公开(公告)号：DE2140582A1

公开(公告)日：1972-02-24

申请号：DE2140582

申请日：1971-08-13

Applicant: IBM

Inventor： GRANDIA J ,  POTEMSKI R M ,  WOODALL J M

IPC: C30B19/06 ,  H01L21/208 ,  B01J17/04

公开(公告)号：NL7111290A

公开(公告)日：1972-02-21

申请号：NL7111290

申请日：1971-08-16

Applicant: IBM

Inventor： GRANDIA J ,  POTEMSKI R M ,  WOODALL J M

IPC: C30B19/06 ,  H01L21/208 ,  H01L7/38 ,  B01J17/06