公开(公告)号：FI20215609A1

公开(公告)日：2021-05-24

申请号：FI20215609

申请日：2019-09-09

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： SEITZ PETER ,  TEICHMANN HELMUT ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI

IPC: G01J3/26 ,  G02B5/28 ,  G02B26/00

Abstract: Provided is a control device for controlling a Fabry-Perot interference filter having a pair of mirror parts facing each other with an air gap therebetween and a pair of driving electrodes facing each other with the air gap therebetween, and having a distance between the pair of mirror parts changed in accordance with charges stored between the pair of driving electrodes. The control device includes: a first driving source that is controlled by using a current as a control parameter, and changes the distance between the pair of mirror parts; a second driving source that is controlled by using a voltage as a control parameter, and changes the distance between the pair of mirror parts; and a control unit that controls the first driving source and the second driving source in such a way that the distance between the pair of mirror parts is changed by a first driving source in a first region and the distance between the pair of mirror parts is changed by the second driving source in at least one part of an region other than the first region when an region including a maximum of the voltage in relation between the charges stored between the pair of driving electrodes, and the voltage between the pair of driving electrodes is defined as the first region.

公开(公告)号：DE112013002560T5

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：DE112013002560

申请日：2013-05-08

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI

IPC: G01J3/26 ,  G01J3/36

Abstract: Ein Spektralsensor 1A umfasst eine Interferenzfiltereinheit 20A, die eine Hohlschicht 21 und erste und zweite Spiegelschichten 22, 23 aufweist, und ein Lichterfassungssubstrat 30, das eine Licht-empfangende Oberfläche 32a zum Empfangen des durch die Interferenzfiltereinheit 20A übertragenen Lichts aufweist. Die Interferenzfiltereinheit 20A weist einen ersten Filterbereich 24 auf, welcher der Licht-empfangenden Oberfläche 32a entspricht, und einen ringförmigen zweiten Filterbereich 25, der den ersten Filterbereich 24 umgibt. Das Lichterfassungssubstrat 30 weist eine Vielzahl an Pad-Einheiten 33a auf, die in dem zweiten Filterbereich 25 enthalten sind, während der zweite Filterbereich 25 mit Durchgangslöchern 6 zum Freilegen der Pad-Einheiten 33a zur Außenseite ausgebildet ist.

公开(公告)号：DE112012004119T5

公开(公告)日：2014-07-10

申请号：DE112012004119

申请日：2012-09-10

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI

IPC: G01J3/26 ,  G01J3/36

Abstract: Ein spektroskopischer Sensor 1 umfasst eine Interferenzfiltereinheit 20, die eine Hohlraumschicht 21 und erste und zweite Spiegelschichten 22, 23 aufweist, die über die Hohlraumschicht 21 gegenüber voneinander angeordnet sind, zum selektiven Hindurchlassen von Licht in einem vorbestimmten Wellenlängenbereich gemäß einer diesbezüglichen Einfallsposition; ein Licht-durchlassendes Substrat 3, angeordnet an der Seite der ersten Spiegelschicht 22, zum Hindurchlassen von Licht, das an der Interferenzfiltereinheit 20 einfällt; und ein Licht-detektierendes Substrat 4, angeordnet an der Seite der zweiten Spiegelschicht 23, zum Erfassen des durch die Interferenzfiltereinheit 20 hindurchgelassenen Lichts. Die Hohlraumschicht 21 weist einen Filterbereich 24 auf, der zwischen der ersten und zweiten Spiegelschicht 22, 23 gehalten wird; einen ringförmigen Umgebungsbereich 25, der den Filterbereich 24 mit einem vorbestimmten Abstand davon umgibt; und einen kreisförmigen Verbindungsabschnitt 26, der einen Endabschnitt 24e an der Seite des Licht-detektierenden Substrats 4 des Filterbereichs 24 und einen Endabschnitt 25e an der Seite des Licht-detektierenden Substrats 4 des Umgebungsbereichs 25 miteinander verbindet.

