公开(公告)号：EP2023082A1

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：EP07425417.8

申请日：2007-07-05

Applicant: STMicroelectronics S.r.l.

Inventor： Prandi, Luciano ,  Caminada, Carlo

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5762 ,  G01C19/5726

Abstract: A micro-electro-mechanical gyroscope includes a first mass (107), which is able to oscillate along a first axis (X) with respect to a fixed body (109), and an inertial sensor (6), having a second mass (108), constrained to the first mass so as to oscillate along a second axis (Y), in response to a rotation of the gyroscope (100). A driving device (103), coupled to the first mass (107) forms a control loop (105) for maintaining the first mass (107) in oscillation at a resonance frequency. A reading device (104), which detects displacements of the second mass (108) along the second axis (Y), includes a charge amplifier (133), for converting charge packets (Q RS ) supplied by the inertial sensor (6) into a charge-integration signal (S QI ), and a low-pass filter (136). A calibration stage (138, 140) enables modification of a voltage (V B ) between the second mass (108) and the fixed body (109) so as to minimize a component (2ω R ) at a frequency that is twice the resonance frequency in the charge-integration signal (S QI ).

Abstract translation: 一种微机电陀螺仪包括：第一质量块（107），所有这些都能够沿着第一轴（X）相对于固定体（109）摆动，并在惯性传感器（6），具有第二质量（ 108），限制到第一质量，以便沿第二轴线（Y）摆动，（响应于陀螺仪100）的旋转。 耦合到所述第一质量块（107）的驱动装置（103）形成用于在谐振频率保持在振荡的第一质量（107）的控制回路（105）。 的读出装置（104），其检测沿所述第二轴线（Y）第二质量（108）的位移，包括由惯性传感器（6）代入提供一个电荷放大器（133），用于将电荷包（Q RS） 电荷积分信号（S QI），和一个低通滤波器（136）。 校准阶段（138，140）使所述第二块（108）与固定体（109）之间的电压（VB）的修改，从而最小化的频率的分量（2E R）所做的是两次在共振频率 电荷积分信号（S QI）。

公开(公告)号：EP1624286A1

公开(公告)日：2006-02-08

申请号：EP04425600.6

申请日：2004-08-03

Applicant: STMicroelectronics S.r.l.

Inventor： Caminada, Carlo ,  Lasalandra, Ernesto ,  Prandi, Luciano

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5726

Abstract: A micro-electro-mechanical sensor includes a microstructure (102), having a mass (108), which is movable with respect to a rest position (Y 0 ), according to a predetermined degree of freedom (Y); and a displacement-detecting device (104, 106) for detecting a displacement of the mass (108) according to the predetermined degree of freedom (Y). The displacement-detecting device (104, 106) includes a force feedback loop (106) of a purely analog type, which supplies electrostatic forces tending to bring back the mass into the rest position (Y 0 ), in response to a displacement of the mass (108) itself according to the predetermined degree of freedom (Y).

Abstract translation: 微机电传感器包括具有根据预定自由度（Y）相对于静止位置（Y 0）可移动的质量块（108）的微结构（102）。 以及用于根据所述预定自由度（Y）检测所述质量块（108）的位移的位移检测装置（104,106）。 位移检测装置（104,106）包括纯模拟类型的力反馈回路（106），其响应于所述位移检测装置的位移而提供倾向于将质量带回静止位置（Y 0）的静电力 质量（108）本身根据预定的自由度（Y）。