Minoritätsladungsträger-Umwandlungsstruktur

    公开(公告)号:DE102015112728A1

    公开(公告)日:2016-02-25

    申请号:DE102015112728

    申请日:2015-08-03

    Abstract: Gemäß einer Ausführungsform einer Halbleitervorrichtung umfasst die Halbleitervorrichtung eine Leistungsvorrichtungswanne (114) in einem Halbleitersubstrat (106), eine Logikvorrichtungswanne (116) in dem Substrat und durch ein Trennungsgebiet (118) des Substrats von der Leistungsvorrichtungswanne (114) beabstandet, und eine Minoritätsladungsträger-Umwandlungsstruktur (108), die ein erstes dotiertes Gebiet (152) eines ersten Leitfähigkeitstyps in dem Trennungsgebiet (118), ein zweites dotiertes Gebiet (154) eines zweiten Leitfähigkeitstyps in dem Trennungsgebiet (118) und eine leitende Schicht (160), die das erste und das zweite dotierte Gebiet (152, 154) verbindet, umfasst. Das zweite dotierte Gebiet (154) umfasst einen ersten Teil (156), der zwischen das erste dotierte Gebiet (152) und der Leistungsvorrichtungswanne (114) eingefügt ist, und einen zweiten Teil (158), der zwischen das erste dotierte Gebiet (152) und der Logikvorrichtungswanne (116) eingefügt ist.

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