Abstract:
L'invention concerne une puce de circuit intégré comportant un empilement d'interconnexions, dans lequel est formée une cavité (12), remplie d'au moins un premier matériau (14) ayant une sélectivité au polissage et/ou à la gravure différente de plus de 10 % par rapport aux matériaux (2, 6, 8) formant l'empilement d'interconnexion.
Abstract:
L'invention concerne une puce électronique comprenant : une pluralité de premières barres semiconductrices d'un premier type de conductivité et de deuxièmes barres semiconductrices d'un deuxième type de conductivité disposées de manière alternée et contiguë sur une région (3) du premier type de conductivité ; deux contacts de détection (17) disposés aux extrémités de chaque deuxième barre ; un circuit de détection (19) de la résistance entre les contacts de détection de chaque deuxième barre ; des tranchées d'isolement (11) s'étendant dans les deuxièmes barres sur une première profondeur entre des éléments de circuit ; et des murs d'isolement (32) s'étendant sur toute la largeur de chaque deuxième barre sur une deuxième profondeur supérieure à la première profondeur.