公开(公告)号：DE112012004131T5

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：DE112012004131

申请日：2012-09-10

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI

IPC: H01L31/0232 ,  G01J3/02 ,  G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  G02B5/28

Abstract: Ein Verfahren zur Herstellung eines spektroskopischen Sensors 1 umfasst einen ersten Schritt zur Ausbildung einer Hohlraumschicht 21 durch Ätzen einer Oberflächenschicht, die an einem Trägersubstrat angeordnet ist, einen zweiten Schritt zum Ausbilden einer ersten Spiegelschicht 22 an der Hohlraumschicht 21 nach dem ersten Schritt, einen dritten Schritt zum Verbinden eines Licht-durchlassenden Substrats 3 auf der ersten Spiegelschicht 22 nach dem zweiten Schritt, einen vierten Schritt zum Entfernen des Trägersubstrats von der Hohlraumschicht 21 nach dem dritten Schritt, einen fünften Schritt zum Ausbilden einer zweiten Spiegelschicht 21 an der Hohlraumschicht 21, die frei ist von dem Trägersubstrat, nach dem vierten Schritt, und einen sechsten Schritt zum Verbinden eines Licht-detektierenden Substrats 4 auf der zweiten Spiegelschicht nach dem fünften Schritt.

公开(公告)号：FI4350430T3

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：FI24159648

申请日：2017-03-03

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： HIROSE MASAKI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI

IPC: G01J3/02 ,  G01J1/04 ,  G01J3/26 ,  G02B26/00 ,  G02F1/21

Abstract: A light detection device includes a Fabry-Perot interference filter provided with a light transmitting region on a predetermined line, a light detector disposed on one side with respect to the Fabry-Perot interference filter on the line, a package having an opening positioned on the other side with respect to the Fabry-Perot interference filter on the line, a light transmitting member provided in the package such that the opening is blocked, and a temperature control element having an endothermic region thermally connected to the Fabry-Perot interference filter and the light detector. The endothermic region is positioned on one side with respect to the light detector on the line.

公开(公告)号：FI3428589T3

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：FI17763113

申请日：2017-03-03

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： HIROSE MASAKI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  KASAHARA TAKASHI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI

IPC: G01J3/26 ,  G01J1/04 ,  G01J3/02 ,  G02B26/00 ,  G02F1/21

Abstract: A light detection device includes a Fabry-Perot interference filter provided with a light transmitting region on a predetermined line, a light detector disposed on one side with respect to the Fabry-Perot interference filter on the line, a package having an opening positioned on the other side with respect to the Fabry-Perot interference filter on the line, a light transmitting member provided in the package such that the opening is blocked, and a temperature control element having an endothermic region thermally connected to the Fabry-Perot interference filter and the light detector. The endothermic region is positioned on one side with respect to the light detector on the line.

公开(公告)号：DE112013002560B4

公开(公告)日：2023-01-05

申请号：DE112013002560

申请日：2013-05-08

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI

IPC: G01J3/26 ,  G01J3/36

Abstract: Spektralsensor (1A, 1B), mit:einer Interferenzfiltereinheit (20A, 20B), die eine Hohlschicht (21) und erste und zweite Spiegelschichten (22, 23) aufweist, die einander durch die Hohlschicht (21) gegenüberliegen, zum selektiven Übertragen dadurch eines vorbestimmten Wellenlängenbereichs von Licht gemäß einer Einfallposition davon von der ersten Spiegelschichtseite zu der zweiten Spiegelschichtseite; undeinem Lichterfassungssubstrat (30), das eine Licht-empfangende Oberfläche (32a) zum Empfangen des Lichts aufweist, das durch die Interferenzfiltereinheit (20A, 20B) übertragen wird, zum Erfassen des auf der Licht-empfangenden Oberfläche (32a) einfallenden Lichts;wobei die Interferenzfiltereinheit (20A, 20B) aufweist:einen ersten Filterbereich (24), welcher der Licht-empfangenden Oberfläche (32a) im Blick in eine vorbestimmte Richtung entspricht, welche die Licht-empfangende Oberfläche (32a) schneidet; undeinen ringförmigen zweiten Filterbereich (25), der den ersten Filterbereich (24) im Blick in die vorbestimmte Richtung umgibt;wobei das Lichterfassungssubstrat (30) eine Vielzahl an Pad-Einheiten (33a) zum Verdrahten aufweist, die in dem zweiten Filterbereich (25) enthalten sind, im Blick in der vorbestimmten Richtung;wobei der zweite Filterbereich (25) mit einem Durchgangsloch (6) zum Freilegen der Pad-Einheiten (33a) zur Außenseite ausgebildet ist; undwobei ein Draht (7) mit jeder der Pad-Einheiten (33a) durch das Durchgangsloch (6) verbunden ist.

