公开(公告)号：EP0680623A4

公开(公告)日：1996-07-24

申请号：EP94909487

申请日：1994-01-21

Applicant: OREGON STATE

Inventor： KEANA JOHN F W ,  WYBOURNE MARTIN N ,  CAI SUI XIONG ,  YAN MINGDI

IPC: C08J7/12 ,  B01J19/08 ,  C01B31/04 ,  C08F8/34 ,  C23C16/02 ,  G01N21/45 ,  G01N21/77 ,  G01N33/543 ,  G03F7/20 ,  H01L21/368 ,  G03C5/00

CPC classification number: G01N33/54373 ,  C08F8/32 ,  G01N21/7703 ,  G01N2201/0873 ,  G03F7/2041 ,  Y10S430/143 ,  C08F8/30 ,  C08F112/08