Abstract:
Es wird ein Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen dieses Bauelementes beschrieben, wobei das Bauelement zumindest einen Bauelemente-Chip (1), eine Interconnect-Schicht (2) und ein Trägersubstrat (3) aufweist. Der mindestens eine Bauelemente-Chip (1) ist über eine Interconnect-Schicht (2) mit dem Trägersubstrat (3) verbunden, wobei die Interconnect-Schicht (2) durch verdichtendes druckloses Sintern von auf dem Trägersubstrat (3) aufgebrachtem Sintermaterial gebildet ist. Der Sinterprozess erfolgt durch gleichzeitiges Einwirken von Wärme (11) und Ultraschall (4) auf das Sintermaterial.
Abstract:
Es ist ein optoelektronisches Bauelement (10) angegeben, das einen Halbleiterchip (1), ein Trägersubstrat (2) und eine Verbindungsschicht (3) aufweist. Der Halbleiterchip (1) weist eine zur Strahlungserzeugung geeignete aktive Schicht auf und ist auf dem Trägersubstrat (2) angeordnet. Die Verbindungsschicht (3) verbindet den Halbleiterchip (1) mit dem Trägersubstrat (2) elektrisch leitend und mechanisch. Die Verbindungsschicht (3) umfasst eine erste Schicht (3a) und eine zumindest bereichsweise darauf angeordnete zweite Schicht (3b). Die zweite Schicht (3b) ist korrosionsbeständiger als die erste Schicht (3a). Weiter ist ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Bauelements (10) angegeben.