公开(公告)号：EP2237320A4

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：EP08858001

申请日：2008-12-05

Applicant: NAT INST FOR MATERIALS SCIENCE

Inventor： OHMORI KENJI ,  CHIKYO TOYOHIRO

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/28 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8234 ,  H01L21/8238 ,  H01L27/088 ,  H01L27/092 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49 ,  H01L29/51

CPC classification number: H01L29/7833 ,  H01L21/28088 ,  H01L29/1083 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66545 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00