate 21 and an optical function part 20 formed on the substrate 21, the optical function part 20 for generating surface-enhanced Raman scattering; a transportation board 3 supporting the SERS element 2 during transportation, the SERS element 2 being removed from the transportation board 3 upon measurement; and a holding part 4 having a pinching part 41 pinching the SERS element 2 in cooperation with the transportation board 3, and detachably holding the SERS element 2 in the transportation board 3.
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公开(公告)号：EP2290340A4
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：EP09746523
申请日：2009-05-07
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI , YOKINO TAKAFUMI , KASAHARA TAKASHI , ITO MASASHI , YOSHIDA ANNA
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0286 , G01J3/0297 , G01J2003/1213 , G02B5/1814 , G02B7/025 , Y10T156/10
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公开(公告)号：EP2287574A4
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：EP09746522
申请日：2009-05-07
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI , YOKINO TAKAFUMI , HIROSE MASAKI , ITO MASASHI
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0286 , G01J3/0297 , G01J2003/1213 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , G02B5/1861 , G02B7/025 , G02B27/4244
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20.发明公开
公开(公告)号：EP2884264A4
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：EP13827643
申请日：2013-08-09
Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK
Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI , ITO MASASHI , YOKINO TAKAFUMI , HIROSE MASAKI , YOSHIDA ANNA , OFUJI KAZUTO , MARUYAMA YOSHIHIRO , KASAHARA TAKASHI , KAWAI TOSHIMITSU , HIROHATA TORU , KAMEI HIROKI , OYAMA HIROKI
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2021/651
Abstract: A SERS element 2 comprises a substrate 21 having a front face 21 a; a fine structure part 24 formed on the front face 21a and having a plurality of pillars 27; and a conductor layer 23 formed on the fine structure part 24 and constituting an optical function part 20 for generating surface-enhanced Raman scattering. The conductor layer 23 has a base part 28 formed along the front face 21 a and a plurality of protrusions 29 protruding from the base part 28 at respective positions corresponding to the pillars 27. The base part 28 has a thickness greater than the height of the pillars 27.
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