公开(公告)号：CN105264269A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201480031863.3

申请日：2014-05-26

Applicant: THK株式会社

Inventor： 山仓亘 ,  河野贵哉 ,  秋吉充

IPC: F16H25/24 ,  F16C29/04 ,  F16C29/08 ,  F16H25/20 ,  F16H25/22

CPC classification number: F16H25/2204 ,  F16C29/06 ,  F16C29/0602 ,  F16C29/063 ,  F16C29/08 ,  F16C29/082 ,  F16H25/20 ,  F16H25/2418 ,  F16H2025/2031

Abstract: 本发明提供一种致动器，其能够在不损伤上面罩的情况下容易地装卸侧面罩，通过在拆下侧面罩的状态下从致动器的上方相对于基台进行紧固固定，能够提高作业性，并且不使致动器大型化从而实现成本抑制。该致动器具有：长条的丝杠轴，其在外周形成有螺旋状的第一滚动体滚行槽；内块，其形成有供丝杠轴穿过的螺纹孔，并且所述内块在外周具有与丝杠轴平行地形成的第二滚动体滚行槽；外导轨，其与第二滚动体滚行槽对置；以及多个滚动体，所述多个滚动体分别排列在丝杠轴与内块之间、以及内块与外导轨之间，所述致动器具备：侧面罩，其架设于在丝杠轴的两端部设置的一对端部构件之间；以及上面罩，其配置为对形成于侧面罩之间且与丝杠轴平行地开口的开口部进行闭塞，侧面罩具有与上面罩平行地形成的上板以及从上板的一端垂下的侧板，端部构件具有与上板和侧板的拐角部接触的姿势保持机构。

公开(公告)号：CN101562127A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200910132710.9

申请日：2009-04-14

Applicant: THK株式会社 ,  株式会社贝尔德克斯

Inventor： 星野京延 ,  三户雅德 ,  羽生明夫 ,  河野贵哉 ,  宍户善明

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/301 ,  B28D5/00

Abstract: 本发明涉及划线装置以及多轴划线装置。本发明提供一种能够使从划线工具赋予工件上的载荷稳定化的划线装置。本发明的划线装置具备：轴部件(1)，其具有磁铁(5)；电枢(2)，其具有围绕轴部件(1)的周围的多个线圈(8)；划线工具(4)，其设置于轴部件(1)的前端，用于在薄板状的工件(W)上刻上划线；移动机构(21)，其使划线工具(4)沿工件(W)的表面相对移动。在电枢(2)的线圈中流过电流，由此划线工具向工件(W)的表面进退。在划线工具与工件(W)的表面接触时，进一步在电枢(2)的线圈中流过电流，由此在按照工件(W)的表面内的划线工具(4)的行进方向使轴部件(1)绕其轴线旋转的状态下，从划线工具(4)向工件(W)赋予载荷。

公开(公告)号：CN101099228A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200580045971.7

申请日：2005-12-27

Applicant: THK株式会社 ,  株式会社贝尔德克斯

Inventor： 中泽东治 ,  下土敬由 ,  星野京延 ,  三户雅德 ,  羽生明夫 ,  河野贵哉 ,  宍户善明

IPC: H01L21/301 ,  C03B33/033 ,  C03B33/02

Abstract: 本发明提供一种当截断刻有分划线的工件时能够防止在工件的背面因摩擦而发生碎裂的工件的截断方法。本发明的工件(5)的截断方法包括：工件粘合工序，将工件(5)的背面粘贴到可伸缩的薄片(9)上；薄片拉伸工序，拉伸粘贴有工件(5)的薄片(9)；以及工件截断工序，在拉伸薄片(9)的状态下，使分划线(5c)到达工件(5)的背面。由于在薄片(9)的拉伸力的作用下，工件(5)被截断的同时工件(5)被拉开，因而被截断的工件(5)的摩擦减少，能够防止在背面发生碎裂。并且，通过向工件(5)施加拉伸力，拉伸力辅助工件的截断，因此能够以更小的力截断工件(5)。