公开(公告)号：EP1707931A1

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：EP05425183.0

申请日：2005-03-31

Applicant: STMicroelectronics S.r.l.

Inventor： Baldo, Lorenzo ,  Combi, Chantal ,  Sassolini, Simone ,  Del Sarto, Marco

IPC: G01L1/20

CPC classification number: G06F3/041 ,  G01L9/0045 ,  G01L9/0054 ,  G01L19/141 ,  G01L19/147 ,  G06F3/0338 ,  H01H13/785 ,  H01H2201/02 ,  H01H2201/036 ,  H01H2221/012 ,  H01H2239/01 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014

Abstract: In a data-input device (4) an actuator element (6) that can be manually actuated, and a sensor (9) mechanically coupled to the actuator element (6). The sensor (9) is formed in a body (10) of semiconductor material housing a first sensitive element (11), which detects the actuation of the actuator element (6) and generates electrical control signals. The first sensitive element (11) is a microelectromechanical pressure sensor, formed by: a cavity (24) made within the body (10); a diaphragm (25) made in a surface portion of the body (10) and suspended above the cavity (24); and piezoresistive transducer elements (26) integrated in peripheral surface portions of the diaphragm (25) in order to detect its deformations upon actuation of the actuator element (6).

Abstract translation: 在数据输入装置（4）中，可以手动致动的致动器元件（6）和机械地联接到致动器元件（6）的传感器（9）。 传感器（9）形成在容纳有第一敏感元件（11）的半导体材料的本体（10）中，该第一敏感元件（11）检测致动元件（6）的致动并产生电控制信号。 第一敏感元件（11）是微机电压力传感器，其通过：在主体（10）内制成的空腔（24）形成。 在所述主体（10）的表面部分中形成并悬浮在所述空腔（24）上方的隔膜（25）; 以及压电换能器元件（26），其集成在隔膜（25）的外周表面部分中，以便在致动元件（6）致动时检测其变形。