公开(公告)号：DE112020004893T5

公开(公告)日：2022-06-30

申请号：DE112020004893

申请日：2020-10-06

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  TABATA KEI ,  HIROSE MASAKI ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: G01J3/26 ,  G01J3/02 ,  G02B26/00

Abstract: Eine Lichtdetektionsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung hat eine Leiterplatte; ein erstes Lagerteil, welches auf einer Montagefläche der Leiterplatte angeordnet ist; einen Fabry-Perot-Interferenzfilter, welcher ein erstes Spiegelteil und ein zweites Spiegelteil, zwischen welchen eine Distanz variabel ist, sowie einen äußeren Randabschnitt aufweist, welcher in einem ersten Lagerbereich des ersten Lagerteils angeordnet ist; einen Lichtdetektor, welcher an der Montagefläche angeordnet ist, um dem ersten Spiegelteil und dem zweiten Spiegelteil an einer Seite des ersten Lagerteils gegenüberzuliegen; und einen Temperaturdetektor, welcher an der Montagefläche angeordnet ist, wobei der Temperaturdetektor an der Montagefläche derart angeordnet ist, dass zumindest ein Teil des Temperaturdetektors einen Teil des Fabry-Perot-Interferenzfilters betrachtet in einer ersten Richtung senkrecht zu der Montagefläche überlappt, sowie derart, dass zumindest ein Teil des Temperaturdetektors einen Teil des ersten Lagerteils betrachtet in einer zweiten Richtung überlappt, in welcher das erste Lagerteil und der Lichtdetektor zueinander ausgerichtet sind, und wobei eine erste Distanz zwischen dem Temperaturdetektor und dem ersten Lagerteil in der zweiten Richtung kleiner als eine erste Breite des ersten Lagerbereichs in der zweiten Richtung ist.

公开(公告)号：PH12018502444A1

公开(公告)日：2019-09-09

申请号：PH12018502444

申请日：2018-11-20

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/00

Abstract: A production method for a Fabry-Perot interference filter, the production method comprising a formation step, a removal step that is after the formation step, and a cutting step that is after the removal step. The formation step is for forming, on a first main surface of a wafer that includes two-dimensionally arrayed sections that correspond to a plurality of substrates and that is to be cut along each of a plurality of lines into the plurality of substrates, a first mirror layer that has a plurality of first mirror parts, a sacrificial layer that has a plurality of removal parts, and a second mirror layer that has a plurality of second mirror parts. The removal step is for simultaneously removing the plurality of removal parts, which are two-dimensionally arrayed, from the sacrificial layer by etching. The cutting step is for cutting the wafer along each of the plurality of lines into the plurality of substrates.

公开(公告)号：PH12018502443A1

公开(公告)日：2019-09-09

申请号：PH12018502443

申请日：2018-11-20

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： KASAHARA TAKASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MASAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OYAMA HIROKI ,  KURAMOTO YUMI

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/00

Abstract: A Fabry-Perot interference filter 1 that comprises: a substrate 11 that has a first surface 11a; a first laminate 22 that is arranged on the first surface 11a and has a first mirror part 31; a second laminate 24 that has a second mirror part 32 that faces the first mirror part 31 across a space S; and an intermediate layer 23 that demarcates the space S between the first laminate 22 and the second laminate 24. The substrate 11 has an outer edge part 11c that, seen from a direction that is orthogonal to the first surface 11a, is positioned further to the outside than an outer edge of the intermediate layer 23. The second laminate 24 also has: a covering part 33 that covers the intermediate layer 23; and a peripheral edge part 34 that is positioned upon the first surface 11a at the outer edge part 11c. The second mirror part 32, the covering part 33, and the peripheral edge part 34 are integrally formed so as to be continuous. The peripheral edge part 34 is thinned along an outer edge of the outer edge part 11c.